一种基于高速钢刀的多线切割导轮开槽工艺的制作方法【技术领域】，具体涉及一种基于高速钢刀的多线切割导轮开槽工艺。[0002]众所周知，现代信息技术和现代电子技术的基础是半导体技术，而半导体硅材料是最重要的半导体材料。多线切割机以极高的生产效率和出片率，广泛应用于大直径超薄硅片的切割领域。多线切割中需要用到导轮开槽在一定程度上影响硅棒单位出片数，硅棒切割质量。[0003]钢线在导轮槽中，按照已有的槽进行运动，槽距决定硅片厚度，槽深可以防止它跳线造成的不良影响，槽型是开槽的形状，代表开槽的质量。现有开槽使用金刚石刀开槽，效率慢。
[0004]本发明的目的在于提供一种基于高速钢刀的多线切割导轮开槽工艺，该工艺能提高多线切割导轮开槽的开槽速度，提高导轮质量，降低切割成本。[0005]本发明的上述目的是通过以下技术方案来实现的:一种基于高速钢刀的多线切割导轮开槽工艺，含以下步骤: (1)根据目标硅片的厚度设定导轮开槽的导轮槽距，根据多线切割时使用的钢线直径设定槽深，并设定开槽为V型槽，开槽角度为55°、0° ；
(2)将导轮吊装到开槽机上，调整导轮同心度；
(3)对导轮表面进行粗加工,设定开槽机转速为300rpm~800rpm,每转进给0.5 mm~2_，以去除导轮表面已经使用不良的涂层；
(4)在导轮表面提供开槽的基础面,设定开槽机转速为300rpm~1000 rpm,每转进给
0.05 mm~0.5mm,并用切削液冷却；
(5)开槽加工:根据步骤(1)中设定的导轮槽距、槽深以及开槽角度，用高速钢开槽机进行开槽，开槽过程中采取高冷却时间，低进给速度进行，设定开槽机转速为200 rpm ^500rpm,每转进给0.05 mm~0.5mm,并用切削液冷却,在导轮的表面上获得V型开槽。
[0006]本发明步骤(1)中导轮开槽前先经清洁处理，以去除导轮表面由于多线切割沾染的砂浆，并去除导轮表面的锈迹。
[0007]本发明步骤(2)中调整导轮同心度为零，以使导轮以及导轮中转轴的中心线在同
一直线上。
[0008]本发明步骤(4)和步骤(5)中所述的切削液优选为洛斯切削液，较佳为洛斯聚氨酯切削液。
[0009]本发明所述开槽 工艺基于高速钢刀进行开槽，使用聚氨酯切削液作为冷却液和润滑液，使用高冷却，低进给作为开槽加工操作，在整体操作中不断调整导轮的同心度，并且根据目标硅片的厚度设定槽距，把开槽补给槽距作为等差数列，决定每个开槽的距离，使用开槽机自带程序，做一个等差数列，然后用等差数列数据控制槽距的变化，根据多线切割时钢线的直径设定槽深，为防止钢线跳线等，可设定开槽角度为55°、0°。
[0010]本发明具有如下优点:
(1)本发明通过采用适当的高速钢开槽刀速度进给以及适当的冷却时间，同时与切削液配合能获得更好的切割能力，使得开槽槽型更加规范工整，有更好的质量；
(2)本发明基于高速钢开槽刀进行的导轮开槽工艺，具有加工速度快，加工质量高等特征。



[0011]图1是本发明实施例1-4中的导轮；
图2是本发明实施例1-4中在导轮表面开槽示意图，其中I是高速钢刀，2是导轮表面，3是高速钢刀开设的V型槽。

[0012]下面结合附图对本装置做进一步说明。
[0013]实施例1
本实施例提供的基于高速钢刀的多线切割导轮开槽工艺，含以下步骤:
Cl)清洁导轮，导轮为MWM442DM导轮，导轮的大概结构如图1中所示，去除导轮表面由于多线切割沾染的砂浆，去除导轮表面的锈迹；
(2)测量导轮直径在19(T205mm之间时，在导轮表面进行标记(便于开槽，也可以不进行标记，不是必须的步骤)，在使用标准范围内后进行下一步流程；
(3)刀具更换(由于开槽机上的刀具具有使用寿命，为了不影响开槽，经检查，不合适的刀具需要进行更换，合适的刀具则可以不用更换，这一步骤不是必须得步骤，刀具包括后面使用的粗刀，半圆车刀以及高速钢刀等)，更换刀具并且用对刀仪校准刀具位置；
(4)吊装导轮，用机械臂吊装导轮到开槽机上，开槽机可以使用小巨人qsm350开槽机，然后调整导轮同心度(最好是使同心度为零，使导轮和轴的中心线在同一直线上)，并且用千分表进行测量；
(5)粗加工，可以用粗刀进行粗加工，开槽机转速800rpm，每转进给2mm，以去除导轮表面已经使用不良的涂层；
(6)精加工:可以用半圆车刀进一步进行精加工，可以提供导轮开槽的基础面，可以使得表面平整，光滑，开槽机转速700转/分钟，每转进给0.3mm,采用洛斯切削液冷却；
(7)开槽加工:根据目标硅片的厚度设定导轮开槽的导轮槽距，根据钢线直径设定槽深，并设定开槽角度为55°，其中槽为V型槽(这里槽距主要是根据客户要求硅片厚度指定，槽深主要根据钢线直径指定，开槽角度可以从55°到90°。)，用高速钢开槽机进行开槽，利用开槽机设定中的数据设定把所要开槽的导轮槽距作为一个等差数列，按照开槽机计算出的每步开槽距离进行开槽，采取高冷却时间，低进给速度进行，采用高速钢刀I在导轮表面2开设V型槽3，转速500转/分钟，每转进给0.2mm,洛斯切削液冷却，在导轮的表面上获得V型开槽，具体如图2中所示，该具有V型开槽的导轮可用于多线切割机切割硅棒。[0014]实施例2
本实施例提供的基于高速钢刀的多线切割导轮开槽工艺，含以下步骤:
(1)清洁导轮，导轮采用PV600导轮，导轮的大概结构如图1中所示，去除导轮表面由于多线切割沾染的砂浆，去除导轮表面的锈迹；
(2)测量导轮直径在262?265mm之间时，在导轮表面进行标记(便于开槽，也可以不进行标记，不是必须的步骤)，在使用标准范围内后进行下一步流程；
(3)刀具更换(由于开槽机上的刀具具有使用寿命，为了不影响开槽，经检查，不合适的刀具需要进行更换，合适的刀具则可以不用更换，这一步骤不是必须得步骤，刀具包括后面使用的粗刀，半圆车刀以及高速钢刀等)，更换刀具并且用对刀仪校准刀具位置；
(4)吊装导轮，用机械臂吊装导轮到开槽机上，开槽机可以使用小巨人qsm350开槽机，然后调整导轮同心度(最好是使同心度为零，使导轮和轴的中心线在同一直线上)，并且用千分表进行测量；
(5)粗加工；用粗刀进行粗加工，开槽机转速700rpm,每转进给2mm；
(6)精加工:用半圆精车刀进行精加工，开槽机转速500转/分钟,每转进给0.3mm,采用洛斯切削液冷却；
(7)开槽加工:根据目标硅片的厚度设定导轮开槽的导轮槽距，根据钢线直径设定槽深，并设定开槽角度为70°，其中槽为V型槽(这里槽距主要是根据客户要求硅片厚度指定，槽深主要根据钢线直径指定，开槽角度可以从55°到90°。)，用高速钢开槽机进行开槽，利用开槽机设定中的数据设定把所要开槽的导轮槽距作为一个等差数列，按照开槽机计算出的每步开槽距离进行开槽，采取高冷却时间，低进给速度进行，转速400转/分钟，每转进给0.2mm，洛斯切削液冷却，在导轮的表面上获得V型开槽，具体如图2中所示，该具有V型开槽的导轮可用于多线切割机切割硅棒。
[0015]实施例3
本实施例提供的基于高速钢刀的多线切割导轮开槽工艺，含以下步骤:
(O清洁导轮，导轮采用PV800，导轮的大概结构如图1中所示，去除导轮表面由于多线切割沾染的砂浆，去除导轮表面的锈迹；
(2)测量导轮直径在342?352mm之间时，在导轮表面进行标记(便于开槽，也可以不进行标记，不是必须的步骤)，在使用标准范围内后进行下一步流程；
(3)刀具更换(由于开槽机上的刀具具有使用寿命，为了不影响开槽，经检查，不合适的刀具需要进行更换，合适的刀具则可以不用更换，这一步骤不是必须得步骤，刀具包括后面使用的粗刀，半圆车刀以及高速钢刀等)，更换刀具并且用对刀仪校准刀具位置；
(4)吊装导轮，用机械臂吊装导轮到开槽机上，开槽机可以使用小巨人qsm350开槽机，然后调整导轮同心度(最好是使同心度为零，使导轮和轴的中心线在同一直线上)，并且用千分表进行测量；
(5)粗加工；用粗刀进行粗加工，开槽机转速600/分钟，每转进给2mm;
(6)精加工:用半圆精车刀进行精加工,开槽机转速450转/分钟,每转进给0.3mm,洛斯切削液冷却；
(7)开槽加工:根据目标硅片的厚度设定导轮开槽的导轮槽距，根据钢线直径设定槽深，并设定开槽角度为80°，其中槽为V型槽(这里槽距主要是根据客户要求硅片厚度指定，槽深主要根据钢线直径指定，开槽角度可以从55°到90°。)，用高速钢开槽机进行开槽，利用开槽机设定中的数据设定把所要开槽的导轮槽距作为一个等差数列，按照开槽机计算出的每步开槽距离进行开槽，采取高冷却时间，低进给速度进行，转速350转/分钟，每转进给0.2mm,洛斯切削液冷却，在导轮的表面上获得V型开槽，具体如图2中所示，该具有V型开槽的导轮可用于多线切割机切割硅棒。
[0016]实施例4
本实施例提供的基于高速钢刀的多线切割导轮开槽工艺，含以下步骤:
(1)根据目标硅片的厚度设定导轮开槽的导轮槽距，根据钢线直径设定槽深，并设定开槽角度为90°，其中槽为V型槽(这里槽距主要是根据客户要求硅片厚度指定，槽深主要根据钢线直径指定，开槽角度可以从55°到90°。)，其中导轮采用PV800，导轮的大概结构如图1中所示；
(2)吊装导轮，用机械臂吊装导轮到开槽机上，开槽机可以使用小巨人qsm350开槽机，然后调整导轮同心度(最好是使同心度为零，使导轮和轴的中心线在同一直线上)，并且用千分表进行测量；
(3)粗加工；用粗刀进行粗加工，开槽机转速300/分钟，每转进给0.5mm ；
(4)精加工:用半圆精车刀进行精加工，开槽机转速300转/分钟，每转进给0.05mm,洛斯切削液冷却；
(5)开槽加工:用小巨人qsm350高速钢开槽机进行开槽，根据步骤(I)设定的参数，对开槽机进行参数设定，把所要开槽的导轮槽距作为一个等差数列，按照开槽机计算出的每步开槽距离进行开槽，采取高冷却时间，低进给速度进行，转速200转/分钟，每转进给
0.05mm,洛斯切削液冷却，在导轮的表面上获得V型开槽，具体如图2中所示，该具有V型开槽的导轮可用于多线切割机切割硅棒。
[0017]需要指出的是，以上实施例只用于对本发明作进一步说明，不代表本发明的保护范围，其他人根据本发明的提示做出的非本质的修改和调整，仍属于本发明的保护范围。