专利摘要： 一种制备ITO靶材的方法，涉及材料【技术领域】，本发明通过抽滤成型设备将配制好的ITO浆料中的一部分水分从微孔模具的微孔中排出，使ITO粉末颗粒在抽滤成型设备型腔中不断堆积而成型出高密度、高强度的均匀大规格ITO坯体，再将该坯体在氧气氛炉中进行烧结，可得到大规格、高密度的ITO靶材，同时省去了干压成型方法中喷雾造粒、大吨位压机等设备和工序，可以较低成本获得大规格高端ITO靶材，本发明制备出的ITO靶材具有规格大、密度高、纯度高以及成本低等特点。

专利摘要： 注浆成型的陶瓷旋转靶材的制备方法,制备方法包括，(1)浆料准备；粉体放入球磨管，加入纯水后开始球磨后导入到压力浆料储罐中开始制备注浆；（2）注浆成型；向模具内输送浆料同时从模具上下模分别开始抽气，取出靶胚体放置在通风区域干燥；（3）靶材烧结；烘干剩余水份，后转入烧结炉进行烧结，通过自然降温，当炉膛温度小于200℃后，打开炉门得到靶材。不但能同时满足大面积镀膜应用在靶材尺寸和形状上的要求，而且能很好的控制成本，提高生产效率。产品的稳定性、均匀性，可成形大尺寸、高密度、复杂形状靶材，可以保证靶材的密度和微观结构的均匀性。

专利摘要： 一种氧化铟锡靶材烧结制备方法。靶材素坯置入烧结炉内，保持烧结炉内常压空气气氛，以15-100摄氏度每小时提高烧结炉内温度直到温度达到第一高温，恒温4至10小时；将烧结炉内的气氛转换为常压纯氧气氛，以20-100摄氏度每小时提高烧结炉内温度直到温度达到第二高温；使烧结炉内温度在第三高温到第二高温的振荡区间内振荡5至30小时当温度达到第二高温时，即以50-300摄氏度每小时提高烧结炉内温度直到温度达到第三高温，当温度达到第三高温时，即以150-300摄氏度每小时降低烧结炉内的温度直到温度达到第二高温，以20-200摄氏度每小时降至常温，即得氧化铟锡靶材。该技术方案应用成本低，产品质量高。

专利摘要： 本发明公开了一种二钛酸钡陶瓷靶材的制备方法。BaTiO3粉末和TiO2粉末按摩尔比1:1混合烘干后用压片机压片；将压片放入电弧熔炼设备进行熔炼得到块体；然后破碎得到粒径10微米以下的二钛酸钡粉体；将粉体放入石墨模具然后移入FCT电场活化烧结炉中，施加40-60MPa的轴向压力并以95-105℃/min的升温速率升至1100℃，然后以8-12℃/min升温至1150℃，保温20-30min，降温、卸除压力并随炉冷却，最终得到物相为BaTi2O5、致密度为90％-95％的二钛酸钡陶瓷靶材。与现有BaTi2O5靶材制备方法相比烧结时间短、尺寸大、致密度高。

专利摘要： 本发明涉及一种氧化锆和氧化钇混合物陶瓷靶材的制备方法，包括依次进行的步骤如下将ZrO2颗粒与Y2O3颗粒混合物采用ZrO2研磨球进行球磨混合，球磨混合后的混合粉料的粒径为10nm~100nm；对混合粉料进行冷等静压成型，获得混合物陶瓷靶材的毛坯；将毛坯进行高温烧结，获得混合物陶瓷靶材的素坯；对素坯进行机械加工，获得混合物陶瓷靶材。本发明通过采用成分和ZrO2颗粒与Y2O3颗粒混合物的成分基本相同的ZrO2研磨球进行球磨混合，混合粉料中杂质的进入减少，纯度提高，且混合粉料细，混合均匀；另外，采用冷等静压的方式获得的毛坯表面光滑且致密度高；本发明的制备方法操作简单，生产成本低，生产效率高。