专利名称：阻尼结构体的制作方法在所谓的高科技(如晶硅片制造产业)厂房中，由于其制品结构精密，为确保制得产品的质量，必须有效控制工作环境的各项因素，如温度、湿度及无尘环境等，除此之外，还须将振动能量所带来的影响一并考虑，所述振动能量包括来自作业中的自动机具本身，亦有可能是地震所引起。为此，如何在自动机具与地面之间提供一个稳固且具有良好动刚性(dynamic stiffness)的阻尼结构，即为重要的课题。尤其当自动机具重达数吨以上时，一般的弹簧结构或是液压系统，则因难以支撑而显得不适用。
[0007]图1为本实用新型一较佳实施例的阻尼结构体的剖视图；[0008]图2为本实用新型另一较佳实施例的阻尼结构体的剖视图。[0009]主要元件符号说明[0010]100,200阻尼结构体[0011]10刚性基座[0012]12容槽 12a封闭槽底 12b内环面[0013]20支撑结构体[0014]22H型钢 24阻尼垫片[0015]30接合介质层[0016]40阻尼单元[0017]42混凝土结构体44钢丝网 46纤维层[0018]48阻尼面材[0019]50阻尼单元[0020]52阻尼面材52a接着层 52b环氧树脂层[0021]54纤维层56混凝土结构体58钢丝网[0022]G地面[0023]M机具[0024]为能更清楚地说明本实用新型，兹举较佳实施例并配合图示详细说明如后。[0025]图1所示为本实 用新型一较佳实施例的阻尼结构体100，该阻尼结构体100可支撑重量达数吨以上的机具M，并能提供良好的动刚性。其包括有一刚性基座10、一支撑结构体20、一接合介质层30与一阻尼单元40。其中该刚性基座10为坚固的钢材拼装成具有一容槽12，该容槽12由一封闭槽底12a及一围绕该封闭槽底12a的内环面12b围设而成，且该容槽12具有一上方开口。该支撑结构体20 —端固接于该刚性基座10底面，另一端固接于地面G。在本实施例中，该支撑结构体20由多根H型钢22及多个阻尼垫片24组成，其中，所述H型钢22的两端分别固接该刚性基座10与地面G，其中，H型钢22与该刚性基座10固接的方式可为焊接或是锁接(图1参照)；所述阻尼垫片24是以橡胶制成，且各别设置于一该H型钢22与该刚性基座10底面之间，另说明的是，阻尼垫片24的设置得视需求而选择增设与否。该支撑结构体20可将机具M略为架离地面G。该接合介质层30是以接合剂涂布于该刚性基座10的容槽12的槽底12a与内环面12b而成。前述接合剂可为环氧树脂材料，亦可为聚乙烯材料，或是其它具有等效特性的材料。该阻尼单元40设置于该刚性基座10的容槽12中，在本实施例中，包括有一混凝土结构体42、数张钢丝网44、一纤维层46与一阻尼面材48。其中，该混凝土结构体42经混凝土灌入该容槽12并为干固形成，较佳者，于灌注混凝土的过程中还添加有以输氧剂(air-entraining agent)为例但不以此为限的防收缩添加剂，目的在于减少混凝土干缩裂缝的产生；所述钢丝网44在灌注混凝土的过程中预先被铺设，并以层叠方式摆设，可提高该混凝土结构体42的整体扎实性；该纤维层46设于该混凝土结构体42的顶面，具有保持混凝土湿润而使混凝土表面凝结延迟之效，以及可填补混凝土的不平整表面；该阻尼面材48设于该纤维层46顶面，在本实施例中，该阻尼面材48为环氧树脂构成，具有修补表面效果，以便机具M可稳固地安装在该阻尼结构体100上。上述阻尼结构体100不仅因为具备大体积的混凝土结构体42而可支撑起数吨以上重量的机具M，更在机具M与地面G之间产生交变动负荷作用时，可抵抗动态位移，即该阻尼结构体100提供良好的动刚性，可降低振动带来的影响。更且，该接合介质层30最终位于该刚性基座10与该阻尼单元40之间，具有降低该混凝土结构体42与该刚性基座10容槽12壁面之间的裂缝扩大的效果，以使该阻尼结构体100整体结构更为密实、稳固。前述裂缝的产生是肇因于大体积混凝土在凝结与硬化的过程中，水泥和水产生化学反应并释放出大量的热量(俗称「水化热」)，该情形将导致混凝土块体温度升高，而在混凝土块体内部的温度与外部的温度相差很大时，以致于所形成的温度应力或温度变形超过混凝土当时的抗拉强度或极限拉伸应变，在混凝土干缩后即会产生剥离现象，进而形成裂缝。本实用新型的接合介质层30即具有降低裂缝扩大的功效。图2所示为本实用新型另一较佳实施例的阻尼结构体200，该阻尼结构体200同样具备上述实施例的刚性基座10、支撑结构体20与接合介质层30。不同的是，构成该阻尼结构体200的阻尼单元50的阻尼面材52，是由一接着层52a与一环氧树脂层52b构成，其中，该接着层52a是以聚酰胺类或硅类材料铺设于其纤维层54顶面而成，该环氧树脂层52b则设于该接着层52a，目的同样在于修补表面，以便稳固安装机具M。至于该阻尼单元50的混凝土结构体56、钢丝网58及纤维层54，因与上述实施例相同，于此容不赘述。该阻尼结构体200同样可提供良好的动刚性。以上所述仅为本实用新型较佳可行实施例而已，举凡应用本实用新型说明书及权利要求范围所为之等效结构变化，理应包含在本实用新型的专利范围内。