专利名称:由水平拉带工艺制造的硅带切割的制作方法用于太阳能电池的盘状硅片的方法和设备。本发明涉及一种由水平拉带工艺制造的硅带切割用于太阳能电池的盘状硅片的方法,其中用一条向硅带拉伸方向运行的,最好由石墨纤维织成的织带作为形成硅带所用熔体的载体和结晶晶芽成份,将该织带向位于槽内的熔体上方切向拉出,在熔体上方和下面均有热源,其上下应调整得使硅带在考虑到熔体表面幅射损失的情况下以均匀的厚度凝结成硅带,然后才从熔体连续地侧向拉出,以及实施该方法的设备。这种类型的方法例如已由欧洲专利申请0170119所公开。其中以米/分的高拉伸速度制造硅带,该硅带在进一步加工成太阳能电池之前必须切割成适合的切片。为了不影响拉伸过程的连续性,必须在拉伸过程中和不变的拉伸速度下切割成一定长度的切片。通过切割工序时不允许硅带颤抖或振动,因为由此将会影响晶体生长过程。影响其生长会导致降低由这种材料加工成的太阳能电池的效率。本发明的任务是发明一种无干扰的,可顺利地适用于连续制造过程的切割方法。该任务可由具有下列特征的开头所述的方法来完成。以特定的,予先给示的,与太阳能电池所用硅片大小相应的距离,借助于一起运行的屏蔽体减少熔体表面的幅射损失,使得在限定的区域间不发生硬化,且因此在硅带中形成一条切割带。本发明还包括,采用耐热而导电好的材料制成的桥状物体作屏蔽体,它放在不用于结晶的石墨织带外侧窄带上并以此崩紧的物体遮盖熔体表面。本发明进一步的方案由以属权利要求1.由水平拉带工艺制造的硅带切割用于太阳能电池的盘状硅片的方法,其中用一条向硅带(1)拉伸方向运行的,最好由石墨纤维织成的织带作形成硅带(4)所用熔体(2)的载体和结晶晶芽成分,它向位于槽(3)内的熔体(2)上方切向拉出,在熔体(2)的上方和下面均有热源(7),其上下应调整得使硅带(4)在考虑到熔体表面(2)幅射损失(5)的情况下以均匀的厚度凝结成硅带(4)。然后才从熔体(2)连续地侧向拉出,本发明的特征在于,以特定的,予先给示的,与太阳能电池所用硅片大小相应的距离(LA)用一起运行的屏蔽体(6)在熔体表面(2)上减少幅射损失(5),使得在限定的区域内不发生固化且因此在硅带(4)中形成一条切割带(11)。
2.按照权利要求
1的方法,其特征是,采用耐热而导电好的材料制成的桥状物体作屏蔽体(6),它放在石墨织带(1)上不用于结晶的外侧窄条上并以此崩紧的物体遮盖熔体表面(2)。
3.按照权利要求
1或2的方法,其特征是,用条状的,可电加热的石墨体或钼体作屏蔽体(6)(图2)。
4.按照权利要求
1或2的方法,其特征是,用高吸收率的材料制成的,具有小热容的形状的屏蔽体(6)。
5.按照权利要求
4的方法,其特征是用一侧由石墨毡绝热的薄石墨片或石墨编织带。
6.按照权利要求
1或2的方法,其特征是用具有高反射率的屏蔽体(6)。
7.按照权利要求
6的方法,其特征是用具有抛物线形截面的屏蔽体(6)(图3)。
8.用于实施权利要求
1至7其中之一方法的设备,具有以下特征a)一个容纳硅熔体(2)的由底部加热的熔体槽(3),b)一个在熔体槽范围(2,3)之外安装的驱动装置,由其可将拉伸方向(V1)在相对于水平线倾角10°之内调整。c)一个侧向位于熔体槽(3)上方的导向辊,用于形成晶芽形成中心,最好由石墨制成的织带(1),d)一个与熔体槽(3)相连的熔体贮存器,它位于实际拉伸装置之前,e)位于熔体槽(3)上方,其位置相对于熔体表面可调节的反射体,其特征是,f)在熔体槽范围(2,3)之外装有驱动装置和导向辊(8),借助它们可使一条带有由耐热良导电材料制成的条状物体(6)的皮带(9)与将涂层的载体(1)同步运行(图2)。
9.实施按照权利要求
1至8其中之一的方法的设备,其特征是,代替同步运行的皮带(9)在实际拉伸装置前装有一个配备装置,它使屏蔽体(6)以一定的间隔(LA)放在涂层带(1)的外侧窄条上,并带有一个叉状装置,它在屏蔽体(6)通过结晶区之后再从带(1,4)上将其取下。
从由水平拉带工艺制造的硅带(4)切割盘状硅片,其中用一条石墨纤维编织带(1)作要结晶的硅的载体,用位于熔体槽(3)上方和下面的,并上下对准的热源(7)使熔化的液体硅(2)结晶,用下属方法实现切割以一定的预先给出的,与用于太阳能电池的硅片大小相应的间隔(2A)通过一起运行的(V
由水平拉带工艺制造的硅带切割制作方法
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