专利名称：晶圆清洗设备的滚轮装置的制作方法参阅图1与图2，一种以往晶圆清洗设备的滚轮装置1，包括一个长向延伸且可被 带动而旋转的轴杆11、多个彼此间隔地安装在该轴杆11外围的滚轮单元12及多支分别将 滚轮单元12固定在轴杆11上的插销13。每一滚轮单元12包括一个套置在该轴杆11外围 的轮体121及二个分别嵌置在轮体121外围的0型环122。每一支插销13都紧配合地穿 插伸入轮体121与轴杆ll，借以将轮体121与轴杆11固定在一起。使用时，将上述滚轮装 置架设在容装有清洗液的晶圆清洗设备中，让多片晶圆(图未示)由滚轮单元12上输送通 过，同时能一并清洗所述晶圆。 为了避免上述滚轮装置与清洗液发生化学变化，所以轴杆11及轮体121都采用塑 胶材料制成，但是由于该轴杆11的长度较长，所以其刚性较差，使用时，轴杆11除了需要承 受滚轮单元12的重量以外，还须承受晶圆的重量，所以容易发生中央逐渐往下弯挠的变形 情况，无法平稳地输送晶圆，因而造成输送制程时的准确性及精密度不佳。上述固定用的插 销13为一支细长圆杆，紧配合地插入轮体121及轴杆ll，于插伸时容易发生断裂或阻塞卡 死的情况，组装上相当麻烦不便。因此上述滚轮装置1的设计仍有待改善。
于该芯棒的两相反端的端壁及多个彼此相邻串接地轴向套置在该芯棒周围且连接所述端壁的管壁。 本实用新型所述的晶圆清洗设备的滚轮装置，该转轴单元的轴套具有二个相对位于该芯棒的两相反端的端壁及二个分别由所述端壁的周缘同体往另一端壁轴向延伸且轴向套置在该芯棒周围的围绕壁，所述围绕壁彼此相邻连接。 本实用新型所述的晶圆清洗设备的滚轮装置，该转轴单元的轴套具有二个相对位于该芯棒的两相反端的端壁、二个分别由所述端壁的周缘同体往另一端壁轴向延伸且轴向套置在该芯棒周围的围绕壁及至少一个连接所述围绕壁且轴向套置在该芯棒周围的管壁。[0013] 本实用新型所述的晶圆清洗设备的滚轮装置，每一个滚轮单元的轮体具有二个左右间隔且分别形成在该轮体的外周面上的环槽，每一个滚轮单元还包括二个分别嵌置在该轮体的环槽内的0型环。 本实用新型的有益效果在于通过在上述轴套内埋藏一支芯棒，借其内外双层设计，可强化转轴单元的刚性及笔直度，避免发生弯挠的情况，所以能提升输送制程的准确性及精密度。图图图分解图；图图图；图
图；图图。
-第一较佳实施例的一部分立体
-第二较佳实施例的一剖视示意-第三较佳实施例的一剖视示意-第四较佳实施例的一剖视示意

以下结合附图及实施例对本实用新型进行详细说明。 为了方便说明，以下的实施例，相同的元件以相同的标号表示。 参阅图3与图4，本实用新型滚轮装置的第一较佳实施例，安装在一个晶圆清洗设
备中，并包括一个可被带动而绕着自身轴线旋转的转轴单元2、多个彼此间隔地安装在该
转轴单元2外围的滚轮单元3及多个分别将滚轮单元3固定在转轴单元2上的锁接单元4。 该转轴单元2包括一支呈长杆状且由非金属材料制成的芯棒21及一个包覆结合
在芯棒21外围且由塑胶材料制成的轴套22。本实施例的芯棒21为石墨或碳纤维材料制成，
当然也可以选用其他坚硬的非金属材料，不以本实施例为限。该轴套22具有二个相对位于
芯棒21的两相反端的端壁221、一个轴向套置在该芯棒21周围且连接所述端壁221的管壁222及多个对应于滚轮单元3且彼此间隔设置的螺接部223。本实施例的端壁221与管壁222间为熔接接合，当然也可以利用焊接接合、相对螺接接合、卡接接合或紧配接合，其接合方式不限于本实施例。而每一螺接部223具有二个相对位于同一直线上且分别由一外周面径向往内凹陷的螺孔224，当然所述螺孔224也可以分别由外周面径向往内直接连通至一内周面，而且螺孔224的数量也不受限于本实施例。本实施例的轴套22由聚氯乙烯一体制成，当然也可以选用聚四氟乙烯或聚偏二氟乙烯等塑胶材料，不以本实施例为限。[0026] 每一滚轮单元3包括一个套置在该轴套22外围且对应于设有螺接部223处的轮体31及二个分别嵌置在轮体31外围的0型环32。该轮体31具有二个左右间隔且分别形成在外周面上以供0型环32嵌置的环槽311及二个分别连通螺孔224的穿孔312。本实施例的轮体31由塑胶材料制成，0型环32由橡胶材料制成。 每一锁接单元4包括二支分别将轮体31与轴套22锁接在一起的锁接件41，每一锁接件41都是一支螺入穿孔312与螺孔224内的螺丝，而且本实施例的穿孔312为长槽孔，于使用时可提供轮体31相对移动裕度。锁接件41的数量与螺孔224、穿孔312的数量相对应，当然设计上也可设置一组、三组或三组以上，所以其数量不以本实施例为限，此外，本实施例的锁接件41由塑胶材料制成，当然也可以由其他材料制成。 使用时，将上述滚轮装置架设在容装有清洗液的晶圆清洗设备中，让多片晶圆(图未示)分别由滚轮单元3外凸的0型环32上被输送通过，用以清洗所述晶圆。由于转轴单元2在中央轴心处埋藏有轴向延伸的芯棒21，通过该芯棒21坚硬且呈长杆状的设计，可增加转轴单元2的强度及笔直度，避免发生中央往下弯挠变形的情况，所以能平稳地输送晶圆，借以提升输送制程的准确性及精密度。此外，锁接单元4通过二支锁接件41来螺锁固定轮体31与轴套22，不但长度较短且其采用螺接的方式来结合，所以不会发生断裂或阻塞的情况，组装上较为简单容易。 参阅图5，本实用新型晶圆清洗设备的滚轮装置的第二较佳实施例，本实施例的构造与第一实施例大致相同，该转轴单元2的轴套22具有二个相对位于芯棒21的两相反端的端壁221，不同的部分在于该转轴单元2的轴套22具有二个彼此相邻串接地轴向套置在该芯棒21周围且连接所述端壁221的管壁222。也就是将第一实施例的管壁222分段设置，而后再连接在一起，所以可利于管壁222的制造，设计上也可以再增加管壁222的数量，当然管壁222间的结合可以采用各种可行的组接手段，在此不再举例说明。[0030] 参阅图6，本实用新型晶圆清洗设备的滚轮装置的第三较佳实施例，本实施例的构造与第一实施例大致相同，该转轴单元2的轴套22具有二个相对位于芯棒21的两相反端的端壁221，不同的部分在于该转轴单元2的轴套22具有二个分别由所述端壁221的周缘同体往另一端壁221轴向延伸的围绕壁225，所述围绕壁225彼此相邻连接且轴向套置在该芯棒21周围，同样地端壁221与围绕壁225间以及所述围绕壁225间的结合，也可以采
用各种可行的组接手段，本实施例为另一种实施态样，可供厂商选择使用。[0031] 参阅图7，本实用新型晶圆清洗设备的滚轮装置的第四较佳实施例，本实施例的构造与第三实施例大致相同，该转轴单元2的轴套22具有二个相对位于芯棒21的两相反端的端壁221，二个分别由所述端壁221的周缘同体往另一端壁221轴向延伸的围绕壁225，不同的部分在于该转轴单元2的轴套22具有一个连接所述围绕壁225的管壁222。所述围绕壁225及管壁222轴向套置在该芯棒21周围。在设计上管壁222的数量也可以增加，
5而且围绕壁225的长度也可以縮短，以便于制造。 综上所述，本实用新型滚轮装置在上述轴套22内埋藏一支坚硬的芯棒21，以成为一支具有内外双层的长杆设计，还通过芯棒21强化转轴单元2的刚性及笔直度，以避免发生弯挠变形的情况，并能提升准确性及精密度，再加上锁接单元4利用多支锁接件41来螺接轮体31与轴套22，不但能縮短长度、降低断裂的机会，组装上也更为简便，所以确实能达成本实用新型的目的。