消光-光度兼容的椭圆偏振仪制作方法
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专利名称:消光-光度兼容的椭圆偏振仪的制作方法本发明涉及一种带有旋转元件的椭圆偏振仪。椭圆偏振仪是一种测量固体表面和薄膜参数的精密仪器,广泛应用于电子工业、光学薄膜、电化学和生物等一种新型的消光—光度兼容式椭圆偏振仪,其主要特征是它采用一个布置在样品前光路中的可旋转的1/4波片[Q]对光束进行相位调制。
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