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  • 用于湿式工艺的基板用输送载板制作方法

    专利

    专利摘要: 一种用于湿式工艺的基板用输送载板,其包含一板体,该板体中形成至少一基板定位孔,所述基板定位孔周边孔壁上形成复数个止挡凸部,该数个止挡凸部顶缘至板体顶面间具有一间距,用以提供基板置入基板定位孔中,并为该复数个止挡凸部支撑定位,由此,利用该输送载板作为基板进行蚀刻、清洗等湿式工艺输送时的载具,使基板由该输送载板于输送轮上移动,而避免基板与输送轮直接接触磨擦而受损。
    发明者: 杨延鸿, 钟添达
    公开日: 2010年5月26日
胡娟
金牌知产顾问
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全国服务热线: 400-850-8810

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