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一种高分辨率的生物传感器制作方法
专利
专利摘要: 本实用新型公开了一种高分辨率的生物传感器,包括具有原子尺度的导电材料作为敏感单元而达到原子级的检测分辨率和微纳米流体器件而控制被检测分子的运动与形态结构。第二电泳电极或微泵、第二储藏室、第二微纳米分离通道、基板、第一绝缘层、敏感功能层、第二绝缘层、第一微纳米分离通道、第一储藏室、第一电泳电极或微泵顺次放置,敏感功能层的中心设有纳米孔,第一绝缘层的中心设有第一绝缘层开孔,第二绝缘层的中心设有第二绝缘层开孔,基板的中心设有基板开口,在敏感功能层上设有测量电信号的电接触层。本实用新型的原子层厚度的敏感功能层使传感器的分辨率达到原子尺度,与微纳米流体器件集成可以控制DNA或RNA的运动及其结构形态,这样可以得到稳定的信号检测。
胡娟
金牌知产顾问
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