专利名称:一种盘形涡轮复合分子泵的制作方法本发明涉及一种具有过渡结构部分的盘形涡轮复合分子泵。现有分子泵的结构有两种基本类型一种是分子拖动型分子泵，如盘形分子泵。这类泵主要由一高速旋转的平板圆盘和一在盘面上开有若干个特定线形抽气沟槽的定圆盘组成。这类泵的压缩比较高，但抽速偏低。另一种是涡轮分子泵，这类泵装有轴向交错排列的各级涡轮动片和涡轮静片。这种泵在压强低于10-3毫巴的分子流真空状态下工作时具有较大的抽速和较高的压缩比，但在10-2-1.0毫巴的压强范围内工作时，抽速和压缩比都下降较大。随着一些新兴高技术的出现，对真空泵提出了新的要求，即要求真空泵不但在分子流状态下有大的抽速如450/秒和高的压缩比及低于10-6毫巴的极限压强，而且在入口压强为10-2-1.0毫巴时仍具有较大的抽速如150升/秒和较高的压缩比。而现有的商品涡轮分子泵和其它各种商品真空泵均无法同时满足上述要求。中国发明专利GK85105304提出用轴涡轮分子泵和径向流盘形分子泵组合成复合分子泵。由于这种复合分子泵采用的复合方式是将涡轮部分与盘形部分简单直接串联，使气体分子的运动方向在两部分的联接处遭到一定程度的破坏，从而使其抽速和压缩比反而低于相同口径，相同转速的涡轮分子泵的抽速和压缩比，因此限制了它的推广和应用。本发明的任务是提出一种带有盘形涡轮过渡结构的盘形涡轮复合分子泵，即在泵芯结构的涡轮部分和盘形部分之间加入过渡部分之后，能够成功地将轴流涡轮部分和径向流盘形部分组合成具有大流量，高压缩比的盘形涡轮复合分子泵;在性能上不但能够满足在分子流状态下工作时具有大抽速，高压缩比和低于10-6毫巴的极限压强，而且在入口压强为10-2-1.0毫巴时仍有较大的抽速和较高的压缩比，例如在10-6毫巴时抽速为450升/秒;当入口压强降至6.6×10-2毫巴时，对空气仍具有150升/秒的抽速。它是一种结构简单，运动可靠，商品化的复合分子泵。本发明提出的盘形涡轮复合分子泵的抽气泵芯结构主要由三部分结构组成，即涡轮部分、盘形涡轮过渡部分和盘形部分。这三部分以直接串联的方式，从高真空端到低真空端按照涡轮部分、盘形涡轮过渡部分和盘形部的序顺依次串接。涡轮部分是现有技术，由沿轴向按动，静交错排列的若干片旋转涡转叶片和若干片相应静止的涡轮叶片构成。盘形涡轮过渡部分的结构采用本申请人在中国发明专利申请号为8713982说明书和权利要求1.一种泵芯结构具有高真空端是涡轮部分，低真空端是盘形部分按串联方式构成的盘形涡轮复合分子泵，其特征在于泵芯的涡轮部分和盘形部分之间串接有盘形涡轮结构作为过渡部分结构。2.权利要求
1所述的复合分子泵，其特征在于过渡部分是盘形涡轮分子泵泵芯结构，即每一级由装在转子上的一片带有涡轮叶齿的动圆盘和一片在盘面上开有若干个沿圆周均匀分布呈放射状的圆弧线形或对数线形或直线形抽气沟槽的定圆盘组成。
3.权利要求
1所述的复合分子泵，其特征在于盘形部分的每一级是由一片装在电机转子上的旋转平板圆盘面上开有若干个沿圆周均匀分布呈放射状的圆弧线形或对数线形或直线形抽气沟槽的定圆盘组成。
4.权利要求
2所述的复合分子泵，其特征在于盘形涡轮过渡部分可以是单级或多级构成。
5.权利要求
3所述的复合分子泵，其特征在于盘形部分可以是单级或多级构成。
6.权利要求
1或2所述的复合分子泵，其特征在于定圆盘盘面上所开的抽气沟槽的线形可以是沿圆周均匀分布呈放射状的圆弧线形或对数线形或直线形抽气沟槽。
7.权利要求
1、2或3所述的复合分子泵，其特征在于定圆盘盘面上所开的抽气沟槽的线形可以是沿圆周均匀分布呈放射状的圆弧线形或对数线形或直线形抽气沟槽。
8.权利要求
2或3所述的复合分子泵，其特征在于多级串联时定圆盘的两侧盘面上都开有若干个沿圆周均匀分布呈放射状的圆弧线形或对数线形或直线形抽气沟槽。
9.权利要求
8所述的复合分子泵，其特征在于定圆盘两侧盘面上所开的抽气沟槽的线形走相反。
10.权利要求
8所述的复合分子泵，其特征在于同一定圆盘的两个侧面上或不同定圆盘的两个盘面上所开的抽气沟槽的数目可以不同。
11.权利要求
8、9或10所述的复合分子泵，其特征在于定圆盘两侧盘面上开的抽气沟槽的长度可以不同。
12.权利要求
8或10所述的复合分子泵，其特征在于同一定圆盘的两个侧面上或不同定圆盘的盘面上所开的抽气沟槽的槽深可以不同。

本发明涉及一种具有过渡结构部分的盘形涡轮复合分子泵。泵芯结构从高真空端到低真空端依涡轮部分、过渡部分、盘形部分的顺序串联而成。过渡部分中的每一级由一片带有涡轮叶齿的旋转动圆盘和一片在盘面上开有特定线形抽气沟槽的定圆盘组成。这种泵在高真空区和低真空区工作时都能得到理想的大流量和高压缩比。