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  • 用于蚀刻机台的喷酸装置制造方法

    专利

    专利摘要: 本发明公开了一种喷酸装置,用于蚀刻机台,所述蚀刻机台具有中央腔体和蚀刻腔室,且所述中央腔室与所述蚀刻腔室之间具有卷门,所述喷酸装置包括酸性液体源,存储有酸性液体;连接管路,连接于所述酸性液体源以传输所述酸性液体;喷射装置,设置于所述连接管路末端,用以向所述卷门喷射所述酸性液体以避免在所述卷门上形成结晶。本发明能够避免在中央腔室与蚀刻腔室之间的卷门上形成结晶。
    发明者: 吴前锋
    公开日: 2014年5月14日
胡娟
金牌知产顾问
215463210
全国服务热线: 400-850-8810

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