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  • 一种硅单晶切割籽晶专用夹具制作方法

    专利

    专利摘要: 一种硅单晶切割籽晶专用夹具,用于解决籽晶切割方位问题。其技术方案是构成中包括基准弯板、基准板、调整板和石墨垫,基准弯板由相互垂直的立板和平板构成,基准板与平板平行且固定在平板上,调整板位于基准板上部,与基准板形成可调固定连接,石墨垫粘接在调整板上表面。本实用新型可在x射线定向仪测定硅单晶晶向的同时,根据晶向误差对硅单晶进行调整并确定其切割角度,从而保证切割籽晶的质量。采用该夹具切割籽晶不仅无需剔除晶向偏角较大的硅单晶原料,而且可将籽晶晶向误差严格控制在正负30秒以内。
    发明者: 冯志军, 蔡中锁, 赵士锋
    公开日: 2010年5月12日
  • 一种用切片机切割铸锭高标准籽晶的方法

    专利

    专利摘要: 本发明公开了一种用切片机切割铸锭高标准籽晶的方法,步骤一将待切割籽晶的原料棒粘接在树脂板上;步骤二将粘接好的原料棒放入切片机切割;步骤三切割完成后进行脱胶;步骤四清洗;步骤五晾干;步骤六检验包装。本发明利用本来切割厚度在0.2mm左右硅片的切片机,切割厚度为17mm厚度的高标准籽晶。
    发明者: 赵朋占, 李振华
    公开日: 2014年7月16日
胡娟
金牌知产顾问
215463210
全国服务热线: 400-850-8810

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