专利摘要： 一种蜂窝状常压等离子体自由基清洗设备，包括一个机械手、等离子体发生器、旋转基底以及进气系统，其特征为一个等离子体发生器固定在一个机械手上，该等离子体发生器是在一个壳体内由彼此绝缘的上电极和下电极构成，该上电极是安装在一个绝缘板上并由多个被绝缘介质包覆的柱状电极构成，该下电极是一个设有蜂窝状孔的金属电极，该上下电极之间设有一个进气舱，上电极中的每个柱电极是穿过进气舱并插在下电极的蜂窝孔中，并与蜂窝孔形成一定的放电间隙，该放电间隙贯通进气舱，该进气舱通过气体导管与高压气源连接，等离子体是在蜂窝孔间隙中产生，并在气体压力带动下，由下电极蜂窝喷口喷射到放置在旋转底盘表面的硅片上，来去除硅片表面的光刻胶以及有机污染物。

专利摘要： 本实用新型公开了一种具有蜂窝状夹层的瓷砖，其特征在于其包括具有低热传导系数的蜂窝层(1)，所述蜂窝层(1)上下表面分别设有致密层(2)。所述蜂窝层(1)由经破碎加工后的废瓷砖制成。所述致密层(2)外面表设有彩釉层(3)。本实用新型结构设计简单，制造成本低廉，而且强度符合设计要求，表面具有彩釉层，可制成不同图案，增强了瓷砖的美观性。