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石墨制品SiC涂层方法
专利
专利摘要: 一种石墨制品SiC涂层方法,其特征在于包括如下步骤1)将需要制备SiC涂层的石墨工件清洁干净,选择合适的工装;2)清理沉积炉炉膛,将工装和石墨工件放置到沉积炉炉膛中;3)封闭沉积炉,抽真空,静止5-10分钟;4)开启沉积炉的冷却系统,送电加热至1300℃,保温0.5小时,先后往混合气罐中送入氩气、氢气和甲基三氯硅烷气体,保持沉积炉内压力小于10kpa,混合气罐的温度为100℃左右,涂层时间为0.5-1小时;5)涂层完毕,关闭甲基三氯硅烷气体和氢气,同时停止加热,然后关闭氩气,使炉膛温度自然降至室温。本发明生产过程耗时短、能耗小,制备SiC涂层均匀,生产出的产品质量好,生产效率高。
胡娟
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