专利名称：石英玻璃的应力消除工艺的制作方法石英玻璃具有独特的光学性能，既是紫外线通透性优秀的材料，又能透过红外和 可见光谱，而且石英玻璃具有耐高温、热膨胀系数小、化学稳定性好等一般光学玻璃不具备 的优点，因而通过石英玻璃制作的石英圆片广泛用于各种光学仪器、高温视察窗等精密仪 器。石英玻璃内部由于加工成型不当或温度变化等原因存在残留内应力，存在着容易在切 割过程中开裂、以及在研磨、抛光、清洗和使用过程中碎裂的问题。
本发明所要解决的技术问题在于提供石英玻璃的应力消除工艺。本发明可以有效 地消除石英玻璃坯料内的内应力，极大地提高了产品的力学性能和机械性能。为解决上述技术问题，本发明的技术方案如下石英玻璃的应力消除工艺，该工艺 包括以下步骤；a、将石英玻璃坯料升温到750 850°C，保温10 20分钟；b、再升温到950 1030°C，保温5 15分钟；C、再升温到1050 1120°C，保温35 45分钟；d、再升温到1130 1170，保温80 100分钟；e、再以2. 2 2. 6°C /秒的速度降温到1030 1070°C ；f、再自然冷却到室温，得到成品。上述的石英玻璃的应力消除工艺中，该工艺包括以下步骤；a、将石英玻璃坯料升温到780 820°C，保温12 18分钟；b、再升温到980 1020°C，保温8 12分钟；C、再升温到1080 1120°C，保温38 42分钟；d、再升温到1140 1160，保温80 100分钟；e、再以2. 3 2. 5°C /秒的速度降温到1040 1060°C ；f、再自然冷却到室温，得到成品。前述的石英玻璃的应力消除工艺中，该工艺包括以下步骤；a、将石英玻璃坯料升温到800°C，保温15分钟；b、再升温到1000°C，保温10分钟； c、再升温到1100°C，保温40分钟；d、再升温到1150°C，保温90分钟；e、再以2. 40C /秒的速度降温到1050°C ；f、再自然冷却到室温，得到成品。本发明的有益效果与现有技术相比，本发明通过独特的热处理工艺，有效地消3除了石英玻璃坯料的内应力，极大地提高了产品的力学性能和机械性能；现有的石英玻璃 的应力消除工艺较不合理，在切割、加工过程中时常发生碎裂，以及在研磨、抛光、清洗过程 中发生开裂的情况，通过本发明在同样的加工水平下，可以有效地杜绝切割、加工时碎裂， 在研磨、抛光、清洗过程中开裂的问题，使用效果非常显著。本发明的升温步序、升温温度、 升温时间等参数组合是在申请人通过反复试验、比较、归纳和总结获得的结果，方法虽然简 单，但取得了意料不到的结果。下面结合对本发明作进一步的说明。

本发明公开了一种石英玻璃的应力消除工艺。该工艺包括以下步骤；a、将石英玻璃坯料升温到750～850℃，保温10～20分钟；b、再升温到950～1030℃，保温5～15分钟；c、再升温到1050～1120℃，保温35～45分钟；d、再升温到1130～1170，保温80～100分钟；e、再以2.2～2.6℃/秒的速度降温到1030～1070℃；f、再自然冷却到室温，得到成品。本发明可以有效地消除石英玻璃坯料内的内应力，极大地提高了产品的力学性能和机械性能。