专利名称：半导体元件的除尘装置的制作方法半导体元件在完成封装作业后通常会排列装盛于一托盘内，以方便日后运送及组 装。然而，空气中的污染尘会在存放与运送过程中附着于该托盘内的所述半导体元件上，污 染尘会造成半导体元件操作特性变差，甚至导致半导体元件损坏，因此必须在组装前对置 放于托盘内的半导体元件进行清洁，以确保组装后的产品品质。参阅图1所示，现有用于半导体元件的除尘方式是使用一能输出高压气流的高压 气枪13对所述半导体元件11进行除尘，将附着于所述半导体元件11上的污染尘吹落并达 到清洁的效果。然而因承载所述半导体元件11的托盘12只设置多数凹槽121供容纳各半导体元 件11，缺乏任何固定所述半导体元件11的设计，以致当该高压气枪13对于所述半导体元件 11吹送高压气体进行清洁的同时，一旦风力大小控制不妥或是该高压气枪13对所述半导 体元件11的吹风距离拿捏不当，非常容易吹乱所述半导体元件11的排序，甚至将所述半导 体元件11自该托盘12吹落，造成必须再以人力将掉落的半导体元件11放回该托盘12的 凹槽121内而导致作业上虚耗人力，所述半导体元件11甚至也可能因碰撞而损坏，造成生 产成本的损失。另外，该高压气枪13形成的高压气流过于集中，容易使吹入所述凹槽121内的气 流反弹形成扰流气旋，造成污染尘四处飞扬并污染环境，进而附着于其他的半导体元件11 形成二次污染，难以确实达到清洁的效果。由此可见，上述现有的半导体元件的除尘装置在结构与使用上，显然仍存在有不 便与缺陷，而亟待加以进一步改进。为了解决上述存在的问题，相关厂商莫不费尽心思来谋 求解决之道，但长久以来一直未见适用的设计被发展完成，而一般产品又没有适切结构能 够解决上述问题，此显然是相关业者急欲解决的问题。因此如何能创设一种新的半导体元 件的除尘装置，实属当前重要研发课题之一，亦成为当前业界极需改进的目标。发明内容本实用新型的目的在于，克服现有的半导体元件的除尘装置存在的缺陷，而提供 一种新的半导体元件的除尘装置，所要解决的技术问题是使其用以清洁并防止半导体元件 掉落，非常适于实用。本实用新型的目的及解决其技术问题是采用以下的技术方案来实现的。依据本实 用新型提出的半导体元件的除尘装置，包含有一个导引单元；一个限位单元，设置于该导引单元上，该限位单元包括一个用以对所述半导体元 件提供限位作用的遮罩网件，及多数个间隔设置于该导引单元上并与该遮罩网件相连接且能带动该遮罩网件升降位移的升降驱动件；及一个除尘单元，包括一个设于该导引单元的除尘本体，及一个设于该除尘本体内 的送风管，该送风管具有一个形成于该除尘本体上且供一外界气体输入的入风孔、一个形 成于该除尘本体上且朝向该遮罩网件的出风孔，借此所述外界气体输入该入风孔并经该送 风管而由该出风孔朝向该遮罩网件输出，以对所述半导体元件进行吹风清洁作用。本实用新型的目的以及解决其技术问题还可以采用以下的技术措施来进一步实 现。前述半导体元件的除尘装置，还包含一固设于该导引单元并朝向该限位单元而能 收集该除尘单元所吹扬的污染尘的吸尘单元。前述半导体元件的除尘装置，该吸尘单元具有一个固设于该导引单元的吸尘本 体、一个形成于该吸尘本体内的容室、一个形成于该吸尘本体且与该容室相连通并朝向该 限位单元的吸尘孔，及一个形成于该吸尘本体并与该容室相连通且用以外接一抽风机的排 出孔。前述半导体元件的除尘装置，该除尘单元的该送风管还具有一个形成于该入风孔 与该出风孔间并用以将扰流气旋整流成稳定除尘气流的整流室。前述半导体元件的除尘装置，该导引单元包括二个相间隔的滑轨，及一个可滑动 地设于所述滑轨上的滑动座，该除尘单元与该吸尘单元是设置于该滑动座上。前述半导体元件的除尘装置，还包含一驱动单元，该驱动单元与该导引单元的滑 动座相连接并用以驱动该滑动座沿所述滑轨往返移动。前述半导体元件的除尘装置，所述半导体元件是以多数个排列置于一托盘上，该 托盘可置于该导引单元的所述滑轨上并位于该遮罩网件下方，借由该驱动单元可使该除尘 单元与该吸尘单元对该托盘上的所述半导体元件进行除尘与吸尘。前述半导体元件的除尘装置，该遮罩网件具有一个设于所述升降驱动件上的框 架、一个设于该框架上的网体，及多数个间隔排列地形成于该网体上的网孔。前述半导体元件的除尘装置，该导引单元还包括一个设于所述滑轨间的输送带， 及一个用以驱动该输送带的输送驱动件。借由上述技术方案，本实用新型半导体元件的除尘装置至少具有下列优点及有益 效果借由该遮罩网件遮蔽所述半导体元件，该除尘单元透过该遮罩网件吹送除尘气流对 所述半导体元件进行清洁，借由该遮罩网件避免所述半导体元件在清洁的过程中被吹落， 并防止所述半导体元件因为碰撞而损坏。综上所述，本实用新型是有关于一种半导体元件的除尘装置，包含一导引单元、一 限位单元，及一除尘单元。该限位单元包括一个用以将所述半导体元件限位于一托盘内的 遮罩网件。该除尘单元设置于该导引单元上，并可以透过该遮罩网件对所述半导体元件吹 送除尘气流以进行清洁。借由该遮罩网件可使所述半导体元件稳固地置于该托盘内，并避 免所述半导体元件被除尘气流吹落。该除尘单元包括一整流室，该整流室可将输入的气流 整流成稳定的除尘气流并避免污染尘在清洁的过程中飞扬而造成二次污染。本实用新型在 技术上有显著的进步，并具有明显的积极效果，诚为一新颖、进步、实用的新设计。上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技 术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。图1是说明现有使用高压气枪的除尘方式的示意图。图2是说明本实用新型半导体元件的除尘装置的第一较佳实施例的局部剖视图。图3是说明该第一较佳实施例的驱动单元的伸缩杆伸长时的态样的俯视图。图4是说明该第一较佳实施例的该遮罩网件下降时的态样的侧视图。图5是说明该第一较佳实施例的驱动单元的伸缩杆缩短时的态样的俯视图。图6是说明本实用新型半导体元件的除尘装置的第二较佳实施例的俯视图。为更进一步阐述本实用新型为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效，以下 结合附图及较佳实施例，对依据本实用新型提出的半导体元件的除尘装置其具体实施方 式、结构、特征及其功效，详细说明如后。在本实用新型被详细描述前，要注意的是，在以下的说明内容中，类似的元件是以 相同的编号来表示。参阅图2与图3所示，本实用新型半导体元件的除尘装置的第一较佳实施例，所述 半导体元件21是分别放置于一托盘22的多数凹槽221内。该除尘装置包含一导引单元3、一限位单元4、一除尘单元5、一吸尘单元6，及一驱 动单元7。该导引单元3包括二个彼此相间隔的支撑件30、二个分别设置于所述支撑件30内 侧的滑轨31，及一可滑动地设于所述滑轨31上的滑动座32。该限位单元4包括一个可将该托盘22上的半导体元件21限位于凹槽221内的遮 罩网件41，及多数个固设于该支撑件30的升降驱动件42。该遮罩网件41具有一框架411、 一设于该框架411上的网体412，及多数个间隔排列地形成于该网体412上并可以使气流通 过的网孔413。每一升降驱动件42具有一固设于该支撑件30的作动缸421，及一延伸自该 作动缸421的升降杆422，该升降杆422远离该作动缸421的一端连接于该遮罩网件41的 框架411上。借由该作动缸421驱动该升降杆422伸缩活动以连动该遮罩网件41升降位 移。该除尘单元5包括一固设于该导引单元3的滑动座32上的除尘本体51，及一设于 该除尘本体51内的送风管52。该送风管52具有一形成于该除尘本体51上并用以外接一 送风机8的入风孔521、一形成于该除尘本体51上且朝向该遮罩网件41的出风孔522，及 一形成该入风孔521与该出风孔522间用以将该送风机8所输入的气流整理成除尘气流的 整流室523。该吸尘单元6包括一固设于该导引单元3的滑动座32上的吸尘本体61、一形成于 该吸尘本体61内的容室62、一形成于该吸尘本体61并与该容室62相连通且用以朝向该遮 罩网件41而收集该除尘单元5所吹扬的污染尘的吸尘孔63，及一形成于该吸尘本体61且 与该容室62相连通并用以外接一抽风机9的排出孔64。在本实施例中，该吸尘单元6是外接于该抽风机9来产生吸力，但是只要能达到相5同功效，当然也可以使用真空帮浦(又称真空泵)、排风扇取代该抽风机9。该驱动单元7具有一驱动缸71，及一延伸自该驱动缸71的伸缩杆72，该伸缩杆72 远离该驱动缸71的一端连接于该滑动座32并可驱动该滑动座32沿所述滑轨31来回移动。 在本实施例中，该驱动缸71是以气动的形式连动该伸缩杆72，当然也可以使用油压或其他 方式作动。参阅图2与图4所示，在使用时，所述升降驱动件42先是驱动该遮罩网件41上升， 使得装盛有半导体元件21的托盘22可置于所述滑轨31上并位于该遮罩网件41下方，待 该托盘22置妥后，所述升降驱动件42再驱动该遮罩网件41下降，使得该遮罩网件41覆盖 住该托盘22并将所述半导体元件21限位于所述凹槽221内。参阅图2与图3所示，当所述半导体元件21被该遮罩网件41遮蔽于该托盘22内 后，启动该送风机8及该抽风机9，借该送风机8将气流输入该除尘单元5的入风孔521并 经由该整流室523整流成稳定的除尘气流，进而由该出风孔522朝向该遮罩网件41吹出， 并透过该遮罩网件41对该托盘22内的所述半导体元件21进行吹风清洁，再利用该抽风机 9对该吸尘单元6的容室62抽风，进而使前述被吹扬的污染尘经由该吸尘单元6的吸尘孔 63被吸入该容室62中再由该排出孔64排出。参阅图3与图5所示，借由该驱动单元7的伸缩杆72的伸缩以带动该滑动座32 沿所述滑轨31相对于该遮罩网件41来回移动。该除尘单元5与该吸尘单元6并随着该滑 动座32同步位移，同时借除尘气流将所述半导体元件21的污染尘吹起，再以该吸尘单元6 将污染尘吸收排出，达到对所述半导体元件21进行清洁的效果。当该滑动座32沿所述滑轨31往返一趟后，该除尘单元5与该吸尘单元6就停止 运作，接着所述升降驱动件42会驱动该遮罩网件41上升，使该托盘22易于取出。特别说明的是，在本实施例中，该除尘单元5与该吸尘单元6是往返皆进行除尘与 吸尘，当然也可以只在该驱动单元7的伸缩杆72将该滑动座32拉靠近该驱动缸71时进行 清洁，当该伸缩杆72将时该滑动座32推远离该驱动缸71时，该除尘单元5与吸尘单元6 就停止运作。相较于现有对于半导体元件21的除尘方式而言，本实用新型半导体元件的除尘 装置借由该遮罩网件41所提供的限位功能，使所述半导体元件21经过气流吹袭却依然不 会脱离该托盘22，避免所述半导体元件21因为被该除尘单元5吹落或被该吸尘单元6吸入 而造成损坏与作业上的不便。并以该除尘单元5的整流室523将输入的气体整理成稳定的 除尘气流，避免污染尘脱离所述半导体元件21后四处飞扬造成所述半导体元件21 二次污^fe ο此外，制程(又称制造工艺)上不须针对各种形式的托盘22进行更换，该遮罩网 件41可相对各种形式的托盘22进行覆盖限位的功能，所以各式托盘22可直接使用，增进工作效率。参阅图6所示，本实用新型半导体元件的除尘装置的第二较佳实施例大致类似于 该第一较佳实施例，不同的地方是在于该导引单元3还包括一设于所述滑轨31间并用以 将该托盘22输送通过该遮罩网件41下方的输送带33，及一设于该导引单元3的所述支撑 件30上并用以连动该输送带33转动的输送驱动件34。在本实施例中，该输送驱动件34为 可以连动该输送带33的滚轮，当然也可以使用链条或其他可以连动输送带33的方式。[0048]在使用时，该托盘22由该输送带33送入并位于该遮罩网件41下方时，该输送驱 动件34会停止运作，然后所述升降驱动件42会驱动该遮罩网件41下降，并将所述半导体 元件21限位于所述凹槽221内。接着再以该驱动单元7使该除尘单元5与该吸尘单元6 沿所述滑轨31来回移动并进行清洁。在完成来回一趟的清洁后，所述升降驱动件42驱动 该遮罩网件41升起，该输送驱动件34连动该输送带33进而将该托盘22送出。借由该输 送带33与该输送驱动件34将该托盘22送入并进行清洁的自动化作业模式可进一步提升 作业效率。如上述，本实用新型半导体元件的除尘装置是借由该限位单元4的遮罩网件41将 所述半导体元件21遮蔽限位于该托盘22的所述凹槽221内，该除尘单元5透过该遮罩网 件41吹送稳定的除尘气流对所述半导体元件21进行清洁，可避免所述半导体元件21在清 洁的过程中被吹落而造成损坏，另在除尘过程中，同时借该吸尘单元6吸收扬起的污染尘， 避免污染尘四处飞扬以致二次污染所述半导体元件21。以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上 的限制，虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本实用新型，任何熟 悉本专业的技术人员在不脱离本实用新型技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容 作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本实用新型技术方案的内 容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍 属于本实用新型技术方案的范围内。