专利名称:硅锭线切割废料陶瓷导液管的制备方法硅锭线切割废料陶瓷导液管目前采用钛酸铝注浆、等静压成型技术生产,其缺 点是使用寿命短、生产效率低,人工操作,产品性能不稳定。
本发明的目的在于提供一种能克服上述缺陷、性能优良的硅锭线切割废料陶瓷 导液管的制备方法。其技术方案为包括陶瓷粉料制备、成型、烧成,将硅锭线切割废料、粒度为0.01-3 μ m的氮 化铝粉体、粒度为0.01-3 μ m的氮化硅粉体、粒度为0.01-3 μ m 二氧化硅粉体、锂玻璃粉 按重量比为40 70 8 15 8 15 8 15 6 15均勻混合,经等静压成型, 然后在1600 1800°C X 1 2小时氮气气氛烧制成硅锭线切割废料陶瓷导液管。所述的硅锭线切割废料陶瓷导液管的制备方法,硅锭线切割废料粒度小于 5 μ m。所述的硅锭线切割废料陶瓷导液管的制备方法,锂玻璃粉粒度小于3 μ m。本发明与现有技术相比,其优点为1、本发明生产的硅锭线切割废料陶瓷导液管是采用氮化硅、氮化铝和二氧化硅 粉体,在烧结过程中形成了塞隆陶瓷结合硅锭线切割废料,由于添加了锂玻璃粉进一步 降低烧成温度并扩大烧成范围、使得硅锭线切割废料陶瓷导液管的显微结构均勻,热膨 胀系数低,强度高,气密性好,整体可靠性高,使用寿命长。2、本发明中主要由于使用了硅锭线切割废料和锂玻璃粉,使生产成本大幅度降 低。本发明提供一种硅锭线切割废料陶瓷导液管的制备方法,包括陶瓷粉料制备、成型、烧成,其特征在于将硅锭线切割废料、粒度为0.01-3μm的氮化铝粉体、粒度为0.01-3μm的氮化硅粉体、粒度为0.01-3μm二氧化硅粉体、锂玻璃粉按重量比为40~70∶8~15∶8~15∶8~15∶6~15均匀混合,经等静压成型,然后在1600~1800℃×1~2小时氮气气氛烧制成硅锭线切割废料陶瓷导液管。本发明制备的硅锭线切割废料陶瓷导液管具有强度高,生产效率高,使用寿命长等特点。
硅锭线切割废料陶瓷导液管的制备方法
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