专利摘要： 本实用新型涉及一种在电子器件制造设备中的用于器件介质或保护膜加热烘干固化的流延机，具体是一种具有超声波干燥装置的流延机。它包括有一个能够将待覆膜的料带放出的放卷机构和一个能够收起覆膜后的料带的收卷机构，放卷机构和收卷机构之间设置有可使料带从其中穿过的加热通道，在放卷机构和加热通道之间设置有能够在料带上涂覆流延浆料的涂覆装置；所述加热通道底部设置有能够向加热通道内发射超声波的超声波发生装置。本实用新型能够在加热通道设置通过超声波对加热浆料进行震动处理，使浆料颗粒之间发生微小的震动，浆料体内的溶剂在震动作用下挥发，颗粒能够均匀密集沉降，使流延膜干燥后不易开裂，提高了产品质量。