过氧化物的保存制作方法

约翰·斯库菲斯

2003年9月10日

2001年6月12日

2000年6月12日

伊利诺斯器械工程公司

A47L13/17GK1441739SQ01810987

过氧化物 保存

1.一种用来包装擦洗半导体晶片的聚乙烯醇海绵的方法，它包括(a)将所述的海绵安置在容器中；(b)在所述的容器中放置一定量的混有双氧水的去离子水混合液，其中双氧水占体积百分比0.05％至1％之间；(c)将所述的容器密封2.按权利要求1所述的方法，其特征在于，所述的容器是一种软质的塑料袋，其材料在接触双氧水后不会变性，优选聚乙烯3.按权利要求1所述的方法，其特征在于，所述的是一定量液体的量至少能浸透所述的海绵4.按权利要求1所述的方法，其特征在于，所述的双氧水和去离子水的混合液中，双氧水占0.1％的体积比5.一种用来包装洁净用具的方法，它包括将洁净用具放置到容器中；并在所述的容器中放置一定量的去离子水，所述的去离子水里混有一定量的双氧水，其含量足够有效杀死或抑制所述海绵中的细菌，但又不至于太多而在所述的容器中产生过量的金属离子；还包括密封所述的容器6.按权利要求5所述的方法，其特征在于，所述的洁净用具是一种聚乙烯醇海绵刷7.按权利要求5所述的方法，其特征在于，所述的洁净用具是一种超净无尘室拭帕8.按权利要求5所述的方法，其特征在于，所述的双氧水和去离子水的混合液中，双氧水占体积百分比0.05％至1％9.一种用于超净无尘室的已包装了的洁净用具，所述的洁净用具上含有的微粒、金属离子和阴离子的总量不高于超净无尘室里所规定的量；所述的包装包括一种密封容器，所述的洁净用具安置在该容器中，容器中还包括一定量的去离子水，去离子水里混有一定量的双氧水，其含量足够有效杀死或抑制所述海绵中的细菌，但又不至于太多而在所述的容器中产生过量的金属离子10.按权利要求9所述的洁净用具，其特征在于，所述的双氧水和去离子水的混合液，其中双氧水的体积占0.05％～1％11.按权利要求9所述的洁净用具，其特征在于，所述的液体的量能足以保持洁净用具的湿润，但又不至于浸透所述的洁净用具12.按权利要求9所述的洁净用具，其特征在于，所述的洁净工具是一种用来擦洗半导体晶片表面的聚乙烯醇海绵，所述的双氧水和去离子水的混合液中，双氧水占0.1％的体积比13.按权利要求9所述的洁净用具，其特征在于，所述的洁净用具是吸水未饱和超净无尘室拭帕14.按权利要求9所述的放置洁净用具的容器，其特征在于，该容器是一种软质的塑料袋

本发明涉及包装和保存超净无尘室里清洁工具的过程和结构，该清洁用具包括聚乙烯醇(PVA)海绵刷和吸水未饱和的拭帕本发明所述的海绵是用在超净无尘环境下来擦洗半导体晶片和其它精密设备表面的这种海绵通常在运输过程中需要保湿，即让它吸收纯水至饱和使之保持其柔韧性，如果海绵不保持在湿润的环境下，水干尽后它将变得非常坚硬，这样在洁净过程中是有害的传统上用合成物质来保存易变质的材料，特别是易潮解的材料，且当合成物质残留物的污染不产生负面影响时，这种方法的确行之有效从聚乙烯醇的制造到处理结束需几个月的时间，在此过程中需要用保存剂来阻止细菌和霉菌的生长，这些细菌和霉菌一旦出现将很难在后续过程中被清除通常使用的合成类保存剂也很难被清除，它们在以后的清洁过程中可能会成为潜在的污染物其它杀菌的方法有很多，包括电子束辐射和伽马辐射电子束辐射只在每一个包装壳都充分暴露在电子束的辐射之下才有用然而在箱装的成堆的刷子里，通常很难保证让所有的刷子充分暴露而达到足够的穿透辐射伽马辐射是一种很有效的办法，但是成本太高，而且在达到杀菌量级的辐射(约25KGY)时，受辐射的物质有可能分解和聚乙烯醇海绵一样，一些吸水未饱和的超净无尘室的拭帕有着同样的问题如果拭帕所吸入的溶液不足以杀菌，细菌就会在拭帕所放置的包装壳中生长并繁殖超净无尘室里用的聚乙烯醇海绵(特别是海绵刷)和拭帕，对它们上面所附有的杂质的数量都有严格的限制这些杂质包括金属离子，阴离子团比如氯化物、氟化物、磷酸盐、和溴化物，还有微粒在半导体设备的制造过程中，需要去除的微粒，包括细菌，它们的大小通常与设备里导线间隙在同一量级特别地，本发明的目的之一就是提供一种相对简单廉价的方法和结构，该方法和结构能有效杀死和防止放置洁净用具的包装壳上的细菌生长与此同时，在本发明里，双氧水被用于杀菌剂和保存剂具有下列优点1、能高效应用于种类广泛的有机体2、对于使用的浓度来说是安全的3、其分解物无危险，无污染，在分解过程中也不产生污染物4、水解作为化学反应物的甲醛，从而消除了这种有毒混合物双氧水，由于其强氧化性，至从1800年以来一直被用作消毒剂和杀菌剂，效率高而且安全其氧化电势比氯气高28％它作用于被氧化的材料后分解成水和氧气()，较之其它混合物分解的有危险、有腐蚀性的分解物诸如氯、二氧化氯和氟等要好得多因此，它在水处理和医用上有广泛的应用由于双氧水是大多数生物体的自然代谢产物，它正常反应生成水和氧气此外，紫外线辐射水实际上也能产生双氧水作为一种自然的净化体系辐射在杀菌的过程中对人体有害测试表明，双氧水在用来完成成品的消毒过程中是没有辐射的研究发现，在运输前用双氧水和去离子水的混合液浸泡的海绵上，细菌生长能得到抑制虽然双氧水作为杀菌剂已为公众所熟知，但使用双氧水还是能给我们带来一个预想不到的效果这是因为双氧水分解得相当快，当它分解时，它变成无害的成分水和氧气而且，这种分解只会抑制细菌的生长，而不会产生任何污染超净海绵的金属离子或残渣因此，当消费者收到该产品时，双氧水已经分解成无害的成分，这样就保证了在清洁的过程中，没有化学污染物影响海绵的使用这些海绵浸泡在纯净、无菌的水里在实际使用过程中，在包装这些用于医疗或半导体晶片硬毛刷或其它超净应用的聚乙烯醇海绵时，海绵材料通常用非常纯净的去离子水和少量比例(体积比)的双氧水的混合液封装混合液里双氧水的含量应尽量低，以保证在取走包装里的材料时双氧水完全分解很方便的是，该包装可以是密封的塑料包装，吸水未饱和的洁净拭帕可以放置在其中用来运输研究表明，混合液中双氧水的含量过高(比如1％～5％)时，会因产生不利的杂质如甲基离子而导致负面的影响因此，在本发明中，尽可能低的浓度(约0.05％～1％)，最好是0.1％，以避免这种因双氧水浓度过高而产生的不利影响聚乙烯醇海绵(滚筒状或盘状等)和吸水未饱和的拭帕最好是密封放置在含有适量上述混合液的塑料袋里；混合液的量应控制在一定的范围，使聚乙烯乙醇海绵浸透，而拭帕则不需要完全浸透结合下面的描述和附图就会明白本发明的上述和其它特点和优点