玻璃减薄设备及玻璃减薄方法【技术领域】，特别是涉及一种玻璃减薄设备及玻璃减薄法。[0002]随着便携式电子器件的发展，手机、平板等便携式电子器件越来越纤细化及薄型化，因此需要制造较薄的玻璃基板。[0003]为了制造较薄的玻璃基板，目前的采用的方法是浸泡式减薄法。用浸泡式减薄法减薄玻璃是将玻璃减薄液放入玻璃减薄设备的反应槽中，然后将玻璃放入玻璃减薄液中放置一定时间，使玻璃减薄液与玻璃反应，实现玻璃减薄。[0004]目前的浸泡式减薄法中，反应产物会悬浮于玻璃减薄液中，然后再粘附在玻璃上，造成不良品；并且，这种方法容易造成蚀刻不均，导致进行减薄后还需要进行抛光处理，提高了制备成本。
[0005]基于此，有必要提供一种玻璃减薄设备，以用于减薄玻璃时能够避免浸泡式减薄法中的反应产物粘附于玻璃上及刻蚀不均匀的问题。[0006]进一步，提供 一种玻璃减薄方法。
[0007]—种玻璃减薄设备，包括箱体和设置于所述箱体中的喷淋装置，所述箱体中设有依次排列的第一淋洗槽、第一刻蚀槽、第二刻蚀槽、第三刻蚀槽、第二淋洗槽、第三淋洗槽、第四淋洗槽和干燥槽，所述喷淋装置包括分别位于所述第一淋洗槽、第一刻蚀槽、第二刻蚀槽、第三刻蚀槽、第二淋洗槽、第三淋洗槽和第四淋洗槽的槽底上方的第一喷淋管、第二喷淋管、第三喷淋管、第四喷淋管、第五喷淋管、第六喷淋管和第七喷淋管。
[0008]在其中一个实施例中，所述第一淋洗槽上设置有可转动的第一盖板，所述第一刻蚀槽上设置有可转动的第二盖板，所述第二刻蚀槽上设置有可转动的第三盖板，所述第三刻蚀槽上设置有可转动的第四盖板，所述第二淋洗槽上设置有可转动的第五盖板，所述第三淋洗槽上设置有可转动的第六盖板，所述第四淋洗槽上设置有可转动的第七盖板，所述第一盖板、第二盖板、第三盖板、第四盖板、第五盖板、第六盖板和第七盖板可转动至某一方向而分别密封所述第一淋洗槽、第一刻蚀槽、第二刻蚀槽、第三刻蚀槽、第二淋洗槽、第三淋洗槽和第四淋洗槽。
[0009]在其中一个实施例中，所述第一喷淋管、第二喷淋管、第三喷淋管、第四喷淋管、第五喷淋管、第六喷淋管和第七喷淋管分别设置于所述第一盖板、第二盖板、第三盖板、第四盖板、第五盖板、第六盖板和第七盖板上。
[0010]在其中一个实施例中，所述第一喷淋管、第二喷淋管、第三喷淋管、第四喷淋管、第五喷淋管、第六喷淋管和第七喷淋管上均设置有多个伞形喷咀。
[0011]在其中一个实施例中，所述第一喷淋管、第二喷淋管、第三喷淋管、第四喷淋管、第五喷淋管、第六喷淋管和第七喷淋管上均设置有压力调节阀和压力表。[0012]在其中一个实施例中，还包括设置于所述箱体中的机械臂，所述机械臂用于将待减薄玻璃放入第一淋洗槽，并从所述第一淋洗槽取出，依次放入所述第一刻蚀槽、第二刻蚀槽、第三刻蚀槽、第二淋洗槽、第三淋洗槽、第四淋洗槽和干燥槽中。
[0013]在其中一个实施例中，所述箱体上还设有第一储液槽、第二储液槽、第三储液槽、第四储液槽、第五储液槽、第六储液槽和第七储液槽，所述第一储液槽与所述第一淋洗槽连通，所述第二储液槽与所述第一刻蚀槽连通，所述第三储液槽与所述第二刻蚀槽连通，所述第四储液槽与所述第三刻蚀槽连通，所述第五储液槽与所述第二淋洗槽连通，所述第六储液槽与所述第三淋洗槽连通，所述第七储液槽与所述第四淋洗槽连通。
[0014]一种玻璃减薄方法，包括如下步骤:
[0015]将待减薄玻璃放入上述玻璃减薄设备的第一淋洗槽中，通过所述第一喷淋管喷淋第一洗液对所述待减薄玻璃进行一次淋洗；
[0016]将经过一次淋洗的所述待减薄玻璃从所述第一淋洗槽中取出放入所述第一刻蚀槽中，通过所述第二喷淋管喷淋第一刻蚀液对所述待减薄玻璃进行一次刻蚀；
[0017]将经过一次刻蚀的所述待减薄玻璃从所述第一刻蚀槽中取出放入所述第二刻蚀槽中，通过所述第三喷淋管喷淋第二刻蚀液对所述待减薄玻璃进行二次刻蚀；
[0018]将经过二次刻蚀的所述待减薄玻璃从所述第二刻蚀槽中取出放入所述第三刻蚀槽中，通过所述第四喷淋管喷淋第三刻蚀液对所述待减薄玻璃进行三次刻蚀；
[0019]将经过三次刻蚀的所述待减薄玻璃从所述第三刻蚀槽中取出放入所述第二淋洗槽中，通过所述第五喷淋管喷淋第二洗液对所述待减薄玻璃进行二次淋洗；
[0020]将经过二次淋洗的所述待减薄玻璃从所述第二淋洗槽中取出放入所述第三淋洗槽中，通过所述第六喷淋管喷淋第三洗液对所述待减薄玻璃进行三次淋洗；
[0021]将经过三次淋洗的所述待减薄玻璃从所述第三淋洗槽中取出放入所述第四淋洗槽中，通过所述第七喷淋管喷淋第四洗液对所述待减薄玻璃进行四次淋洗；以及
[0022]将经过四次淋洗的所述待减薄玻璃从所述第四淋洗槽中取出放入所述干燥槽中进行干燥。
[0023]在其中一个实施例中，所述第一洗液、第二洗液和第四洗液为纯水，所述第三洗液为碱液，所述第一刻蚀液、第二刻蚀液和第三刻蚀液为氢氟酸。
[0024]在其中一个实施例中，所述第一洗液、第二洗液、第三洗液、第四洗液、第一刻蚀液、第二刻蚀液和第三刻蚀液的喷淋压力为1.2kgf/cm2~1.8kgf/cm2。
[0025]使用上述玻璃减薄设备进行玻璃减薄时，待减薄玻璃依次经过第一淋洗槽、第一刻蚀槽、第二刻蚀槽、第三刻蚀槽、第二淋洗槽、第三淋洗槽、第四淋洗槽中，依次使用第一喷淋管、第二喷淋管、第三喷淋管、第四喷淋管、第五喷淋管、第六喷淋管和第七喷淋管对待减薄玻璃进行喷淋洗液和刻蚀液对待减薄玻璃进行淋洗和刻蚀，实现对待减薄玻璃的减薄。这种使用上述玻璃减薄设备进行的在不同的槽中进行喷淋洗涤和刻蚀的减薄方法能够避免浸泡式减薄法中的反应产物粘附于玻璃上的问题，并且依次经过第一刻蚀槽、第二刻蚀槽和第三刻蚀槽的三次刻蚀，能够避免浸泡式刻蚀不均匀的问题。



[0026]图1为一实施方式的玻璃减薄设备的结构示意图；[0027]图2为图1所示的玻璃减薄设备的剖去了部分箱体后的立体示意图；
[0028]图3为另一实施方式的玻璃减薄设备的结构示意图；
[0029]图4为一实施方式的玻璃减薄方法的流程图。

[0030]为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似改进，因此本发明不受下面公开的具体实施的限制。
[0031]请参阅图1，一实施方式的玻璃减薄设备100，包括箱体20和设置于箱体20中的喷淋装置。
[0032]箱体20为长方体。箱体20包括机架和外包于机架上的壳体(图未示)。机架为不锈钢支架，优选为SUS304方通支架。壳体的材料为聚丙烯。
[0033]箱体20中设有依次排列的第一淋洗槽21、第一刻蚀槽22、第二刻蚀槽23、第三刻蚀槽24、第二淋洗槽25、第三淋洗槽26、第四淋洗槽27和干燥槽28。
[0034]为方便操作，第一淋洗槽21、第一刻蚀槽22、第二刻蚀槽23、第三刻蚀槽24、第二淋洗槽25、第三淋洗槽26、第四淋洗槽27和干燥槽28中，相邻的两个槽紧靠设置，以便于操作。并且，第一淋洗槽21、第一刻蚀槽22、第二刻蚀槽23、第三刻蚀槽24、第二淋洗槽25、第三淋洗槽26、第四淋洗槽27和干燥槽28呈直线式排列，便于待减薄玻璃在各个槽中运行。
[0035]第一淋洗槽21、第一刻蚀槽22、第二刻蚀槽23、第三刻蚀槽24、第二淋洗槽25、第三淋洗槽26、第四淋洗槽27和干燥槽28中均设置有固定装置，使玻璃可以立式放置于上述各个槽中。
[0036]具体地，第一淋洗槽21、第一刻蚀槽22、第二刻蚀槽23、第三刻蚀槽24、第二淋洗槽25、第三淋洗槽26、第四淋洗槽27和干燥槽28由设置于箱体20中的多个聚丙烯板(PP板)围成，以使槽体的耐腐蚀性能较好。
[0037]喷淋装置包括第一喷淋管41、第二喷淋管42、第三喷淋管43、第四喷淋管44、第五喷淋管45、第六喷淋管46和第七喷淋管47。
[0038]其中，第一喷淋管41位于第一淋洗槽21的上方，以使第一喷淋管41喷出的第一洗液对位于第一淋洗槽21中的待减薄玻璃进行一次淋洗。第二喷淋管42位于第一刻蚀槽22的上方，以使第二喷淋管42喷出的第一刻蚀液对位于第一刻蚀槽22中的待减薄玻璃进行一次刻蚀。第三喷淋管43位于第二刻蚀槽23的上方，以使第三喷淋管43喷出的第二刻蚀液对位于第二刻蚀槽23中的待减薄玻璃进行二次刻蚀。第四喷淋管44位于第三刻蚀槽24的上方，以使第四喷淋管44喷出的第二刻蚀液对位于第三刻蚀槽24中的待减薄玻璃进行三次刻蚀。第五喷淋管45位于第二淋洗槽25的上方，以使第五喷淋管45喷出的第二洗液对位于第二淋洗槽25中的待减薄玻璃进行二次淋洗。第六喷淋管46位于第三淋洗槽26的上方，以使第六喷淋管46喷 出的第三洗液对位于第三淋洗槽46中的待减薄玻璃进行三次淋洗。第七喷淋管47位于第四淋洗槽27的上方，以使第七喷淋管47喷出的第四洗液对位于第四淋洗槽27中的待减薄玻璃进行四次淋洗。[0039]干燥槽28用于对经过三次刻蚀和四次淋洗的待减薄玻璃进行干燥。
[0040]请一并参阅图2，第一淋洗槽21上设置有可转动的第一盖板212。第一盖板212设置于第一淋洗槽21的槽壁的远离槽底的一端，当第一盖板212转动至某一角度时，第一盖板212与槽底平行并密封第一淋洗槽21。第一喷淋管41设置于第一盖板212上，当第一盖板212密封第一淋洗槽21时，第一喷淋管41位于第一淋洗槽21的内部，并正对第一淋洗槽21的槽底。
[0041]第一刻蚀槽22上设置有可转动的第二盖板222。第二盖板222设置于第一刻蚀槽22的槽壁的远离槽底的一端，当第二盖板222转动至某一角度时，第二盖板222与槽底平行并密封第一刻蚀槽22，图2所示的状态即为第二盖板222密封第一刻蚀槽22的状态。第二喷淋管42设置于第二盖板222上，当第二盖板222密封第一刻蚀槽22时，第二喷淋管42位于第一刻蚀槽22的内部，并正对第一刻蚀槽22的槽底。
[0042]第二刻蚀槽23上设置有可转动的第三盖板232。第三盖板232设置于第二刻蚀槽23的槽壁的远离槽底的一端，当第三盖板232转动至某一角度时，第三盖板232与槽底平行并密封第二刻蚀槽23。第三喷淋管43设置于第三盖板232上，当第三盖板232密封第二刻蚀槽23时，第三喷淋管43位于第二刻蚀槽23的内部，并正对第二刻蚀槽23的槽底。
[0043]第三刻蚀槽24上设置有可转动的第四盖板242。第四盖板242设置于第三刻蚀槽24的槽壁的远离槽底的一端，当第四盖板242转动至某一角度时，第四盖板242与槽底平行并密封第三刻蚀槽24，图2所示的状态即为第四盖板242密封第三刻蚀槽24的状态。第四喷淋管44设置于第四盖板242上，当第四盖板242密封第三刻蚀槽24时，第四喷淋管44位于第三刻蚀槽24的内部，并正对第三刻蚀槽24的槽底。
[0044]第二淋洗槽25上设置有可转动的第五盖板252。第五盖板252设置于第二淋洗槽25的槽壁的远离槽底的一端，当第五盖板252转动至某一角度时，第五盖板252与槽底平行并密封第二淋洗槽25。第五喷淋管45设置于第五盖板252上，当第五盖板252密封第二淋洗槽25时，第五喷淋管45位于第二淋洗槽25的内部，并正对第二淋洗槽25的槽底。
`[0045]第三淋洗槽26上设置有可转动的第六盖板262。第六盖板262设置于第三淋洗槽26的槽壁的远离槽底的一端，当第六盖板262转动至某一角度时，第六盖板262与槽底平行并密封第三淋洗槽26，图2所示的状态即为第六盖板262密封第三淋洗槽26的状态。第六喷淋管46设置于第六盖板262上，当第六盖板262密封第三淋洗槽26时，第六喷淋管46位于第三淋洗槽26的内部，并正对第三淋洗槽26的槽底。
[0046]第四淋洗槽27上设置有可转动的第七盖板272。第七盖板272设置于第四淋洗槽27的槽壁的远离槽底的一端，当第七盖板272转动至某一角度时，第七盖板272与槽底平行并密封第四淋洗槽27。第七喷淋管47设置于第七盖板272上，当第七盖板272密封第四淋洗槽27时，第七喷淋管47位于第四淋洗槽27的内部，并正对第四淋洗槽27的槽底。
[0047]在一实施方式中，第一盖板212、第二盖板222、第三盖板232、第四盖板242、第五盖板252、第六盖板262、第七盖板272的数量分别为二。两个第一盖板212分别设置于第一淋洗槽21的两个相对的槽壁上。两个第二盖板222分别设置于第一刻蚀槽22的两个相对的槽壁上。两个第三盖板232分别设置于第二刻蚀槽23的两个相对的槽壁上。两个第四盖板243分别设置于第三刻蚀槽24的两个相对的槽壁上。两个第五盖板252分别设置于第二淋洗槽25的两个相对的槽壁上。两个第六盖板262分别设置于第三淋洗槽26的两个相对的槽壁上。两个第七盖板272分别设置于第四淋洗槽27的两个相对的槽壁上。
[0048]两个第一盖板212形成第一淋洗槽21的两个对开门。两个第二盖板222形成第一刻蚀槽22的两个对开门。两个第三盖板232形成第二刻蚀槽23的两个对开门。两个第四盖板242形成第三刻蚀槽24的两个对开门。两个第五盖板252形成第二淋洗槽25的两个对开门。两个第六盖板262形成第三淋洗槽26的两个对开门。两个第七盖板272形成第四淋洗槽27的两个对开门。
[0049]优选地，第一喷淋管41、第二喷淋管42、第三喷淋管43、第四喷淋管44、第五喷淋管45、第六喷淋管46和第七喷淋管47的数量分别为四。四个第一喷淋管41分别两两设置于两个第一盖板212上，四个第二喷淋管42分别两两设置于两个第二盖板222上，四个第三喷淋管43分别两两设置于两个第三盖板232上，四个第四喷淋管44分别两两设置于两个第四盖板242上，四个第五喷淋管45分别两两设置于两个第五盖板252上，四个第六喷淋管46分别两两设置于两个第六盖板262上，四个第七喷淋管47分别两两设置于两个第七盖板272上。
[0050]可以理解，在其他实施方式中，第一盖板212、第二盖板222、第二盖板232、第四盖板242、第五盖板252、第六盖板262、第七盖板272的数量也可以为一，四个第一喷淋管41、四个第二喷淋管42、四个第三喷淋管43、四个第四喷淋管44、四个第五喷淋管45、四个第六喷淋管46和四个第七喷淋管47均分别设在于第一盖板212、第二盖板222、第三盖板232、第四盖板242、第五盖板252、第六盖板262和第七盖板272上。
[0051]可以理解，在另外实施方式中，第一喷淋管41、第二喷淋管42、第三喷淋管43、第四喷淋管44、第五喷淋管45、第六喷淋管46和第七喷淋管47的数量均不限于四个，可以为多个，例如五个、六个等。多个第一喷淋管41平行设置，多个第二喷淋管42平行设置，多个第三喷淋管43平行设置，多个第四喷淋管44平行设置，多个第五喷淋管45平行设置，多个第六喷淋管46平行设置，多个第七喷淋管47平行设置。
[0052]第一喷淋管41、第二喷淋管42、第三喷淋管43、第四喷淋管44、第五喷淋管45、第六喷淋管46和第七喷淋管47上均开设`有多个喷孔，以便于对待减薄玻璃进行较好地淋洗和刻蚀。
[0053]请再次参阅图1，优选地，箱体20中还设有第一储液槽29、第二储液槽210、第三储液槽211、第四储液槽212、第五储液槽213、第六储液槽214和第七储液槽215。
[0054]第一储液槽29用于储存第一洗液,第二储液槽210用于储存第一刻蚀液,第三储液槽211用于储存第二刻蚀液，第四储液槽212用于储存第三刻蚀液，第五储液槽213用于储存第二洗液，第六储液槽214用于储存第三洗液,第七储液槽215用于储存第四洗液。
[0055]第一喷淋管41与第一储液槽29连通，第二喷淋管42与第二储液槽210连通，第三喷淋管43与第三储液槽211连通，第四喷淋管44与第四储液槽212连通，第五喷淋管45与第五储液槽213连通，第六喷淋管46与第六储液槽214连通，第七喷淋管47与第七储液槽215连通。一个储液槽对应一个喷淋管的方式，能够随时适应工艺调整的需求，当需要调整任一个喷淋管喷淋的液体时都能够适用。
[0056]第一喷淋管41、第二喷淋管42、第三喷淋管43、第四喷淋管44、第五喷淋管45、第六喷淋管46和第七喷淋管47上均设置有控制泵，分别用于控制相应的洗液或刻蚀液由相应的储液槽流向相应的喷淋管。[0057]可以理解，在其他实施方式中，第一储液槽29、第二储液槽210、第三储液槽211、第四储液槽212、第五储液槽213、第六储液槽214和第七储液槽215也可以设于箱体20的外部，例如均设于箱体20外部的另一个设备中，或者，单独使用七个容器分别存放第一洗液、第一刻蚀液、第二刻蚀液、第三刻蚀液、第二洗液、第三洗液和第四洗液，只需能够向第一喷淋管41、第二喷淋管42、第三喷淋管43、第四喷淋管44、第五喷淋管45、第六喷淋管46和第七喷淋管47输送相应的洗液和刻蚀液即可。
[0058]可以理解，在其他实施方式中，当第一刻蚀液、第二刻蚀液和第三刻蚀液为同一种刻蚀液时，第二储液槽210、第三储液槽211和第四储液槽212可以三合一，即仅使用一个第二储液槽310存储刻蚀液，用第一储液槽39储存第一洗液，用第三储液槽313储存第二洗液，用第四储液槽314储存第三洗液，用第五储液槽315储存第四洗液，如图3所示。
[0059]优选地，通过第一控制阀控制第一刻蚀槽22与第二储液槽210连通或不连通，且第一刻蚀槽22与第二储液槽210之间设置有第一回流泵，以使第一刻蚀槽22中的第一刻蚀液能够回流至第二储液槽210中。通过第二控制阀控制第二刻蚀槽23与第三储液槽211连通或不连通，且第二刻蚀槽23与第三储液槽211之间设置有第二回流泵，以使第二刻蚀槽23中的第二刻蚀液能够回流至第三储液槽211中。通过第三控制阀控制第三刻蚀槽24与第四储液槽212连通或不连通，且第三刻蚀槽24与第四储液槽212之间设置有第三回流泵，以使第三刻蚀槽24中的第三刻蚀液能够回流至第四储液槽212中。通过第四控制阀控制第三淋洗槽26与第六储液槽214连通或不连通，且第三淋洗槽26与第六储液槽214之间设置有第四回流泵，以使第三洗液能够回流至第六储液槽214中。
[0060]上述第一控制阀、第一回流泵、第二控制阀、第二回流泵、第三控制阀、第三回流泵、第四控制阀和第四回流泵的设置，使第一刻蚀液、第二刻蚀液、第三刻蚀液和第三洗液能够循环使用，节约成本，并能够连续进行玻璃减薄。 [0061]优选地，第一喷淋管41、第二喷淋管42、第三喷淋管43、第四喷淋管44、第五喷淋管45、第六喷淋管46和第七喷淋管47上均设置有多个伞形喷咀(也成为伞形喷头或伞形喷嘴)(图未示)，一个伞形喷咀对应一个喷孔。
[0062]使用伞形喷咀能够使各种洗液和刻蚀液均以伞状喷出，保证能够喷射至待减薄玻璃的表面上。
[0063]优选地，第一喷淋管41、第二喷淋管42、第三喷淋管43、第四喷淋管44、第五喷淋管45、第六喷淋管46和第七喷淋管47上均设置有压力调节阀和压力表(图未示)，可以随时调节和读取调节第一洗液、第一刻蚀液、第二刻蚀液、第三刻蚀液、第二洗液、第三洗液和第四洗液的压力值。
[0064]使用上述玻璃减薄设备100时，待减薄玻璃依次经过第一淋洗槽21、第一刻蚀槽22、第二刻蚀槽23、第三刻蚀槽24、第二淋洗槽25、第三淋洗槽26、第四淋洗槽27中，依次使用第一喷淋管41、第二喷淋管42、第三喷淋管43、第四喷淋管44、第五喷淋管45、第六喷淋管46和第七喷淋管47对待减薄玻璃进行喷淋洗液和刻蚀液对待减薄玻璃进行淋洗和刻蚀，实现对待减薄玻璃的减薄，然后进入干燥槽28中干燥。这种使用上述玻璃减薄设备100在不同的槽中进行喷淋洗涤和刻蚀的减薄方法能够避免浸泡式减薄法中的反应产物粘附于玻璃上的问题，并且依次经过第一刻蚀槽22、第二刻蚀槽23和第三刻蚀槽24的三次刻蚀，能够避免浸泡式刻蚀不均匀的问题。[0065]请再次参阅图1，优选地，玻璃减薄设备100还包括设置于箱体20中的机械臂60。机械臂60与驱动装置连接(图未示)，用于移动待减薄玻璃。优选地，驱动装置为伺服电机，更优选为防腐蚀的伺服电机。
[0066]机械臂60运行的导轨为直线导轨，以和第一淋洗槽21、第一刻蚀槽22、第二刻蚀槽23、第三刻蚀槽24、第二淋洗槽25、第三淋洗槽26、第四淋洗槽27和干燥槽28呈直线式排列相匹配，方便待减薄玻璃的传送，并且直线导轨运行平稳，定位准确。
[0067]请再次参阅图2，优选地，箱体20上设置有多个排风口 216，多个排风口 216与外部抽气系统相连，以防止刻蚀液和洗液挥发到车间内，使操作环境不受刻蚀液和洗液的影响，提高操作的安全性。
[0068]优选地，箱体20上设置有透明推拉窗(图未示)，可以通过透明推拉窗关口具体的操作情况，便于监控。透明推拉窗的材料优选为聚氯乙烯(PVC)，以兼具透明度高和耐腐蚀性好的优点。
[0069]更优选地，玻璃减薄设备100还包括PLC控制系统(图未示)。PLC控制系统与各个控制阀、各个控制泵、各个回流泵和机械臂通讯连接，通过PLC控制系统控制各个控制阀开启和关闭，控制各个控制泵、回流泵和机械臂的工作，实现自动化控制，提高效率。
[0070]请参阅图4，一实施方式的玻璃减薄方法，该方法使用上述玻璃减薄设备100进行玻璃减薄，包括如下步骤。 [0071]步骤SllO:将待减薄玻璃放入上述玻璃减薄设备的第一淋洗槽中，通过第一喷淋管喷淋第一洗液对待减薄玻璃进行一次淋洗。
[0072]用机械臂60将待减薄玻璃放入上述玻璃减薄设备100的第一淋洗槽21中，使待减薄玻璃立式放置并固定于第一淋洗槽21中。关上两个第一盖板212，打开第一喷淋管41上的控制泵，使第一储液槽29中的第一洗液流向第一喷淋管41，并从第一喷淋管41上的多个伞形喷咀喷至待减薄玻璃的表面上，对待减薄玻璃进行淋洗。
[0073]本实施方式中，第一洗液为纯水，用于除去待减薄玻璃表面的灰尘。
[0074]步骤S120:将经过一次淋洗的待减薄玻璃从第一淋洗槽中取出放入第一刻蚀槽中，通过第二喷淋管喷淋第一刻蚀液对待减薄玻璃进行一次刻蚀。
[0075]用机械臂60将经过一次淋洗的待减薄玻璃从第一淋洗槽21中取出，并放置于第一刻蚀槽22中。关上两个第二盖板222，打开第二喷淋管42上的控制泵，使第二储液槽210中的第一刻蚀液流向第二喷淋管42，并从第二喷淋管42上的多个伞形喷咀喷至待减薄玻璃的表面上，对待减薄玻璃进行一次刻蚀。
[0076]本实施方式中，第一刻蚀液为质量浓度为40%的氢氟酸溶液。
[0077]步骤S130:将经过一次刻蚀的待减薄玻璃从第一刻蚀槽中取出放入第二刻蚀槽中，通过第三喷淋管喷淋第二刻蚀液对待减薄玻璃进行二次刻蚀。
[0078]用机械臂60将经过一次刻蚀的待减薄玻璃从第一刻蚀槽22中取出，并放置于第二刻蚀槽23中。关上两个第三盖板232，打开第三喷淋管43上的控制泵，使第三储液槽211中的第二刻蚀液流向第三喷淋管43，并从第三喷淋管43上的多个伞形喷咀喷至待减薄玻璃的表面上，对待减薄玻璃进行二次刻蚀。
[0079]本实施方式中，第二刻蚀液为质量浓度为40%的氢氟酸溶液。
[0080]步骤S140:将经过二次刻蚀的待减薄玻璃从第二刻蚀槽中取出放入第三刻蚀槽中，通过第四喷淋管喷淋第三刻蚀液对待减薄玻璃进行三次刻蚀。
[0081]用机械臂60将经过二次刻蚀的待减薄玻璃从第二刻蚀槽23中取出，并放置于第三刻蚀槽24中。关上两个第四盖板242，打开第四喷淋管44上的控制泵，使第四储液槽212中的第三刻蚀液流向第四喷淋管44，并从第四喷淋管44上的多个伞形喷咀喷至待减薄玻璃的表面上，对待减薄玻璃进行三次刻蚀。
[0082]本实施方式中，第三刻蚀液为质量浓度为40%的氢氟酸溶液。
[0083]步骤S150:将经过三次刻蚀的待减薄玻璃从第三刻蚀槽中取出放入第二淋洗槽中，通过第五喷淋管喷淋第二洗液对待减薄玻璃进行二次淋洗。
[0084]用机械臂60将经过三次刻蚀的待减薄玻璃从第三刻蚀槽24中取出，并放置于第二淋洗槽25中。关上两个第五盖板252，打开第五喷淋管45上的控制泵，使第五储液槽213中的第二洗液流向第五喷淋管45，并从第五喷淋管45上的多个伞形喷咀喷至待减薄玻璃的表面上，对待减薄玻璃进行二次淋洗。
[0085]本实施方式中，第二洗液为纯水，对待减薄玻璃进行二次淋洗以除去经过三次刻蚀的待减薄玻璃表面的刻蚀液和刻蚀产生的多余产物。
[0086]步骤S160:将经过二次淋洗的待减薄玻璃从第二淋洗槽中取出放入第三淋洗槽中，通过第六喷淋管喷淋第三洗液对待减薄玻璃进行三次淋洗。
[0087]用机械臂60将经过二次淋洗的待减薄玻璃从第二淋洗槽25中取出，并放置于第三淋洗槽26中。关上两个第六盖板262，打开第六喷淋管46上的控制泵,使第六储液槽214中的第三洗液流向第六喷淋管46，并从第六喷淋管46上的多个伞形喷咀喷至待减薄玻璃的表面上，对待减薄玻璃进行三次淋洗。
[0088]本实施方式中,第三洗液为质量浓度为5%的氢氧化钠的水溶液。用氢氧化钠的水溶液对待减薄玻璃进行三次淋洗，以除去纯水无法冲走的油污等附着物。
`[0089]步骤S170:将经过三次淋洗的待减薄玻璃从第三淋洗槽中取出放入第四淋洗槽中，通过第七喷淋管喷淋第四洗液对待减薄玻璃进行四次淋洗。
[0090]用机械臂60将经过三次淋洗的待减薄玻璃从第三淋洗槽26中取出，并设置于第四淋洗槽27中。关上两个第七盖板272，打开第七喷淋管47上的控制泵，使第七储液槽215中的第四洗液流向第七喷淋管47，并从第七喷淋管47上的多个伞形喷咀喷至待减薄玻璃的表面上，对待减薄玻璃进行四次淋洗。
[0091]本实施方式中，第二洗液为纯水，对待减薄玻璃进行四次淋洗以除去经过三次淋洗的待减薄玻璃表面的碱和多余的产物。
[0092]步骤S180:将经过四次淋洗的待减薄玻璃从第四淋洗槽中取出放入干燥槽中进行干燥。
[0093]用机械臂60将经过四次淋洗的待减薄玻璃从第四淋洗槽27中取出，并设置于干燥槽28中进行干燥。本实施方式中，干燥的方法为用冷风吹干。
[0094]上述玻璃减薄方法使用上述玻璃减薄设备100进行减薄，经过一次淋洗的待减薄玻璃依次进行一次刻蚀、二次刻蚀和三次刻蚀后，再依次经过二次淋洗、三次淋洗和四次淋洗除去经过三次刻蚀后的待减薄玻璃表面的可能粘附的多余反应产物和刻蚀液，并进行干燥得到减薄后的玻璃。该方法相比于传统的浸泡式减薄法，由于采用喷淋法并依次进行一次、二次和三次刻蚀，能够避免浸泡式减薄法中的反应产物粘附于玻璃上及刻蚀不均匀的问题。
[0095]上述玻璃减薄方法可以很好的控制玻璃薄化后的厚度，凹凸点可以控制在0.08MM以内，表面效果好，无需后期抛光处理，有利于降低制备成本。
[0096]优选地，第一洗液、第一刻蚀液、第二刻蚀液、第三刻蚀液、第二洗液、第三洗液和第四洗液的压力为1.2kgf/cm2~1.8kgf/cm2,更优选为1.5kgf/cm2。在1.2kgf/cm2~
1.8kgf/cm2的压力下，以保证能够将玻璃上的附着物冲洗下来和对玻璃进行刻蚀而实现减薄，且又不至于压力过大而损伤玻璃。
[0097]优选地，第一刻蚀液、第二刻蚀液和第三刻蚀液的喷淋时间为800秒~1200秒，更优选为1000秒。在800秒~1200秒内进行刻蚀，能够较好地控制玻璃的厚度和控制凹凸
点较小。[0098]优选地，第一洗液、第二洗液、第三洗液和第四洗液的喷淋时间为120秒。
[0099]以下为具体实施例。
[0100]实施例1
[0101]第一洗液、第二洗液和第四洗液为纯水,第三洗液为质量浓度为5%的氢氧化钠的水溶液，第一刻蚀液、第二刻蚀液和第三刻蚀液均为质量浓度为40%的氢氟酸。
[0102]第一洗液、第二洗液、第三洗液、第四洗液、第一刻蚀液、第二刻蚀液和第三刻蚀液的压力为1.5kgf/cm2，第一洗液、第二洗液、第三洗液和第四洗液的喷淋时间均为120秒，第一刻蚀液、第二刻蚀液和第三刻蚀液的喷淋时间均为1000秒。
[0103]实施例2
[0104]第一洗液、第二洗液和第四洗液为纯水,第三洗液为质量浓度为5%的氢氧化钠的水溶液，第一刻蚀液、第二刻蚀液和第三刻蚀液均为质量浓度为40%的氢氟酸。
[0105]第一洗液、第二洗液、第三洗液、第四洗液、第一刻蚀液、第二刻蚀液和第三刻蚀液的压力为1.8kgf/cm2，第一洗液、第二洗液、第三洗液和第四洗液的喷淋时间均为120秒，第一刻蚀液、第二刻蚀液和第三刻蚀液的喷淋时间均为1200秒。
[0106]实施例3
[0107]第一洗液、第二洗液和第四洗液为纯水,第三洗液为质量浓度为5%的氢氧化钠的水溶液，第一刻蚀液、第二刻蚀液和第三刻蚀液均为质量浓度为40%的氢氟酸。
[0108]第一洗液、第二洗液、第三洗液、第四洗液、第一刻蚀液、第二刻蚀液和第三刻蚀液的压力为1.2kgf/cm2，第一洗液、第二洗液、第三洗液和第四洗液的喷淋时间均为120秒，第一刻蚀液、第二刻蚀液和第三刻蚀液的喷淋时间均为800秒。
[0109]用游标卡尺测定实施例1、实施例2和实施例3的减薄后的玻璃的表面的凹凸点，凹凸点均控制在0.08MM以内，表面效果好，无需后期抛光处理。
[0110]以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。