高端光刻机为什么难“买”又难“造”？
189****5030
招聘 重庆 重庆正和知识产权代理服务有限公司
提问时间:2022-03-14 08:55:04
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回答
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共1个
杨玉香
从业2年
专利申请发明专利申请专利驳回复审
所在地区:西安市
咨询解答:267
2001年,科技部和上海市于2002年共同推动成立上海微电子装备公司,承担国家“863计划”项目研发100nm高端光刻机。据悉,中电科四十五所当时将其从事分步投影光...
2022-03-14 11:27:06
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