专利名称：坩埚喷涂系统的制作方法现有的坩埚，尤其是石英坩埚，较常采用的喷涂工艺是:先将一定粒度的喷涂用粉料和去离子水(DI水)以一定量配比，搅拌均匀，输送到喷头后借助增压压力，在洁净腔室内用喷头喷涂在时刻保持预热温度的的石英坩埚内壁，喷涂时使坩埚保持旋转，利用离心力作用，坩埚能喷涂得更加均匀；经过烘箱在一定程序下烧结，石英坩埚内壁最终形成了一层喷涂粉料的喷涂层。该喷涂工艺主要存在以下不足:1、需要将粉料先均匀溶解在溶剂中，但通常该类粉料在溶液中分散的时候会与溶液中的气体和空气发生反应，形成沉淀，导致溶液难以分散均匀；2、由于喷涂和烘干过程中有极高洁净度的需求，粉料溶解于溶剂的方式就需要对喷涂过程中的溶剂进行雾化处理，加大了喷涂时的复杂程度，且易被污染。3.该种方式的喷涂温度、所用的溶剂和溶质、喷涂方法，决定了该类喷涂在基底上很难形成均匀或致密的涂层。4.该涂层的吸附方式基本为物理吸附，与基底的附着力很低，容易被外力损伤和剥离。
在下文中将参照以下附图仅通过例子更具体地描述本实用新型的优选实施例:图1是根据本实用新型的一个实施例的坩埚喷涂系统的结构示意图；图2是图1的压缩气体发生装置的结构示意图；图3是图1的坩埚喷涂系统的控制原理框图。在上述的各附图中，相似的附图标记应被理解为表示相同、相似或者相应的特征或功能。本实用新型的发明人一改以往常用喷涂系统必须将喷涂粉料溶解在溶剂中搅拌均匀形成喷涂液，传输至喷嘴后才施加压缩空气进行喷涂的传统方式，独创性地设计了一套坩埚喷涂系统，先将压缩气体与喷涂粉料在混合腔内预混合后，再借助压缩气体通过传输通道进入喷涂机构向坩埚内表面进行喷涂。需要注意的是，在以下优选的实施例的具体描述中，将参考构成本实用新型一部分的所附的附图。所附的附图通过示例的方式示出了能够实现本实用新型的特定的实施例。示例的实施例并不旨在穷尽根据本实用新型的所有实施例。可以理解，在不偏离本实用新型的范围的前提下，可以利用其他实施例，也可以进行结构性或者逻辑性的修改。因此，以下的具体描述并非限制性的，且本实用新型的范围由所附的权利要求所限定。在以下的具体描述中，参考了所附的附图。附图构成了本实用新型的一部分，在附图中通过示例的方式示出了能够实施本实用新型的特定的实施例。就这一点而言，方向性的术语，例如“左”、“右” “顶部”、“底部”、“前”、“后”等，参考附图中描述的方向使用。因此本实用新型的实施例的部件可被置于多种不同的方向，方向性的术语是用于示例的目的而非限制性的。可以理解，在不偏离本实用新型的范围的前提下，可以利用其他实施例，也可以进行结构性或者逻辑性修改。因此，以下的具体描述并非限制性的，且本实用新型的范围由所附的权利要求所限定。本说明书中使用的术语“竖直方向”的含义应当理解为大致垂直于地面的方向，当然可以在严格的垂直方向上偏离较小的角度。本说明书中使用的术语“水平方向”的含义应当理解为大致平行于地面的方向，当然可以在严格的水平方向上偏离较小的角度。以下结合附图1-3，详细描述本实用新型的坩埚喷涂系统的实施方式。图1示意性地描述了本实用新型的一个实施例的坩埚喷涂系统的结构。如图1所示，喷涂系统主要包括压缩气体发生装置1、装载喷涂粉料的喂料装置2(也可以选择人工称量，然后手动喂料)、混合腔(本实施例中具体为文丘里管3)、传输通道(本实施例中具体由不锈钢软管5形成该传输通道)、带有喷嘴41的喷涂机构4、以及PLC控制器6。为了监测和控制坩埚温度，还可以在坩埚9上方增设一测温仪7。测温仪7还可以通过直接在坩埚外侧的石墨模具里或与坩埚接触的地方使用热电偶来测量，达到控温目的。压缩气体发生装置I形成压缩气体通入至文丘里管3中，喂料装置2装载的喷涂粉料经由设置在文丘里管3上方的漏斗31也进入至文丘里管3中，压缩气体和喷涂粉料在文丘里管3内进行混合后，借助压缩气体的推力通过不锈钢软管5进入喷涂机构4的喷嘴41，在预定的状态下向坩埚的内表面喷涂所述粉料以在坩埚内表面形成均匀的涂层。这里的混合腔选用文丘里管，是将文丘里管用作管式混合器，主要借助射流的原理，由喷管喷出的一束流体的无规则流动，撞击射流两侧的静止空气(或其他流体)，并带动它们一起向前运动，具有抽气作用。文丘里管就是利用这一原理，达到强混合的作用。喷涂机构4包括在竖直方向延伸的升降杆42和在水平方向延伸的旋转臂43，以及喷嘴41。旋转臂43藕接在所述升降杆42上可以以所述藕接点作为旋转支点进行水平方向的旋转。旋转臂43是空心结构的，其一端连接所述不锈钢软管5，另一端连接所述喷嘴41以将喷涂用粉料送至喷嘴41。此处的旋转臂43也可以仅仅是起到旋转功用，实心的也可以，此时传输粉料的管道可以设置为依附与该旋转臂。优选地，所述的升降杆42和旋转臂43可以通过气动的方式进行控制。由此，在对坩埚9内表面进行喷涂时，就可以适当地调节喷嘴41在坩埚9内深入的纵向距离以及离开坩埚9内表面的横向距离，更好更灵活地对坩埚进行制备加工。喷嘴41可选择置于坩埚的腔体内部或腔体上方或腔体外侧。优选地，为了喷涂的均匀性，所述喷嘴41的形状可设计为与坩埚9的内侧壁形状相匹配，也就是说，所喷出的粉体覆盖在坩埚内表面或者外表面的指定位置，例如:全体，或底部、弧度、侧壁部分的单一部分或两两组合。压缩气体发生装置I的具体构成将在下面结合图2进行详细说明。PLC控制器6的控制方式将在下面结合图3具体描述。如图2所示，压缩气体发生装置I具体包括空压机11、输送管道12，以及设置在输送管道12上的压缩气体总阀13、压力变送器14、流量计15、气流量调节阀16。输送管道12可以选用普通钢管或塑料树脂类管道。图3显示了图1的坩埚喷涂系统的控制原理。如图3所示，PLC控制器6分别连接并控制所述喂料装置2、压缩气体发生装置1、喷涂机构4和测温仪7。在坩埚9到达某一合适的温度，PLC控制器6控制所述升降杆42升高至模具上方位置，然后降低升降杆42使得喷嘴41伸入坩埚9内恰当位置。待喷嘴41就位后，PLC控制器6控制打开压缩气体发生装置I的空压机11，压缩气体进入输送管道12。I至2秒后，PLC控制器6控制启动喂料装置2，喷涂粉料通过漏斗31进入文丘里管3，与压缩气体混合后借助压缩气体的推力通过不锈钢软管5、中空的旋转臂43进入喷嘴41喷射到坩埚9内表面上。随着模具或者喷嘴的旋转，就可以在坩埚9的内表面上形成均匀的涂层。应当理解，上述描述的实施例仅用于描述而非限制本实用新型，本领域技术人员可以理解，可以对本实用新型进行修改和变形，只要不偏离本实用新型的精神和范围。上述的修改和变形被认为是本实用新型和所附权利要求的范围。本实用新型的保护范围由所附的权利要求所限定。此外，权利要求中的任何附图标记不应被理解为对本实用新型的限制。动词“包括”和其变形不排除出现权利要求中声明以外的其他的元件或步骤。在元件或步骤之前的不定冠词“一”不排除出现多个这样的元件或步骤。