专利摘要： 一种阶梯式多级硅料清洗设备，包括初级清洗槽、过渡清洗槽、最后清洗槽、进水阀、过滤处理池、循环泵、分隔堤和污液槽，在每个初级清洗槽和过滤清洗槽中都设有分隔网板，将清洗槽分隔成清洗室和溢污室，后道清洗槽溢出的清洗液流入上道清洗槽中作为清洗液的补充，溢污室上表面漂浮的污水经软管流入过滤处理池进行二次处理，经处理过的清洗液再由循环泵抽送到初级清洗槽中，作为初级清洗槽的清洗液。经申请人实际使用验证，采用本实用新型的阶梯式多极硅料清洗设备，每吨硅片清洗的耗水量只需3吨，比现有清洗机节水5吨以上，节水效果十分显著，避免了因清洗槽独立用水而造成的水资源浪费。