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一种八英寸硅单晶硅片多线切割机制作方法
专利
专利摘要: 本实用新型提供一种八英寸硅单晶硅片多线切割机,包括导轨丝杠、工作台、砂浆喷嘴、槽轮和接片槽;所述导轨丝杠设于工作台上,所述导轨丝杠与工作台间从上到下依次设有工作台铁垫和绝缘垫,所述工作台配有砂浆喷嘴,所述砂浆喷嘴下设有接片槽,所述接片槽的两侧设有槽轮,所述槽轮上部布有线网,所述工作台的下表面的中间位置设有一倒梯型内凹槽,用于夹持工件。本实用新型的有益效果是可以满足大直径硅片生产的需求,并使其具备更高的加工能力,达到节约成本,提高效率的目的。
胡娟
金牌知产顾问
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