专利名称：在线等离子清洗机真空提升系统的制作方法LED (发光二极管)引线框架表面的微颗粒、有机物及表面氧化物等污染物无法采 用传统的清洗方法去除，现采用射频等离子清洗技术，等离子清洗机在清洗LED (发光二极 管))引线框架时一般为批量进行，现有设备存在自动化程度低容易造成二次污染的问题。发明内容本实用新型提供的在线等离子清洗机真空提升系统解决了现有的设备存在自动 化程度低容易造成二次污染的问题。本实用新型是通过以下方案解决以上问题的一种在线等离子清洗机真空提升系统，包括门字形的立板支架，在门字形的立板 支架上设置有垂直上下方向的导轨，在导轨上活动设置有连接板，该连接板与固定设置在 门字形的立板支架的背面上的提升气缸的活塞杆连接在一起，在连接板的前面板上固定设 置有一对L形悬臂，在L形悬臂的端部悬挂有反应仓上盖，反应仓上盖通过密封圈与反应仓 下盖扣接在一起，反应仓上盖与反应仓下盖扣接组成反应仓，在反应仓上盖上设置有气动 角阀，在反应仓内设置有电源正极板，电源正极板与反应仓的侧壁上设置的电源正极引入 端固定连接在一起，在反应仓的侧壁上设置有等离子清洗气体的进气阀，在电源正极板与 反应仓的内侧壁之间设置有分离电源正负极的绝缘条，在反应仓上设置有真空测量仪。在所述的提升气缸的活塞杆上设置有缓冲器，在反应仓下方的连接板上设置有安 全销。本实用新型保证仓体盖体上下活动自如，避免了二次污染，提高了自动化清洗质量。图1为本实用新型的结构示意图图2为本实用新型的反应仓上盖的结构示意图以下结合附图对本实用新型进行说明一种在线等离子清洗机真空提升系统，包括门字形的立板支架1，在门字形的立板 支架1上设置有垂直上下方向的导轨5，在导轨5上活动设置有连接板，该连接板与固定设 置在门字形的立板支架1的背面上的提升气缸4的活塞杆连接在一起，在连接板的前面板 上固定设置有一对L形悬臂8，在L形悬臂8的端部悬挂有反应仓上盖3，反应仓上盖3通过密封圈7与反应仓下盖2扣接在一起，反应仓上盖3与反应仓下盖2扣接组成反应仓，在 反应仓上盖3上设置有气动角阀13，在反应仓内设置有电源正极板12，电源正极板12与反 应仓的侧壁上设置的电源正极引入端14固定连接在一起，在反应仓的侧壁上设置有等离 子清洗气体的进气阀15，在电源正极板12与反应仓的内侧壁之间设置有分离电源正负极 的绝缘条11，在反应仓上设置有真空测量仪10。 在所述的提升气缸4的活塞杆上设置有缓冲器6，在反应仓下方的连接板上设置 有安全销9。