专利名称：一种多晶硅太阳能硅片喷淋装置的制作方法在多晶硅太阳能硅片生产过程中，预清洗是其中一个工序，通常采用摇摆式喷淋、 喷淋、超声、脱胶的方式进行处理。现在使用的摇摆式喷淋，是通过喷头上下摆动来清洗硅 片表面，不管喷头是向上摆动还是向下摆动，喷嘴里都有水流喷出，这使得原本在喷头向下 摆动时从硅片表面冲下的砂浆，在喷头向上摆动时又随着向上的水流重新回到了硅片表 面，在很大程度上降低了喷淋清除砂浆的效果。
图1为本实用新型示意图。 图2为本实用新型使用示意图。 图中1-喷管，2-喷头，3-摆动机构，4-阀门，5-管路。如图1、2所示，喷淋室壁上安装有喷管l，喷管1上排列着若干喷头2，喷管1 一端 连接在摆动机构3上。摆动机构3可以为液压缸，通过行程开关控制进出液口，从而控制摆 动方向和幅度；摆动装置3也可以由电机驱动，同样由行程开关控制电动机构的转动方向， 实现控制摆动机构的摆动方向和幅度。摆动幅度优选为120。。喷管管路5上安装有阀门 4，阀门4与摆动机构3联动，即摆动机构3驱动喷头2向下转动时，阀门4接通管路，喷嘴喷出水流对硅片进行清洗；摆动机构3驱动喷头2向上转动时，阀门4关闭，管路5不能接 通。优选的，阀门4为电磁阀，控制方便。进一步的，喷头2向下时缓慢摆动，向上时快速摆 动，縮短空程运转时间，可进一步提高工作效率。 当然，本实用新型还可有其它多种实施例，在不背离本实用新型精神及其实质的 情况下，熟悉本领域的技术人员当可根据本实用新型作出各种相应的改变和变形，但这些 相应的改变和变形都应属于本实用新型所附的权利要求的保护范围。