-
PNbZT铁电薄膜的制造方法和复合电子部件制作方法
专利
专利摘要: 本发明提供一种PNbZT铁电薄膜的制造方法和复合电子部件。该方法中,将用于形成不含Nb的PZT铁电薄膜的组合物涂布在形成于基板(10)的下部电极(11)上,预烧结后,进行烧成来使其结晶化,从而形成厚度45~90nm的结晶化促进层(12),在上述形成的结晶化促进层(12)上涂布用于形成PNbZT铁电薄膜的组合物来形成PNbZT的涂膜(13a),对该涂膜(13a)进行预烧结后,进行烧成来使其结晶化,从而在上述下部电极(11)上形成PNbZT铁电薄膜,其中,在所述PNbZT铁电薄膜中,与组合物中所含的钙钛矿B位原子即Zr及Ti的总计100原子%中含有4~10原子%的Nb。 -
低温晶化的bzt-bct压电薄膜的制备方法
专利
专利摘要: 低温晶化的BZT-BCT压电薄膜的制备方法,它涉及一种Ba系压电薄膜的制备方法。本发明的目的是为了解决现有Ba系压电薄膜材料晶化温度过高,不利于节能和与大面积Si集成使用的技术问题,本方法如下制备溶液F,溶胶E;制备溶胶D;制备钛酸铅镧钙溶胶;制备锆钛酸钡钙溶胶;在基底上制备种子层薄膜,在种子层薄膜上旋转涂覆锆钛酸钡钙溶胶,热分解,晶化处理,即得。本发明的BZT-BC压电薄膜在700℃晶化处理下生成钙钛矿结构,表现出较为优良压电性能。通过PLCT种子层的引入,在500℃的低温晶化下的BZT-BCT压电薄膜也生成了钙钛矿结构,表现出同样的优良的压电性能。本发明属于压电薄膜的制备领域。
胡娟
金牌知产顾问
215463210
全国服务热线:
400-850-8810
热门文章排行
网罗行业资讯,实时热点跟踪,专业顾问解析编辑精选
- 排行
- 最新
- 所有
-
融资慢,销量翻赶超和威马。机会在下沉市场吗?
威马,车企,融资,沈晖,新能源 -
万科物业CEO朱保全:物业过去15年没有赢过一场仗
物业,物业公司,锦旗,物业管理,万科 -
前线| 美团 电单车在单量破200万,自行车共享之战还没结束
电单车,共享,哈啰,美团,单车 -
中概一周精选股票:中概股票上涨汹涌,阿里和蔚来创历史新高
中概,蔚来,哔哩,账通 -
-
日产宣布在中国率先使用启用全新品牌LOGO和Ariya
日产,Ariya,东风,品牌,标识
-
8: 01 |网易丁磊将在快手 带货直播;滴滴入局货运市场;钟南山说新冠肺炎疫苗最早在秋天就可以买到
滴滴,网易,早鸽,CEO,扎克 -
以美国最具为代表的服装零售商Gap可能要倒闭了(下)
Gap,商场,品牌,零售商,科恩 -
别跟瑞幸学上市,要学学习如何开店和选择地点
瑞幸,星巴克,门店,选址,肯德基 -
iPhone 12系列从天现成的猫?
iPhone,苹果,降价,天猫 -
牙科市场已经激增到数万亿的规模,“人工智能”用大脑和机器人改善了数字产业链
微云,机器人,智能,牙科,人工智能 -
前RIO电商总监创业,MissBerry”想做一个专属的女性酒类饮品品牌
MissBerry,低度酒,品牌,果酒,女性