切断机构的制作方法 [0002]液晶面板大体上通过将向2块矩形状的玻璃基板间封入液晶所得的构成的大面积的贴合基板(母基板)切断成规定的尺寸而制作。在液晶面板的一玻璃基板上预先形成着分别构成液晶元件的多个晶体管。但是，所述多个晶体管是在母基板的阶段中，经由从该晶体管引出以用于连接外部的电极端子，利用设置在母基板的侧端部(突出部)的短路电极而相互短路，以防止静电引起的介电击穿。在液晶面板的制造工艺中将设有短路电极的母基板的侧端部切断去除的技术已众所周知(例如参照专利文献I)。 [0003]具体来说，在专利文献I中公开有如下工艺:在矩形状的母基板的距一边缘规定距离的切断位置与该边缘平行地形成划线之后，沿着所形成的划线进行切断，由此，将设置着短路电极的侧端部去除，进而对切断后的母基板的端面进行研磨。 [0004]而且，通过使夹持着陶瓷基板的夹持构件绕旋转轴旋转而将陶瓷基板分割的装置也已众所周知(例如参照专利文献2)。 [0005][文献] [0006][专利文献] [0007][专利文献I]日本专利特开平8-197402号公报
[0008][专利文献2]日本专利特开平9-19918号公报



[0009][发明所要解决的问题]
[0010]在专利文献I公开的态样的情况下，通过对被切断去除的部分赋予规定的扭矩而实现切断。但是，因被切断去除的部分形成为长边方向为划线的延伸方向且另一方面短边方向上的宽度比划线的长度短的短条状，即，因划线与母基板的边缘之间的距离与划线的长度相比相对较短，所以，在切断时无法通过距离来获得扭矩。因此，为了实现切断，必须作用足以弥补划线与边缘的距离的不足的大小的力。然而，有如下问题:作用的力越大，越容易在切断位置产生母基板的裂纹或缺口(毛边等)。而且，难以将如所述般的力均匀且瞬间赋予至整个切断位置，因此，也有可能作用的力的大小存在局部的不均匀而导致在母基板产生裂纹或缺口。
[0011]本发明是鉴于所述问题而完成的，其目的在于提供一种可以良好地将脆性材料基板的侧端部切断的切断机构。
[0012][解决问题的技术手段]
[0013]为了解决所述问题，技术方案I的发明是一种切断机构，其特征在于:将预先形成着划线的基板的端缘部沿着所述划线切断，包括夹持所述端缘部的一对夹持体、及变更所述一对夹持体的姿势的姿势变更机构，通过所述姿势变更机构变更夹持着所述端缘部的所述一对夹持体的姿势而可以进行所述端缘部的切断，且所述一对夹持体的一个在沿着所述端缘部的长边方向的中央部分具有突起部，为了所述切断而所述一对夹持体夹持所述端缘部时，使所述突起部与所述端缘部接触。
[0014]技术方案2的发明是根据技术方案I所述的切断机构，其特征在于:利用所述一对夹持体夹持所述端缘部时，使所述突起部与所述端缘部中设置着所述划线的一侧的面接触。
[0015]技术方案3的发明是根据技术方案I或2所述的切断机构，其特征在于:所述突起部设置成在俯视时与所述划线越近的位置前端越细的梯形状。
[0016]技术方案4的发明是根据技术方案I至3中任一项所述的切断机构，其特征在于:在所述姿势变更机构中，保持所述一对夹持体的保持部设为绕规定的转动轴自由转动，通过使规定的升降构件进行升降动作而使所述转动轴沿着圆弧状的轨迹移动，由此，变更所述一对夹持体的姿势。
[0017][发明的效果]
[0018]根据技术方案I至技术方案4的发明，在设有突起部的一侧的夹持体中，使作用于应切断的基板的端缘部的力集中在该突起部，由此，可以稳定且确实地实现不产生裂纹或毛边等的端缘部的切断。




[0019]图1是表示切断机构I的概略构成的一侧视图。
[0020]图2是切断机构I的俯视图。
[0021 ]图3是从Y轴方向正侧观察切断机构I所得的侧视图。
[0022]图4是从Z轴方向负侧观察第I夹持体2所得的平面图。
[0023]图5是从Y轴方向正侧观察夹持着基板W的状态的切断机构I所得的侧视图。
[0024]图6是表示利用切断机构I的基板W的切断开始时的情况的透视平面图。
[0025]图7是表示利用切断机构I的基板W的切断中途的情况的透视平面图。
[0026]图8 (a)、(b)是用以对姿势变更机构4的一例示的态样与该态样下的夹持部4a的转动动作进行说明的概要图。
[0027]图9 (a)、(b)是用以对姿势变更机构4的一例示的态样与该态样下的夹持部4a的转动动作进行说明的概要图。
[0028]图10是表示切断处理装置100的主要部分的立体图。
[0029]图11是表示切断处理装置100的主要部分的侧视图。
[0030][符号的说明]
[0031]I切断机构
[0032]2第I夹持体
[0033]3第2夹持体
[0034]4姿势变更机构
[0035]4a夹持部
[0036]4b转动轴
[0037]4c动作转换部
[0038]4d升降部
[0039]5突起部
[0040]6、7树脂片
[0041]8 导板
[0042]9引导体
[0043]10基板保持部
[0044]11排出路径
[0045]100切断处理装置
[0046]SL 划线
[0047]W 基板


[0048]<切断机构的概要>
[0049]图1是表示本发明的实施方式的切断机构I的概略构成的一侧视图。图2是切断机构I的俯视图。本发明的实施方式的切断机构I是将矩形状的脆性材料基板(以下，简称为基板)W的端缘部切断去除的机构。基板W例如为玻璃基板,也可以是作为液晶面板的母基板的向2块矩形状的玻璃基板间封入液晶所得的构成的大面积的贴合基板等。
[0050]切断机构I主要包括:第I夹持体2与第2夹持体3，构成一对夹持体且均为短条状；夹持部4a，实现利用第I夹持体2与第2夹持体3的基板W的夹持动作；及夹持部4a进行转动动作时的转动轴4b。夹持部4a与转动轴4b构成一体地变更夹持着基板W的状态的第I夹持体2与第2夹持体3的姿势的姿势变更机构4。
[0051]在切断机构I中，在利用未图示的保持构件保持着基板W的状态下，该基板W的端缘部大体上夹持在均为俯视短条状且为水平姿势的第I夹持体2与第2夹持体3之间。然后，通过在所述夹持状态下驱动姿势变更机构4而使第I夹持体2与第2夹持体3的姿势变更，由此，对该端缘部赋予扭矩。所述扭矩发挥作用后，该端缘部从基板W被切断。
[0052]另外，在图1及图2中，标注右手系的XYZ座标(之后的图中也同样)，该右手系的XYZ座标中将水平面内的第I夹持体2及第2夹持体3的延伸方向(即，作为去除对象的基板W的端缘部的延伸方向)设为X轴方向，将在水平面内与X轴方向正交的方向设为Y轴方向，将垂直方向设为Z轴方向。顺便说一下，图1是指从X轴方向正侧观察切断机构I所得的侧视图。而且，在图2中，示出姿势变更机构4在3个部位和第I夹持体2与第2夹持体3连接的态样，但这终归是例示，利用姿势变更机构4的第I夹持体2与第2夹持体3的支持态样并不限定于此。
[0053]〈切断机构的详细情况及切断态样〉
[0054]接下来，对本实施方式的切断机构I的详细构成及利用切断机构I的基板W的切断态样进行说明。
[0055]图3是从Y轴方向正侧观察切断机构I所得的侧视图。图4是从Z轴方向负侧观察第I夹持体2所得的平面图。图5是从Y轴方向正侧观察夹持着基板W的状态的切断机构I所得的侧视图。图6是表示利用切断机构I的基板W的切断开始时的情况的透视平面图。图7是表不利用切断机构I的基板W的切断中途的情况的透视平面图。
[0056]首先，如图1及图6所示，关于基板W的作为去除对象的端缘部，在切断之前预先在距边缘规定距离的位置上形成着划线SL。所述划线SL的形成是通过金刚石刻刀(diamond point)或刀轮等众所周知的划线形成构件而实现。
[0057]已形成所述划线SL的基板W是在使形成着划线SL的一侧为上表面侧(Z轴方向正侧)的状态下，从与姿势变更机构4相反的一侧(从Y轴方向正侧)插入至第I夹持体2与第2夹持体3之间。当插入基板W时，姿势变更机构4的夹持部4a是使所述基板W的边缘与划线SL的形成位置之间的部分由第I夹持体2与第2夹持体3夹持。在所述夹持状态下，从第I夹持体2与第2夹持体3分别对基板W作用规定大小的力(按压力)。
[0058]另外，夹持部4a中的夹持动作即第I夹持体2与第2夹持体3的接近及相离既可以通过两者同时移位而实现，例如，也可以通过如下构成而实现:只有位于Z轴方向正侧的一个夹持体(若为图1的情况则为第I夹持体2)可以进行动作，而另一个夹持体(若为图1的情况则为第2夹持体3)相对于夹持部4a固定地设置。换句话说，夹持部4a也可以说是将第I夹持体2与第2夹持体3以能够开合两者的间隙部分的方式保持的部位。
[0059]其中，如图3及图4所示，或者，进而也如图1及图2中虚线所示，在第I夹持体2中，在与第2夹持体3的对向面而且X轴方向(长边方向)的中央部分且Y轴方向的正侧的端缘部设置着突起部5。突起部5例如由橡胶等弹性体所形成。而且，其厚度(Z轴方向的尺寸)只要一样即可，但其俯视形状(在水平姿势下俯视的情况下的形状)与其为矩形状，倒不如优选设置成朝向Y轴方向的正侧的前端部在与划线SL越近的位置前端越细的梯形状。
[0060]另一方面，在第2夹持体3中，如图1及图3所示，在与第I夹持体2的对向面的大致整面附设着树脂片6。
[0061]因此，严格来说，本实施方式的切断机构I中的基板W的夹持是如图5所示，在设置在第I夹持体2的突起部5与设置在第2夹持体3的树脂片6之间形成。
[0062]此时，从第2夹持体3的一侧作用于基板W的力，具体来说，从树脂片6作用于基板W的按压力因树脂片6在X轴方向上一样地设置而在X轴方向上均匀。与此相对，在第I夹持体2的一侧，与基板W接触的部位只是突起部5，因此，按压力只从突起部5作用于基板W。此时，从第I夹持体2的一侧作用于基板W的按压力集中在突起部5的部位，因此，成为如图6所示应力集中在基板W的与突起部5的前端侧接近的区域RE的状态。
[0063]在切断机构I中，在以所述态样施加了按压力的状态下将基板W切断。具体来说，在姿势变更机构4中，夹持部4a设置成可以绕转动轴4b转动，若为图1所示的情况，则通过使转动轴4b沿箭头ARl所示的方向移动而使夹持部4a绕转动轴4b转动，使第I夹持体2及第2夹持体3的姿势从水平姿势变化为夹持部4a所存在的Y轴方向负侧变低的姿势。由此，扭矩沿箭头ARl的方向作用于基板W的端缘部。如此一来，随着该转动动作开始，以存在于应力集中的区域RE的划线SL的长边方向中央部分为起点，龟裂开始沿着划线SL伸展。同时，从该起点部分起依次地，龟裂也在厚度方向上伸展。由此，如图7所示，朝向X轴正负两方向，沿着划线SL进行基板W的切断。
[0064]而且，如所述般突起部5的Y轴方向正侧的前端部分优选为梯形状是为了使作用于区域RE的应力更强，且使沿着划线SL的龟裂的延展更容易产生。
[0065]若厚度方向上的龟裂的延展在划线SL的长边方向中央部分至两端部分的整个范围内进行，则由第I夹持体2与第2夹持体3夹持的基板W的端缘部完全从基板W被切断。
[0066]在所述态样的切断的情况下，施加至基板W的端缘部的扭矩集中地作用于突起部5，由此，从划线SL起的龟裂伸展从该突起部的附近起依次产生。因此，如同在未设置突起部5而在第I夹持体2的一侧也与第2夹持体3同样地均匀地附设树脂片且从第I夹持体2的一侧也遍及端缘部整体均等地作用力的情况下无法实现切断一样，即使仅作用较小的扭矩，也能实现基板W不产生裂纹或毛边等的确实的切断。其原因在于:若夹持时赋予的力的大小相同，则设置突起部5的情况下力作用的部位处的压力会变大，因此，反过来说，若设有突起部5，即使赋予的力较小，也可以作用足以实现切断的压力。
[0067]而且，只要使龟裂从中央部分起依次伸展即可，因此，无需遍及基板W的端缘部整体一次作用较强的能量，所以，即使将使夹持部4a绕转动轴4b转动的速度设为慢于所述设置树脂片的情况，也实现基板W不产生裂纹或毛边等的确实的切断。
[0068]另外，到目前为止的说明的前提是以如下态样夹持基板W，S卩，将划线SL的形成面设为上表面侧，第I夹持体2从上方接近于基板W且第2夹持体3从下方接近于基板W，但这并非必需的态样。在本实施方式中，设有突起部5的第I夹持体2配置在划线SL的形成面的一侧即可。因此，也可以是如下态样:与图1等相反地将切断机构I构成为在下侧包含第I夹持体2且在上侧包含第2夹持体3，将基板W以使划线SL的形成面为下表面侧的状态插入至第I夹持体2与第2夹持体3之间，而进行切断。在所述情况下，使转动轴4b沿图1中箭头AR2所示的方向移动即可。
[0069]另外，在图1等中，在第I夹持体2的与第2夹持体3的对向面且突起部5以外的部分也附设着树脂片7。这是为了避免第I夹持体2的突起部5以外的部位与基板W接触等而使基板W受损等，对所述态样下的切断来说，并非必需的态样。其中，以所述态样设置树脂片7的情况下，使用较突起部5的构成材料软的材料，且以小于突起部5的厚度设置。其原因在于:即使突起部5的厚度因弹性而变小，结果树脂片7也成为会与基板W接触的状态，也可以使将基板W切断时针对基板W从第I夹持体2的一侧施加至基板W的力集中在突起部5。
[0070]<姿势变更机构>
[0071]负责所述第I夹持体2与第2夹持体3的姿势变更的姿势变更机构4的具体构成考虑有多种构成。图8及图9是用以对姿势变更机构4的一例示的态样与该态样下的夹持部4a的转动动作进行说明的概要图。另外，在图8及图9中，虽然将第I夹持体2与第2夹持体3、夹持部4a等的形状相对于图1等适当进行变更，但所述多个部位的功能全部与到目前为止所说明的部位相同。而且，关于突起部5或树脂片6、7，因与姿势变更机构4的动作本身没有关系，所以，省略了图示。
[0072]图8 (a)所示的姿势变更机构4除包含所述夹持部4a与转动轴4b以外,还包含动作转换部4c与升降部4d。升降部4d是例如气缸等在铅垂方向(Z轴方向)上自由升降的构成要素，动作转换部4c是将转动轴4b与升降部4d之间连结的构成要素，设置成可以相对于转动轴4b与设在升降部4d的未图示的转动轴的各者转动。
[0073]在具有所述构成的姿势变更机构4中，伴随升降部4d的铅垂方向上的移动，动作转换部4c的姿势发生变化，由此，转动轴4b在图8(b)所示的圆弧Al上移动。即，动作转换部4c发挥将升降部4d的升降动作转换为转动轴4b的圆弧上的移动动作的作用。如所述般，转动轴4b的移动直接导致夹持部4a与第I夹持体2及第2夹持体3的姿势变化。
[0074]而且，姿势变更机构4中的基板W的切断是通过使姿势变更机构4从图8 (a)及图8(b)中实线所示的状态变化为图8(b)中一点链线所示的状态而实现。即，若在由第I夹持体2与第2夹持体3夹持着基板W的状态下使升降部4d如箭头AR3所示般下降，则产生动作转换部4c的姿势变化与伴随该姿势变化的转动轴4b在圆弧Al上的移动，第I夹持体2与第2夹持体3从水平姿势变化为夹持部4a所存在的一侧变低的姿势。由此，将由第I夹持体2与第2夹持体3夹持的部分切断。
[0075]另外，姿势变更机构4的各部的配置关系并不限于图8所示的关系。例如，在图8(b)中，动作转换部4c成为水平姿势，但这并非必需的态样，只要是转动轴4b在规定的圆弧Al上移动的构成，则在第I夹持体2与第2夹持体3的姿势变化的范围内动作转换部4c也可以不采取水平姿势。
[0076]而且，图9示出第I夹持体2与第2夹持体3的配置位置与图8所示的情况颠倒的情况。在所述情况下，通过升降部4d进行升降，转动轴4b也能够在圆弧A2上移动，该方面相同。而且，姿势变更机构4中的基板W的切断是通过使姿势变更机构4从图9(a)及图9(b)中实线所示的状态变化为图9(b)中一点链线所示的状态而实现。即，若在由第I夹持体2与第2夹持体3夹持着基板W的状态下使升降部4d如箭头AR4所示般上升，则产生动作转换部4c的姿势变化与伴随该姿势变化的转动轴4b在圆弧A2上的移动，第I夹持体2与第2夹持体3从水平姿势变化为夹持部4a所存在的一侧变高的姿势。由此，将由第I夹持体2与第2夹持体3夹持的部分切断。
[0077]<切断处理装置的构成例>
[0078]图10及图11分别是表示具备以如所述般的原理进行基板W的端缘部的切断的切断机构I的切断处理装置100的主要部分的立体图与侧视图。在图10及图11中，例示出包含构成为在下侧设有第I夹持体2且在上侧设有第2夹持体3的切断机构I的切断处理装置100。尤其，图11例示出姿势变更机构4处于执行切断时的状态时的情况(其中，省略了基板W)。
[0079]切断处理装置100除包含切断机构I以外，而且包含保持基板W的基板保持部10、及用以将已被切断的基板W的端缘部排出的排出路径11。基板保持部10与排出路径11均沿着切断机构I的延伸方向设置。而且，排出路径11是切断后将仍然夹持在第I夹持体2与第2夹持体3之间的基板W的端缘部解除所述夹持状态而排出时所使用的路径。
[0080]而且，在图10中，为了便于图示，对切断机构I与作为其附随物的基板保持部10及排出路径11仅示出I组，但在实际的切断处理装置100中，2组(一对)切断机构I以规定的间隔对向配置。即，在切断处理装置100中，能够于在相互分开的2个基板保持部10中以2个部位支持着基板W的状态下，将基板W的对向的2个部位的端缘部同时并行地切断。或者，切断处理装置100也可以设为如下态样:包含使基板W在水平面内旋转90。的机构，对矩形状的基板W中存在2组的对向的端缘部的组依次切断。
[0081]在切断处理装置100，还在姿势变更机构4的长边方向的端部附近设置着用以在切断动作时导引姿势变更机构4的导板8(其中，在图11中省略图示)。更详细来说，在导板8设置着圆弧状的贯通孔，另一方面，在姿势变更机构4的长边方向端部，2个引导体9以从该贯通孔突出的态样设置。引导体9是在姿势变更机构4进行切断动作时，描绘图11中箭头AR5所示的圆弧状的轨迹而移动。导板8的贯通孔形成为与所述引导体9的轨迹一致。因此，切断时的姿势变更机构4的动作范围被限制为贯通孔中的引导体9能够移动的范围。由此，在切断处理装置100中，实现稳定且有再现性的切断动作。
[0082]如以上所说明般，根据本实施方式，在夹持着预先形成着划线的基板的较划线更靠边缘侧的端缘部的状态下通过对该端缘部作用扭矩而将该端缘部沿着划线从基板切断的机构中，在一对夹持体中的一个夹持体的与基板的接触部分设置俯视梯形状的突起部，使从该夹持体的一侧作用于基板的力集中在该突起部，由此，可以稳定且确实地实现不产生裂纹或毛边等的切断。