专利名称:摆动喷淋装置的制作方法如图1所示,目前的自动脱胶机采用的喷淋装置,其结构包括机架1,机架1在喷 淋工位2的两侧分别设置有一对喷淋管3,喷淋管3的喷嘴4朝向喷淋工位。实际使用时, 该喷淋装置只能对硅片进行定角度喷淋清洗,由于硅片高度的原因,喷淋存在死角,不能全 面覆盖硅片的表面,导致喷淋不到的硅片表面不能得到清洗,造成花片现象,影响到清洗效^ ο
在一起。所述机架在喷淋工位的两侧分别活动铰接有一对摆动臂。本实用新型的有益效果是本实用新型中的摆动气缸通过连接片带动摆动臂摆 动,使得设置在摆动臂上的喷淋管的喷嘴发生偏转,使得喷淋可以全面覆盖物件表面,清洗 效果得到明显的改善。图1是背景技术中所述的喷淋装置结构示意图。图中1、机架,2、喷淋工位,3、喷淋管,4、喷嘴。图2是本实用新型所述的喷淋装置的结构示意图。图3是本实用新型在使用过程中喷嘴偏转后的结构示意图。图2至图3中1、机架,2、喷淋工位,3、喷淋管,4、喷嘴,5、摆动臂,6、连接片,7、驱 动杆,8、摆动气缸。以下结合附图,详细描述本实用新型的具体实施方案。如图2所示,本实用新型所述的摆动喷淋装置,包括机架1,机架1在喷淋工位2 的两侧分别活动铰接有一对摆动臂5,机架1在摆动臂5的下方活动铰接有摆动气缸8,摆 动臂5上设置有喷淋管3,喷淋管3的喷嘴4朝向喷淋工位2,同一侧所有摆动臂5的端部活动铰接在连接片6的一侧,连接片6的另一侧端部与设置在摆动气缸8的活塞杆上的驱 动杆7活动铰接在一起。 实际使用时,摆动气缸8的活塞杆通过驱动杆7和连接片6带动摆动臂5摆动,使 得设置在摆动臂5上的喷淋管3的喷嘴4发生偏转——偏转后的结构参见图3所示,摆动 角度通常在0 23°之间就可使喷淋全面覆盖物件表面,清洗效果得到明显的改善。
摆动喷淋装置制作方法
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