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抗翘曲变形防止硅棒断裂的玻璃粘接结构制作方法
专利
专利摘要: 一种抗翘曲变形防止晶棒断裂的玻璃粘接结构,将整块玻璃板改变成由N块玻璃板段的拼接结构,在相邻两块玻璃板段之间留有空隙,在玻璃板段的长度侧边开设光滑清胶倒角面,这样连接板即使存有一定变形量,在连接板被强行压平时,能消减连接板对玻璃板产生的压应力,玻璃板段不会出现断裂的现象,更不会损伤粘接在其上的硅棒,消除了因玻璃块断裂而引发的晶棒爆裂、崩边等系列缺陷,降低了晶棒切割的破片率。更便于彻底清除胶体,在硅片脱胶时不会造成硅落,降低了硅片的破损率,提高得片率,每刀可多得硅片12片~20片,经济效益十分可观。在硅棒的两端增设限位玻璃板,能防止切割时两端的硅片损坏。
胡娟
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