专利名称：预湿改性无尘擦拭布及其制作方法随着半导体积体电路的制造日益进步，元件密度越来越高，相对的半导体制程的 线径亦趋于微小化，对于制程环境的要求也愈来愈严格。现有的微电子芯片的线宽已达到 0. 1微米，尘埃微粒和金属粉尘对微电子芯片的影响很大，一颗直径几微米的尘埃吸附在芯 片上，即可造成十几根芯线的绝缘强度降低，造成短路并使芯片损坏。除了尘埃微粒和金 属粉尘所导致的微污染外，有机物或无机物(例如有机分子、无机离子)的微污染对半导 体良率的影响也趋于显著。半导体制程具有多样性，因而所使用的有害挥发性化学物质繁 多，例如含硅化合物、氨基化合物等。由于洁净室内常有挥发性有机溶液洩漏或翻洒事件， 形成制程的污染源，容易使产品受污染而报废。例如在积体电路制造过程中，预期在进行 0. 25mm线宽制程或200mm以上晶圆制造时将会受到制程区中空气传播介质的微量有机物 或无机物的污染，容易吸附沉积到晶圆表面上造成危害。目前，无尘擦拭布多采用高韧的化 纤长丝制造，不易断裂，纤维不易从布上脱落，污染清洁面，并具备质料柔软，对被擦拭物表 面无伤害等特点。因此，在半导体制程中，常使用无尘擦拭布，对洒漏的有机物及时进行清 除，防止其挥发污染；并对晶圆表面进行擦拭清洁，以除去有机或无机污物。 然而，目前用于洁净室的无尘擦拭布，常用化纤长丝制造，包括全涤纶针织布、不 同涤纶和锦纶比例的超细纤维针织布和不同化纤成分的非织造布。这种无尘擦拭布在经过 超净清洗、真空封装后，能够达到洁净室的清洁度要求。但是，由于化纤长丝结晶度较高，表 面缺乏活性化学基团，导致这种无尘擦拭布表面能低、颗粒吸附性和吸液效果差，不能有效 地获取并保留各种污物。
本发明要解决的一技术问题在于，针对上述现有的无尘擦拭布的缺点，提供一种 预湿改性无尘擦拭布，其纱线纤维表面能高、颗粒吸附性和吸液效果好，能够有效地获取并 保留各种污物。 本发明要解决的另一技术问题在于，提供上述预湿改性无尘擦拭布的制作方法， 制作工艺简单，能够制备出符合需要的预湿改性无尘擦拭布。 本发明解决其技术问题所采用的一技术方案是提供一种预湿改性无尘擦拭布的 制作方法，包括下述步骤改性采用有机化合物改性剂的水溶液对无尘擦拭布进行后整理，水浴比为i : 5 i : 50，有机化合物改性剂的浓度为o. 1% 10%，带有羟基和活性基团，所带的活性基团为羟基、胺基或磺酸基，反应温度为9(TC 17(TC，反应时间为l 30min ; 预湿采用预湿溶剂对改性后的无尘擦拭布进行预湿。 在本发明所述的预湿改性无尘擦拭布的制作方法中，所述有机化合物改性剂是以下四种有机化合物中的一种 A、烷基二醇，化学式为HO-(CH2)n_OH ; B、聚乙二醇，化学式为H-(OCH2CH20)n_H ; C、醇胺采用乙醇胺，化学式为R^NCH^H20H或者采用异丙醇胺，化学式为 R3R4NCH2CHCH3OH ; D、羟基苯磺酸钠，化学式为HO-Ph-S03—M+ ; 在上述化学式中，烷基二醇化学式中的n是2 IO，聚乙二醇化学式中的n是1 8 ;乙醇胺化学式中的&和R2是甲基(_CH3)、乙基(_CH2CH3)、乙醇基(_CH2CH2OH)或氢(_H) 中的一种，异丙醇胺化学式中的1 3和1 4是异丙醇基(_CH2CHCH30H)或氢中的一种，羟基苯磺 酸钠化学式中的Ph是苯基，M+是反离子。 在本发明所述的预湿改性无尘擦拭布的制作方法中，所述有机化合物改性剂选用 乙二醇、丙二醇、二乙二醇、N-甲基二乙醇胺CH3N (CH2CH20H) 2、三异丙醇胺N (CH2CHCH30H) 3和 4-H0-Ph-S03—M+中的一种。 在本发明所述的预湿改性无尘擦拭布的制作方法中，所述1+为Na+、K+。 在本发明所述的预湿改性无尘擦拭布的制作方法中，所述含有有机化合物改性 剂的水溶液内还溶解有催化剂，所述催化剂为碱或碱土金属的醋酸盐，浓度为O. 05% 1. 0%。 在本发明所述的预湿改性无尘擦拭布的制作方法中，在所述改性步骤和预湿步骤 之间还包括下述步骤 清洗将改性后的无尘擦拭布用普通水一次清洗，洗涤温度为25°C 5(TC，洗涤 时间为5min 30min，再用超纯水二次超净清洗； 干燥将清洗后的无尘擦拭布进行烘干。 在本发明所述的预湿改性无尘擦拭布的制作方法中，在所述预湿步骤之后还包括 封装步骤将预湿后的无尘擦拭布折叠包装于可重复密封的包装袋中。 在本发明所述的预湿改性无尘擦拭布的制作方法中，所述后整理方法为浸渍；所 述预湿方法为浸湿或喷湿，预湿溶剂为去离子水、异丙醇、乙醇、丙酮、甲苯、正己烷、或者它 们的混合溶液。 本发明解决其技术问题所采用的另一技术方案是提供一种预湿改性无尘擦拭 布，采用如上所述的制作方法制作而成，包括通过所述改性步骤处理后的改性无尘擦拭布 和通过所述预湿步骤均匀浸润于所述改性无尘擦拭布内的预湿溶剂。 在本发明所述的预湿改性无尘擦拭布中，所述无尘擦拭布由一种化纤长丝单纺、 或者两种化纤长丝混纺而成；所述化纤为涤纶和氨纶。 实施本发明能够带来下述有益效果本发明的预湿改性无尘擦拭布的制作方法利 用带有活性基团的有机化合物改性剂对无尘擦拭布预先进行后整理改性，通过有机化合物 改性剂与化纤长丝表面的化学反应，将有机分子连接在化纤长丝表面，可以明显改善无尘擦拭布的表面能，提高无尘擦拭布对颗粒的吸附性和吸液效果。然后使用不同极性的预湿溶剂将无尘擦拭布均匀预湿后，折叠包装于可重复密封的包装袋里，防止预湿溶剂挥发，在预湿溶剂的作用下，无尘擦拭布上具有带电性，能够吸引擦拭面的尘埃微粒和金属粉尘，捕捉尘埃微粒和金属粉尘后并保留，不会对干净的擦拭面再次污染或者交叉污染。其次，可根据需要选择不同极性的预湿溶剂，针对不同的有机或无机污物进行擦拭清除，在对擦拭面实现捕获尘埃微粒和金属粉尘的同时，也可实现去除有机或无机污物的功能。另外，通过将预湿改性无尘擦拭布折叠包装于可重复密封的袋子，这种特殊的包装方法能够保证擦拭布的清洁度和湿度，还可以提高溶剂的可控制性和可靠性，提高生产效率，减低V0C气体释放，简化溶剂的保藏问题，更方便使用和节省成本。


下面将结合附图及实施例对本发明作进一步说明，附图中
图1是本发明的预湿改性无尘擦拭布的制作方法的流程图。

图1所示是本发明的预湿改性无尘擦拭布的制作方法的流程图，本发明的预湿改性无尘擦拭布的制作方法，包括下述步骤 步骤1、改性将无尘擦拭布浸渍在溶解有催化剂和有机化合物改性剂的水溶
液中，水浴比为i : 5 i : 50，有机化合物改性剂浓度为o. i% 10%，催化剂浓度为
0.05% 1.0%，反应温度为90" 17(TC，反应时间为1 30min。其中，所述无尘擦拭布由一种化纤长丝单纺、或两种化纤长丝混纺而成，并通过激光裁切成一定规格，化纤长丝为涤纶和氨纶；所述催化剂为碱或碱土金属的醋酸盐；所述有机化合物改性剂带有羟基和亲水性活性基团，所述亲水性活性基团为羟基、胺基或者磺酸基，可以采用以下四种有机化合物中的一种 A、烷基二醇，化学式为HO-(CH》n-OH，优选乙二醇和丙二醇； B、聚乙二醇，化学式为H-(0CH2CH20)n-H，优选乙二醇和二乙二醇； C、醇胺采用乙醇胺，化学式为R^NCH^H^H,优选N_甲基二乙醇胺
CH3N (CH2CH2OH) 2;或者采用异丙醇胺，化学式为R3R4NCH2CHCH3OH，优选三异丙醇胺
N(CH2CHCH3OH)3 ; D、羟基苯磺酸钠，化学式为HO-Ph-S03—M+，优选4-H0-Ph_S03—M+ ;
在上述化学式中，烷基二醇化学式中的n是2 IO，聚乙二醇化学式中的n是1 8 ;乙醇胺化学式中的&和R2是甲基(_CH3)、乙基(_CH2CH3)、乙醇基(_CH2CH2OH)或氢(_H)中的一种，异丙醇胺化学式中的1 3和1 4是异丙醇基(_CH2CHCH30H)或氢中的一种，羟基苯磺酸钠化学式中的Ph是苯基，M+是反离子，例如如Na+、K+等。 上述改性步骤的基本原理是利用带羟基和活性基团(羟基、胺基或者磺酸基)的有机化合物为改性剂，在9(TC 17(TC温度范围内，使涤纶中的羟基苯甲酸酯基或氨纶中的氨基甲酸酯基断裂，即酯基与改性剂的羟基进行酯交换反应，酯基被有机化合物改性剂的分子取代，带有活性基团的有机物短链连接在化纤表面，有机化合物的活性基团显示出改性后擦拭布的各种功能，例如采用A和B种类的有机化合物改性剂，可提高擦拭布的表面能，从而提高吸水性能和颗粒吸附作用；采用C种类的有机化合物改性剂，能够吸附带负电荷的有机分子或无机离子；采用D种类的有机化合物改性剂，能够吸附带正电荷的有机分子或无机金属离子。并且，由于有机化合物通过化学键连接在涤纶长丝上，具有耐溶剂性和永久性，有机化合物上的活性基团在无尘擦拭布表面均匀分布，可以明显改善无尘擦拭布的表面能，提高无尘擦拭布对颗粒(例如尘埃微粒、金属粉尘)的吸附性和吸液效果，及对有机污物、无机污物和尘埃微粒具有较强的吸附力，这种吸附力包括毛细作用、静电力和范德华力。 步骤2、清洗将改性后的无尘擦拭布用普通水一次清洗，洗涤温度为25°C 5(TC，洗涤时间5min 30min，再用超纯水二次超净清洗。 步骤3、干燥将清洗后的无尘擦拭布进行烘干，得到符合规格和洁净度要求的改性无尘擦拭布。 步骤4、预湿在洁净室内采用不同极性的预湿溶剂对无尘擦拭布进行均匀预湿，得到预湿改性无尘擦拭布；所述预湿方法为浸湿或喷湿；所采用的预湿溶剂为去离子水、异丙醇、乙醇、丙酮、甲苯、正己烷以及它们两者(或两者以上)不同配比的混合溶液。所制得的预湿改性无尘擦拭布，包括通过所述改性步骤处理后的改性无尘擦拭布和通过所述预湿步骤均匀浸润于所述改性无尘擦拭布内的预湿溶剂。普通无尘擦拭布在与预湿溶剂配合使用时，只存在普通的溶解污物和液体粘附的作用，改性无尘擦拭布在预湿溶剂的作用下，擦拭布化纤长丝表面的活性高分子链具有电负性，能够吸附擦拭面上的尘埃微粒和金属粉尘，捕捉尘埃微粒和金属粉尘后可以保留，不会对干净的擦拭面再次污染或者交叉污染；值得一提的是，可选择不同极性的预湿溶剂对无尘擦拭布进行预湿，针对不同的有机或无机污物进行擦拭清除，在对擦拭面实现捕获尘埃微粒和金属粉尘的同时，也可实现去除有机或无机污物的功能。
步骤5、封装将预湿后的无尘擦拭布折叠包装于可重复密封的包装袋中，防止预
湿溶剂挥发，得到预湿改性无尘擦拭布产品，该预湿改性无尘擦拭布产品能够有效的实现
清除有机污物、无机污物、尘埃微粒和金属粉尘等多种功能，主要用于半导体生产线晶片、
微电子芯片以及半导体装配生产线的清洁，另外，还能够应用于碟盘驱动器、液晶显示面
板、印刷电路板、精密仪器、光学产品、医疗设备、实验室、无尘车间和生产线等领域。
下面通过实施例1 9为例进行具体说明 实施例1 将全涤针织布激光裁切成7英寸见方的擦拭布，放入含有10%改性剂乙二醇和0. 5%催化剂醋酸锌的水溶液中，水浴比1 : 20 ;在9(TC下浸渍15min后，用普通水进行一次清洗，洗涤温度为5(TC，洗涤时间为5min，再用超纯水二次超净清洗，烘干，得到符合规格和洁净度要求的无尘擦拭布。 在10级洁净室用30%去离子水和70%异丙醇的混合溶液对改性处理后的无尘擦
拭布进行浸湿，折叠包装于可重复密封的包装袋，得到预湿改性无尘擦拭布。 本实施例制作的预湿无尘擦拭布具有良好的颗粒吸附性能，可清除擦拭面上的尘
埃微粒和金属粉尘，以及极性的有机小分子和高分子污物。 实施例2 将15%氨纶和85%涤纶混纺针织布激光裁切成8英寸见方的擦拭布，放入含有
61%改性剂丙二醇和1%催化剂醋酸锌的水溶液中，水浴比1 : 5 ;在120°C (高压热水)下浸渍10min后，用普通水进行一次清洗，洗涤温度为25°C ，洗涤时间为30min，再用超纯水二次超净清洗，烘干，得到符合规格和洁净度要求的无尘擦拭布。 在10级洁净室用91 %去离子水和9%异丙醇的混合溶液对改性处理后的无尘擦
拭布进行喷湿，折叠包装于可重复密封的包装袋，得到预湿改性无尘擦拭布。 本实施例制作的预湿无尘擦拭布具有良好的颗粒吸附性能，可清除擦拭面上的尘
埃微粒和金属粉尘，以及极性的有机小分子和高分子污物。 实施例3 将20%氨纶和80%涤纶混纺针织布激光裁切成9英寸见方的擦拭布，放入含有
0. 1%改性剂二乙二醇和0. 05%催化剂醋酸锌的水溶液中，水浴比1 : 50 ;在170°C (高压
热水)下浸渍lmin后，用普通水进行一次清洗，洗涤温度为4(TC，洗涤时间为15min，再用
超纯水二次超净清洗，烘干，得到符合规格和洁净度要求的无尘擦拭布。 在10级洁净室用正己烷对改性处理后的无尘擦拭布进行喷湿，折叠包装于可重
复密封的包装袋，得到预湿改性无尘擦拭布。 本实施例制作的预湿无尘擦拭布具有良好的颗粒吸附性能，可清除擦拭面上的尘埃微粒和金属粉尘，以及非极性的有机小分子和高分子污物。
实施例4 将全涤针织布激光裁切成7英寸见方的擦拭布，放入含有0. 5%改性剂N-甲基二乙醇胺和O. 1%催化剂醋酸锌的水溶液中，水浴比1 : 30 ;在130°C (高压热水)下浸渍8min后，用普通水进行一次清洗，洗涤温度为35t:，洗涤时间为20min，再用超纯水二次超净清洗，烘干，得到符合规格和洁净度要求的无尘擦拭布。 在10级洁净室用乙醇对改性处理后的无尘擦拭布进行喷湿，折叠包装于可重复密封的包装袋，得到预湿改性无尘擦拭布。 本实施例制作的预湿无尘擦拭布具有较好的颗粒吸附性能，可清除擦拭面上的尘埃微粒和金属粉尘，以及带负电荷的有机分子或无机离子污物。
实施例5 将15%氨纶和85%涤纶混纺针织布激光裁切成8英寸见方的擦拭布，放入含有1.5%改性剂^甲基二乙醇胺和O. 5%催化剂醋酸锌的水溶液中，水浴比1 : 10 ;在140°C (高压热水)下浸渍5min后，用普通水进行一次清洗，洗涤温度为4(TC，洗涤时间为15min，再用超纯水二次超净清洗，烘干，得到符合规格和洁净度要求的无尘擦拭布。
在10级洁净室用丙酮对改性处理后的无尘擦拭布进行浸湿，折叠包装于可重复密封的包装袋，得到预湿改性无尘擦拭布。 本实施例制作的预湿无尘擦拭布具有较好的颗粒吸附性能，可清除擦拭面上的尘埃微粒和金属粉尘，以及带负电荷的有机分子或无机离子污物。
实施例6 将20%氨纶和80%涤纶混纺针织布激光裁切成9英寸见方的擦拭布，放入含有5%改性剂三异丙醇胺和0. 6%催化剂醋酸锌的水溶液中，水浴比1 : 30 ;在IO(TC (高压热水)下浸渍12min后，用普通水进行一次清洗，洗涤温度为5(TC，洗涤时间为10min，再用超纯水二次超净清洗，烘干，得到符合规格和洁净度要求的无尘擦拭布。
7
在IO级洁净室用甲苯对改性处理后的无尘擦拭布进行喷湿，折叠包装于可重复密封的包装袋，得到预湿改性无尘擦拭布。 本实施例制作的预湿无尘擦拭布具有较好的颗粒吸附性能，可清除擦拭面上的尘埃微粒和金属粉尘，以及带负电荷的有机分子或无机离子污物。
实施例7 将全涤针织布激光裁切成6英寸见方的擦拭布，放入含有0. 8%改性剂三异丙醇胺和0. 06%催化剂醋酸锌的水溶液中，水浴比1 : 40 ;在ll(TC (高压热水)下浸渍10min后，用普通水进行一次清洗，洗涤温度为4(TC，洗涤时间为15min，再用超纯水二次超净清洗，烘干，得到符合规格和洁净度要求的无尘擦拭布。 在10级洁净室用异丙醇对改性处理后的无尘擦拭布进行喷湿，折叠包装于可重复密封的包装袋，得到预湿改性无尘擦拭布。 本实施例制作的无尘擦拭布具有较好的颗粒吸附性能，可清除擦拭面上的尘埃微粒和金属粉尘，以及带负电荷的有机分子或无机离子污物。
实施例8 将15%氨纶和85%涤纶混纺针织布激光裁切成10英寸见方的擦拭布，放入含有
6%改性剂4-H0-Ph-S03Na和1. 5%催化剂醋酸锌的水溶液中，水浴比1 : 30 ;在150°C (高
压热水)下浸渍3min后，用普通水进行一次清洗，洗涤温度为4(TC，洗涤时间为15min，再
用超纯水二次超净清洗，烘干，得到符合规格和洁净度要求的无尘擦拭布。 在10级洁净室用去离子水对改性处理后的无尘擦拭布进行喷湿，折叠包装于可
重复密封的包装袋，得到预湿改性无尘擦拭布。 本实施例制作的无尘擦拭布具有良好的颗粒吸附性能，可清除擦拭面上的尘埃微
粒和金属粉尘，以及带正电荷的有机分子或无机离子污物。。
实施例9 将全涤针织布激光裁切成9英寸见方的擦拭布，放入含有0.5%改性剂4-H0-Ph-S03Na和0. 05%催化剂醋酸锌的水溶液中，水浴比1 : 5 ;在150°C (高压热水)下浸渍5min后，用普通水进行一次清洗，洗涤温度为25°C ，洗涤时间为30min，再用超纯水二次超净清洗，烘干，得到符合规格和洁净度要求的无尘擦拭布。 在10级洁净室用91 %去离子水和9%异丙醇的混合溶液对改性处理后的无尘擦拭布进行浸湿，折叠包装于可重复密封的包装袋，得到预湿改性无尘擦拭布。
本实施例制作的无尘擦拭布具有良好的颗粒吸附性能，可清除擦拭面上的尘埃微粒和金属粉尘，以及带正电荷的有机分子或无机离子污物。 本发明的预湿改性无尘擦拭布的制作方法利用带有活性基团的有机化合物改性剂对无尘擦拭布预先进行后整理改性，通过有机化合物改性剂与化纤长丝表面的化学反应，将有机分子连接在化纤长丝表面，可以明显改善无尘擦拭布的表面能，提高无尘擦拭布对颗粒的吸附性和吸液效果。然后使用不同极性的预湿溶剂将无尘擦拭布均匀预湿后，折叠包装于可重复密封的包装袋里，防止预湿溶剂挥发，在预湿溶剂的作用下，无尘擦拭布上具有带电性，能够吸引擦拭面的尘埃微粒和金属粉尘，捕捉尘埃微粒和金属粉尘后并保留，不会对干净的擦拭面再次污染或者交叉污染。其次，可根据需要选择不同极性的预湿溶剂，针对不同的有机或无机污物进行擦拭清除，在对擦拭面实现捕获尘埃微粒和金属粉尘的同
8时，也可实现去除有机或无机污物的功能。另外，通过将预湿改性无尘擦拭布折叠包装于可重复密封的袋子，这种特殊的包装方法能够保证擦拭布的清洁度和湿度，还可以提高溶剂
的可控制性和可靠性，提高生产效率，减低voc气体释放，简化溶剂的保藏问题，更方便使
用和节省成本。 以上所述，仅为本发明较佳的
，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应该以权利要求的保护范围为准。


本发明涉及一种预湿改性无尘擦拭布及其制作方法，所述预湿改性无尘擦拭布的制作方法，包括下述步骤改性采用有机化合物改性剂的水溶液对无尘擦拭布进行后整理，水浴比为1∶5～1∶50，有机化合物改性剂的浓度为0.1％～10％，带有羟基和活性基团，所带的活性基团为羟基、胺基或磺酸基，反应温度为90℃～170℃，反应时间为1～30min；预湿采用预湿溶剂对改性后的无尘擦拭布进行预湿。本发明利用带有活性基团的有机化合物改性剂对无尘擦拭布预先进行改性，可以明显改善无尘擦拭布的表面能，提高其对颗粒的吸附性和吸液效果，在对擦拭面实现捕获尘埃微粒和金属粉尘的同时，可实现去除有机分子或无机离子污物的功能。