专利名称：线轮机构的制作方法半导体专用设备在用金刚线切割晶棒的加工过程中，由于要保证收放线轮转速和 转向一致，使得对线轮的旋转控制显得非常重要。常见的绕线装置由电机直接带动储线轮 旋转，这样存在一些问题，如密封性不好、稳定性差、旋转精度较低、寿命较短等。
用寿命长的线轮机构。 本实用新型采用如下技术方案 本实用新型所说储线轮左端与一转轴的右端固定，转轴与一轴承套间设有两个轴 承，两个轴承间设有内、外隔环，压轴承外圈的轴承压盖与轴承套左端固定，轴承套和驱动 电机分别固定在底座的两端，转轴的左端与驱动电机的电机轴间设联轴器连接，压轴承内 圈的挡母与转轴螺纹连接。 本实用新型所说储线轮右端法兰上设有供封闭的线轮端盖。 本实用新型所说轴承套右端面与其所对的转轴的轴肩侧面间为凹凸环状迷宫式 密封结构。 本实用新型所说储线轮右端法兰上设有供线头穿过的椭圆通孔。 本实用新型所说轴承为角接触球轴承。 本实用新型的有益效果本实用新型所提供的线轮机构是一种结构简单、使用方 便和定位精度高的与半导体专用设备配套使用的专用机构，其储线轮右端由线轮端盖密 封，左端制成迷宫式密封，可以防止灰尘、水分和其它杂质进入轴承，提高轴承的寿命。储线 轮的右端法兰上安装了两个与固定螺杆相连的蝶形螺母，同时在其垂直方向加工了两个椭 圆孔，在初始绕线时将线头穿过法兰上的椭圆孔，松开蝶形螺母后，牵引到蝶形螺母下面， 然后拧紧螺母固定线头，这样便可以方便的绕线。轴承套和电机均安装在同一铸铁底座上， 可以在其上同时加工安装孔，提高装置的同轴度。整个装置由高精度伺服电机驱动，可以方 便的控制线轮的转速和转向，同时结构简单紧凑，体积小，提高了整个装置的可靠性和稳定 性。附图1为本实用新型一种实施例的主视剖视结构示意图； 附图2为图1所示储线轮的右视图。 在附图中1线轮端盖、2蝶形螺母、3储线轮、4轴承套、5轴承、6轴承压盖、7挡母、 8转轴、9联轴器、10底座、11驱动电机、12椭圆通孔。参见图1、2所示，本线轮机构的构成中包括储线轮3和驱动电机11，线轮端盖1通 过蝶形螺母2固定在储线轮3右端法兰的圆槽中，储线轮3右侧内端面上有六个螺纹沉孔， 穿过螺钉与转轴8连接，转轴8为阶梯轴，通过左端的两个角接触球轴承5安装在轴承套4 中，轴承压盖6被螺钉压紧在轴承外圈上并与轴承套4固定连接，挡母7通过转轴8上的螺 纹压紧轴承内圈，转轴8的左轴端通过联轴器9与驱动电机11的电机轴联接，驱动电机11 的壳体与轴承套4分别通过螺钉安装在底座10的左右两端。 上述储线轮3与联轴器9、驱动电机11与联轴器9的联结均同时使用螺钉和平键。 转轴8的轴肩左侧与轴承套4的右端存在径向迷宫密封，储线轮3右侧法兰上设 有供线头穿过的椭圆通孔12。 在本实施例中，驱动电机11采用高精度的伺服电机，它通过联轴器9与转轴8联 结，转轴8通过螺钉与储线轮3联结，这样伺服电机便可以带动储线轮3高速旋转。在本实 施例中，驱动电机11与轴承套4安装在底座10的左右两侧的阶梯孔内。线轮端盖10和储 线轮3左侧的迷宫密封结构的设置可以防止灰尘的进入。通过储线轮3右侧法兰的椭圆通 孔12和蝶形螺母2可以方便的固定线头。