专利名称：烧成装置的制作方法 作为该种烧成装置众所周知的是，其被称为辊底式连续烧成装置，包括烧成炉及在烧成炉内沿着纵向连续排列的多个陶瓷制传送辊，在该传送辊上通过装定玻璃载着基板，从而在该状态下对基板进行热处理(例如，参照日本特开2003-262473号公报)。在以往的装置中存在下述问题。第一，由于需要使用大热容量的装定玻璃，所以为使装定玻璃升温要耗费掉很多电力。第二，由于装置的横向宽度尺寸受到装定玻璃的横向宽度尺寸的限制，所以缩短装置的横向宽度尺寸是有界限的。第三，由于零件必须使用价格贵的陶瓷辊，所以难以降低装置成本。
本发明的目的在于提供一种烧成装置，该烧成装置可完全解决上述问题，可降低电力消耗、缩短装置的横向宽度尺寸、以及实现装置成本的降低。本发明的烧成装置包括烧成炉；加热器，该加热器分别安装在烧成炉内两侧面上；传送装置，该传送装置具有2条相互隔开间隔沿着炉纵向延伸的传送路线，且在各传送路线上以与传送方向平行且竖立着的状态传送基板；供气管及排气管，该供气管及排气管在两传送路线之间延伸。在本发明的烧成装置中，由于无需使用像装定玻璃那样的构件，从而可降低电力消耗。此外，因为是以竖立状态传送基板，从而可缩小装置的横向宽度尺寸。而且无需使用陶瓷辊那样的构件，所以可实现装置成本的降低。并且，可从其外侧由加热器对传送中的基板进行加热，从其内侧由供气管及排气管进行排尘换气。基板例如为等离子显示器用面板的场合，可使附着在它上的粘合剂汽化且可对汽化后的气体进行换气。由于在供气管及排气管的两侧上形成有2条基板传送路线，所以除可以高效率地进行排气换气之外，还可以以2列高效率地传送基板。而且，供气管由供气主管及从供气主管分支的多条供气支管构成，在供气支管的纵向方向上形成有多个供气口；排气管由排气主管及从各排气主管分支的多条排气支管构成，在排气支管的纵向上形成有多个排气口，由此可从数处进行供气及排气。此外，若供气主管及排气主管在基板的传送方向上隔开规定距离地就向上下方向延伸，且供气支管及排气支管在上下方向上相邻且向传送方向或向与其相反的方向延伸，则可使供气支管及排气支管紧凑地排列。
此外，若在烧成炉内两侧面上设置有内方突出格栅状热阻挡层，加热器是由分别配置在相当于热阻挡层所形成的格栅孔部分上的且可分别控制温度的多个放热体构成，则可提高炉内各部分的温度控制性能，可将炉内各部分加热到所期望的温度。
此外，若传送装置包括承受基板的下缘部的传送体以及引导基板的上缘部的移动的导向装置，则可不使使自重作用在基板上地进行传送。
此外，若传送装置装备有悬挂基板的上缘部的吊具、安装有吊具的传送链以及引导基板的下缘部的移动的导向装置，则可简单地构成传送装置。
此外，若传送装置装备有传送链、在传送链的上方悬挂基板的上缘部的吊具以及介于传送链和吊具之间的支承体，则无需如引导基板的下缘部的导向装置那样的构件，可简单地构成传送装置。
根据本发明，可提供一种烧成装置，该烧成装置可降低电力消耗、缩小装置的横向宽度尺寸以及降低装置成本。


图1是本发明烧成装置的烧成炉的说明图。
图2是本发明烧成装置的预热区域中的垂直纵剖面图。
图3是相同烧成装置的横剖面图。
图4是表示相同烧成装置的传送装置的改动的说明图。
图5是表示相同传送装置的其他变形的说明图。
图6是表示相同传送装置的又一变形例的说明图。
图7是表示相同传送装置的又一变形例的说明图。
图8是表示相同传送装置的又一变形例的说明图。
图9是表示相同传送装置的又一变形例的说明图。
图10是表示相同传送装置的又一变形例的说明图。
图11是从侧面观看图10的说明图。
图12是表示相同传送装置的又一变形例的说明图。

下面，参照附图对本发明的实施方式进行说明。
在以下的说明中，所谓前后是指将传送基板前进的一侧称为前(图1的右侧)，与其相反的一侧称为后；所谓左右是指从后方看时将其左右侧称为左右。
图1表示烧成炉11的整体结构。其炉内从烧成炉11的进口11A直到出口11B划分为4个区域。所谓4个区域是指预热淬火区域、烧成区域、退火区域及冷却区域。对照图1对该4个区域的温度分布进行表示。
下面，详细说明烧完区域中的结构。
参照图2及图3可见，烧成装置包括烧成炉11、加热烧成炉11内的加热器12以及在烧成炉11内以与传送方向平行且竖立的状态传送基板的传送装置13。
烧成炉11是具有长边沿上下方向的长方形横截面的、在前后方向上延伸的水平方筒状的结构，其由顶壁21、底壁22及左右侧壁23、24构成。这些炉壁21～24由陶瓷纤维成型隔热材料构成。此外，在炉壁21～24内面的所需位置处设置有抑制起尘用的特殊涂层。
烧成炉11内形成有沿前后方向连续排列的多个区域Zn(n是整数，图示为Z2、Z3及Z4)。并且，在各个区域Zn内形成有沿上下方向排列多个、在此为3个划分区D1、D2及D3。
在烧成炉11内左右两侧面上分别设置有内方突出格栅状热阻挡层25。该热阻挡层25的材料与形成烧成炉11的炉壁21～24的隔热材料相同。热阻挡层25所形成的格栅纵线以与相邻2个区域Zn的分界对应的方式进行延伸，热阻挡层25所形成的格栅横线以与各个区域Zn内的相邻2个划分区Dn(n为整数，图中为Z2、Z3、Z4)的分界对应的方式进行延伸。
加热器12由多个放热体26构成，这些放热体26分别配置在相当于热阻挡层25所形成的格栅孔的部分上。各放热体26由成形为蛇行状的电阻金属线构成且以整体方式埋设在对应的侧壁33、34内面中。
在各区域Zn内设有供气管31及排气管32。
供气管31由垂直状供气主管41及从供气主管41的纵向的3个地方分支出来的3条水平供气支管42构成。供气主管41在各区域Zn的前端部的左右方向央部中贯穿顶壁21而向上下方向延伸。各供气支管42具有横截面是倒三角形状的周壁且其在对应的划分区D1、D2、D3的上端附近向后延伸。在周壁的V字状底部的纵向的多处地方，向下地形成每2个成一对的多对供气口43。成对的2个供气口43相对于垂直线具有互相朝向相反方向的45度左右的角度。
排气管32由垂直状排气主管44及从排气主管44的纵向方向的4个地方分支出来的4条水平排气支管45构成。排气主管44在各区域Zn的后端部的左右方向中央部中贯穿顶壁21而向上下方向延伸。各排气支管45具有横截面是正方形的周壁且其向前延伸。4条排气支管45中的最上面的排气支管45与顶壁21下面接触，从上数第2条和第3条的排气支管45与对应的供气支管42的上面接触，最下面的排气支管45与底壁22上面接触。此外，在4条排气支管45中，在最上面的排气支管45周壁的平坦状底面上向下地形成每2个成一对的多对排气口46，但在其他的第2～第4条排气支管45周壁的平坦状顶部上向上地形成每2条成一对的多对排气口46。成对的每2个排气口46相对于垂直线具有相互保持为朝着相反方向的45度左右的角度。
传送装置13装备有配置在烧成炉11内底部附近的沿前后方向延伸的一列传送辊列51，以及配置在烧成炉11内顶部附近的沿前后方向延伸的左右各一对的导向辊列52。
传送辊列51由在前后方向上隔开规定间隔地排列成为1排且沿左右方向延伸的多个水平传送辊53构成。在最下面的放热体26的下方，各传送辊53的两端部以横穿过最下面的排气支管45的上方的方式贯穿两侧壁23、24而突出到侧方。在传送辊53外面的、位于烧成炉11内的部分上形成有左右一对环状基板承受槽54。两基板承受槽54夹着供气管31及排气管32且位于它们的两侧。
左右的导向辊列52具有相同的结构，其以两导向辊之间隔有与两基板承受槽54相同的间隔的方式进行排列。各导向辊列52由在前后及左右方向上隔开规定间隔地排成2列的多个垂直导向辊55构成。左右的导向辊55隔开比基板P的厚度仅大极微量的间隔地安装在垂直辊轴56上。辊轴56贯穿到顶壁21上。
2个基板P的下缘部进入到基板承受槽54中，2个基板P的上缘部由左右的导向辊55夹着的状态下，在烧成炉11内同时向前传送。此时，通过未做图示的驱动装置，所有的传送辊53沿图2中的顺时针方向以相同速度被旋转驱动。基板P为等离子显示器用板的场合，在该表面上涂敷着粘合剂等。在使其表面朝向内侧的状态下传送基板P。当通过预热区域时，粘合剂等产生汽化，由供气管31及排气管32高效率地将其导到外面。
下面，对传送装置13的各种变形例进行说明。在下述说明中，出于方便而在所对应的部分上标记相同的符号加以表示。
在图4上有表示承受1个基板P的下缘部的传送辊61、以及引导同一基板P的上缘的导向辊62。在传送辊61外表面上形成有1个环状基板承受槽63。在导向辊62外表面上形成有1个环状基板推压槽64。
图5是表示同时传送2个基板P的例子。在与图4中所示的传送辊61相同的传送辊61的外表面上形成有2个基板承受槽63。同样，在导向辊62外面上形成有2个环状基板推压槽64。
在图6中，通过传送体71承受基板P的下缘部。传送体71是陶瓷传送带的链子或网带传送带的带。在传送体71上安装有呈门形棒状的支承配件72的下端部。在支承配件72的顶部上形成有使基板P的下边缘部进入的向上基板承受槽口73。通过左右一对的导向辊74将基板P的上缘部夹住。
在图7中，在与图6中所示的支承配件72相同的支承配件72上形成有左右一对的基板承受槽73。以左右两对的导向辊74中成对的导向辊对夹住2个基板P的上缘部。
在图8中沿烧成炉11的顶部移动地配置传送体71且在该传送体71上安装吊具81，通过吊具81吊持基板P的上缘部的方式。使基板P的下缘部夹在左右的导向辊74之间而由它们引导。图9是使图8的基本结构2列化后的结构。在传送体71上安装有2个吊具81。由左右二对的导向辊74成对的导向辊分别夹住2个基板P的下缘部。
参照图10及图11可见，在传送体71上安装有基板支承体91。该基板支承体91由前后一对的横截面コ字形状垂直纵构件92、横截面コ字形状水平横构件93及吊具81构成，其中，该前后一对的横截面コ字形状垂直纵构件92具有比竖立状态的基板P前后方向的长度大的间隔，以使开口彼此间相对的方式竖立在传送体71上且具有超过同基板P上下方向的长度的高度；横截面コ字形状水平横构件93使其开口向下且将两纵向材料92的上端彼此连接起来；吊具81从横构件93上吊下并吊挂基板P的上缘部。
图12是表示通过图10及11中所示的基板支承体91，可同时传送2块基板P的传送装置。在基板支承体91的横构件93上左右并列地设置有2个吊具81。


本发明提供一种烧成装置，该烧成装置可降低电力消耗、缩短装置的横向宽度尺寸、以及实现降低装置成本。本发明的烧成装置装备有烧成炉(11)；分别安装在烧成炉(11)内两侧面上的加热器(12)；传送装置(13)，该传送装置(13)具有2条相互隔着间隔的沿着炉纵向方向延伸的传送路线，且在该各传送路线上在与传送方向平行且竖立状态下传送基板(P)；在两传送路线之间延伸的供气管(31)及排气管(32)。