专利名称:水平单晶切片用夹具的制作方法晶体生长的方法通常包括直拉法、水平梯度凝固法和垂直梯度凝固法。直拉法和垂直梯度凝固法生长的晶体其横截面是圆形。而采用水平梯度凝固法生长的单晶其横截面通常是“D”形。在化合物半导体单晶生长方面,水平梯度凝固法的应用相当广泛,又称之为水平布里奇曼法,简称HB法。采用水平梯度凝固法生长的单晶称之为水平单晶。化合物半导体水平单晶主要用途是制作光电器件一发光二极管(LED)。用于制作LED衬底的晶片通常是〈100〉晶向,而水平单晶的生长方向通常是〈111〉晶向。因此晶体的生长方向和切片方向(即晶片晶向)呈一定的角度(大约54.7度),而传统内圆切片机其水平加工平台转动角度小于20度,如果直接将水平单晶放置在加工平台上,转动工作台只能加工与(111)面呈20度夹角以内的晶面,达不到加工角度的要求,因此在内圆切片机上需要一种装置解决切片角度问题。水平单晶切片的主要方法有内圆切割和多线切割法。切割开始前均需用石墨将单晶粘接,同时将石墨粘接固定在工作台上,此方法用在批量切片上。而在切少量样片或定向削面时,通常用内圆切割,此时若用石墨粘接的方法,切片前粘接,切片后又要去胶,加工时间长,效率就显得低下了。因此有必要提供一种装置,在切少量样品或定向削面时,能够方便快速完成切片,提高生产效率。发明内容本实用新型的目的在于提供一种水平单晶切片用夹具,采用此夹具可有效提高切割水平单晶样片或定向削面时的效率,解决(100)晶片加工角度问题,同时减少石墨条等材料的消耗,降低成本,减少环境污染。为了达到上述目的,本实用新型采取以下技术方案:这种水平单晶切片用夹具,它包括:固定部分、连接部分及夹头,所述的连接部分为一型钢,型钢一端与固定部分焊接,另一端与夹头焊接,所述的夹头呈半圆形,夹头和连接部分的连接平面与连接部分的中心延长线方向夹角为51 57°,固定部分的另一侧中央设有螺孔,通过连接螺钉连接到工作台上。所述的夹头呈半圆形的半径大于水平单晶的水平宽度I 3mm。本实用新型的优点是:本夹具操作简单快速,在加工化合物半导体水平单晶(100)晶片或(100)面削面时,能有效解决内圆切片机加工转动角度不足的问题,省却石墨粘接步骤,提高加工效率,降低成本。[0010]图1为本实用新型的俯视图;图2为本实用新型的侧视图;图3为本实用新型图1中的A-A面(夹头)的截面图;图4为本实用新型图2中的B-B面(连接部分)的截面图。图5.本夹具安装使用状态图图1、图2、图3、图4、图5中,I为固定部分;2为连接部分;3为夹头;4为紧固螺钉,5为软橡胶垫,6为水平单晶。本实用新型提供了一种水平单晶切片用夹具,下面通过附图说明和对本实用新型做进一步说明。如图1、图2、图3、图4、图5所示,本夹具包括固定部分1、连接部分2、夹头3。固定部分I用于将夹具固定在切片机工作台上。固定部分的另一侧中央设有螺孔,通过连接螺钉连接到工作台上。连接部分2用于连接固定部分I和夹头3,所述的连接部分可为型钢,型钢一端与固定部分焊接,另一端与夹头焊接,夹头3和紧固螺钉4用于将水平单晶夹住。夹头呈半圆形,该半圆半径R大于水平单晶的水平宽度I 3mm。夹头和连接部分的连接平面与连接部分的中心延长线方向夹角为51 57°。上述的型钢可采用等边角钢制作,边厚4+1mm。 所述夹具用于切割2.5 3英寸的水平单晶,如果将单晶直接卡在夹头中,两者之间是硬接触,容易造成单晶破损,因此需要在夹头中垫一块软橡胶垫5再将水平单晶夹住。因为水平单晶和夹头半圆之间需要放入软橡胶垫,所以半圆半径大于水平单晶的水平宽度I 3_即可。如图5所示,将水平单晶的水平面立起来与地平面垂直,然后放入夹头半圆内,两者之间垫上软橡胶垫,然后将夹头的螺钉拧紧,再将夹具固定部分通过螺钉拧紧固定在切片机工作台,即可工作。
水平单晶切片用夹具制作方法
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