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共1个
刘玉梅
从业4年
天猫入驻整店装修活动运营
所在地区:洛阳市
咨询解答:539
第一步，对绝缘体上硅片的底面刻蚀至一定深度；
第二步，通过光刻以及刻蚀，对所述绝缘体上硅片的底部进一步刻蚀，形成所述框架，所述质量块组，扭转梁以及梳齿结构；
第三步，将所述绝缘体上硅片的底面与制作好的下盖板进行键合；
第四步，利用化学机械研磨工艺，将所述绝缘体上硅片的上硅层减薄至一定厚度；
第五步，通过光刻和刻蚀，对绝缘体上硅片的顶面刻蚀至一定深度；
第六步，利用高温生长或者化学淀积法，在所述绝缘体上硅片的顶面形成一层二氧化硅层；
第七步，通过光刻以及刻蚀，在所述二氧化硅层上刻蚀出图形；
第八步，在所述绝缘体上硅片的顶面涂覆光刻胶，并利用光刻以及深度刻蚀，对所述绝缘体上硅片刻蚀出多个深至所述下硅层的孔；
第九步，在所述孔中淀积金属，形成质量块组上的电极引线；
第十步，去除光刻胶，并进一步刻蚀所述绝缘体上硅片的顶面的图形，从而形成自由活动的连接梁以及质量块组；
第十一步，将所述绝缘体上硅片的顶面与制作好的上盖板进行键合，形成完整的陀螺仪。
2022-09-07 11:26:08
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