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  • 基于cMUT环形阵列的微型光声传感器的制造方法

    专利

    专利摘要: 本发明公开了一种基于cMUT环形阵列的微型光声传感器,包括光纤头、透镜、cMUT环形阵列探头、cMUT阵元和透光保护膜。本发明具有以下有益效果:实现无损光声激发与传感的一体化微型结构,可广泛应用于血糖血氧检测、脑损伤诊断、乳腺癌普查、内窥式医学成像、工业检测与探伤等领域。
    发明者: 曾吕明, 刘国栋
    公开日: 2014年8月13日
胡娟
金牌知产顾问
215463210
全国服务热线: 400-850-8810

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