专利名称:一种切割硅锭的装置的制作方法在硅锭切割成硅片时,切片的成品率主要是由钢线的带沙能力和碳化硅的切割能力决定的。在切片过程中,由于重力的作用,钢线上的砂浆会向下滴落,并且随着钢线的磨损,其带沙能力也会有所下降;同时,由于降低成本的压力,目前砂浆中的回收沙和回收液使用比例不断升高,这也导致切片能力下降。钢线带沙能力和砂浆的切片能力的下降,会引起硅片的线痕、崩边及缺角等缺陷比例的升高,这都会严重影响硅片的切割良率,这成为制约硅片成本降低的瓶颈之一。
图1为切片前切割硅锭的装置与硅锭的示意图;图2为砂浆槽的结构示意图;图3及图4为切割硅锭的装置的工作状态图。请参考图1,本实施方式提供了一种切割硅锭的装置100,用于对硅锭200进行切片,其包括两个导轮110、布置在两个导轮110上的切割线网120、位于两个导轮110之间的砂浆槽130及位于砂浆槽130下方的升降装置140。请参考图1和图2,砂浆槽130可以为长方体结构。砂浆槽130的侧面上部开设有进料孔132,侧面底部开设有泄砂孔134。使用时,进料孔132用以向砂浆槽130中加注砂浆,泄砂孔134用于排除砂浆,使砂浆槽130内的砂浆量能保持动态平衡,使砂浆的切割能力维持在需要的标准。需要指出,进料孔132及泄砂孔134的角色可以互换,即进料孔132用以排出砂浆,而自泄砂孔134处加注砂浆。另外,需要指出,进料孔132及泄砂孔134可以均用以排出砂浆,需要添加砂浆时可以利用喷嘴等工具直接向槽内添加砂浆,也可以使砂浆槽130内的砂浆量保持动态平衡。另外,还可以是在砂浆槽130的底面设置开口,供进砂或排砂。砂浆槽130的槽底还可以设置楔形斜坡,防止砂浆沉淀,利于砂浆排出。可以理解,砂浆槽130的槽内尺寸与待切割的硅锭有关,无需赘述。请参考图1,砂浆槽130下方的升降装置140用以在切片时带动砂浆槽130上升,使切割线网120位于砂浆槽130的砂浆中。关于此点,后文中将进一步描述。升降装置140可以是液压升降机构或其他类型的升降机构。本实施方式还提出了一种切割硅锭的方法,首先在布置有切割线网的两个导轮之间设置装有砂浆的砂浆槽,也即组合成上述切割硅锭的装置100,然后利用上述切割线网120对硅锭进行切片,在切片过程中切割线网120的切割面位于砂浆液面以下,同时砂浆槽130中的砂浆量保持动态平衡,使砂浆维持必要的切割能力。下面结合实施例说明上述方法是如何实现的。实施例1首先在布置有切割线网120的两个导轮110之间设置装有砂浆的砂浆槽130。本实施例中,砂浆槽130位于两个导轮110之间,并固定在切片机上,待切片小方锭200尺寸为 156 X 156 X 1000mm,砂浆槽 130 的槽内尺寸为 210 X 250 X 1100mm。接下来,利用切割线网120对硅锭进行切片,切片时使切割线网120浸没在砂浆槽130的砂浆中,并且使砂浆槽130中的砂浆量保持动态平衡。本实施例中,砂浆从砂浆槽130上面的切割线网120进入砂浆槽130中,从砂浆槽130侧面底部的泄砂孔134排出,砂浆槽130中充满砂浆时,保持砂浆的排出量与流入量相同,即砂浆槽130中的砂浆量保持动态平衡。请参考图3,切片时,利用升降装置140将砂浆槽130提升,使得切割线网120切割砂浆槽130侧面约IOmm后停止上升。切割时,切割线网120浸没在砂浆槽130的砂浆中,硅锭的切割面位于砂浆液面以下。切片后,通过对硅锭的检测,硅片的线痕、崩边等由于切割力引起的缺陷比例总和降低3个百分点,切片良率提高了 5.5个百分点。实施例2首先在布置有切割线网120的两个导轮110之间设置装有砂浆的砂浆槽130。本实施例中,待切片小方锭200尺寸为125X 125X800mm,砂浆槽130的槽内尺寸为200X 135X900mm,砂浆槽130的上沿与切割线网120平齐。接下来,利用切割线网120对硅锭进行切片,切片时使切割线网120浸没在砂浆槽130的砂浆中,并且使砂浆槽130中的砂浆量保持动态平衡。本实施例中,砂浆从砂浆槽130的侧面上部的进料孔132进入砂浆槽130中,从砂浆槽130侧面底部的泄砂孔134排出,砂浆槽130中充满砂浆时,保持砂浆的排出量与流入量相同,即砂浆槽130中的砂浆量保持动态平衡。请参考图4,切片时,硅锭切割阻力使切割线网120产生向下的线网线弓,从而切割线网120浸没在砂浆槽130的砂浆中,硅锭的切割面位于砂浆液面以下。切片后,通过对硅锭的检测,硅片的线痕、崩边等由于切割力引起的缺陷比例总和降低2.5个百分点,切片良率提高了 5个百分点。综上,上述切割硅锭的方法及装置,切片时切割线网浸没在砂浆槽的砂浆中,并且砂浆槽的砂浆量保持动态平衡,可以明显提高钢线的带沙能力和砂浆的切割能力,降低由于切割能力不足引入的线痕等缺陷的比例,可以将现有的切片成品率提高5个百分点以上,从而降低娃片的生产成本。以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本实用新型的保护范围。因此,本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
一种切割硅锭的装置制作方法
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