3年内中国能不能搞出EUV光刻机?
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清华知识产权
提问时间:2022-08-24 04:56:50
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王鑫
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很多人关心EUV光刻机,但28nmDUV光刻机能否如期交付,还悬着呢!如果28nm光刻机走不出实验室,将对EUⅤ光刻机的研制造成致命打击。 去年报道:2021年底,上海微电...
2022-08-24 05:42:52
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