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  • 晶圆清洗设备制作方法

    专利
    专利摘要： 本实用新型提供一种晶圆清洗设备，所述晶圆清洗设备包括外罩，所述外罩表面设有若干个缺口；与所述缺口位置对应，用于封闭或者开放所述缺口的控制门。所述的晶圆清洗设备在缺口位置设置控制门，避免了采用化学试剂清洗时清洗液溅到去离子水喷嘴和氮气喷嘴表面，从而在用去离子水喷嘴和氮气喷嘴时，其表面残留的化学清洗液滴落导致的产品缺陷。
    发明者： 卢夕生, 杜亮
    公开日： 2010年5月12日
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    晶圆
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    清洗
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    设备

  • 晶圆清洗设备的滚轮装置制作方法

    专利
    专利摘要： 本实用新型提供一种晶圆清洗设备的滚轮装置，包括一个转轴单元及多个彼此间隔地安装在该转轴单元外围的滚轮单元。该转轴单元包括一支呈长杆状的芯棒及一个包覆结合在芯棒外围的轴套。每一滚轮单元包括一个套置在该轴套外围的轮体。通过在上述轴套内埋藏有芯棒，可强化转轴单元的刚性及笔直度，避免发生弯挠的情况，所以能提升输送制程的准确性及精密度。
    发明者： 林志菁
    公开日： 2010年5月26日
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    晶圆
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    滚轮
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    清洗
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    装置
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    设备

  • Bsi图像传感器的晶圆级封装方法

    专利
    专利摘要：
    发明者： 王之奇, 喻琼, 王蔚
    公开日： 2013年5月1日
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    Bsi
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    晶圆级
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    封装
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    传感器
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胡娟
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