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全伟恺
从业5年
专利申请发明专利申请
所在地区:杭州市
咨询解答:250
(1)氯离子太低,氯离子就不能充分与一价铜离子结合,铜在形成二价铜离子的过程中就不能充分将一价铜离子(氯化亚铜)转换成二价铜离子(硫酸铜),形成铜粉,造成铜镀层粗糙;氯离子的减少主要是来自大阳极面积与小阴极面积而造成的。
即在大镀液槽中长期或次数过多地电镀小面积样板和小尺寸板。
阴极小所需的二价铜离子也较少,而阳极上相对较多的氯化亚铜沉积在阳极,容易脱落而沉淀或被连续过滤除去而造成镀液中的氯离子减少。
(2)氯离子太高时,会形成过量的氯化亚铜,这些过量的氯化亚铜离子就会产生歧化反应,形成铜粉,造成铜镀层粗糙。
氯离子的含量的增加主要来自清洗水、添加水等。
(3)氯离子的控制中点为55ppm,控制范围为40~65ppm,当低于35ppm时,就要开始添加氯离子;当氯离子高75ppm时,就要做好降低氯离子的准备工作。
2022-09-26 12:11:11
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