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中国电科哪个公司在研发光刻机?

156****5873
电科公司
提问时间:2022-12-12 16:42:57
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唐南英
唐南英
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通过公开消息查证,大族激光在2020年5月承认正在研发光刻机,今年1月9日,有投资者询问大族激光是否考虑研发光刻机,大族激光董秘表示,“公司研发的光刻机项目分辨率3-5μm(微米),主要聚焦在分立器件、LED等领域的应用,已实现小批量销售。”

2022-12-12 19:32:59
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赵立琳顾问
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