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玻璃板的制造方法以及玻璃板制造装置制作方法

  • 专利名称
    玻璃板的制造方法以及玻璃板制造装置制作方法
  • 发明者
    苅谷浩幸
  • 公开日
    2012年12月5日
  • 申请日期
    2012年3月19日
  • 优先权日
    2011年3月28日
  • 申请人
    安瀚视特股份有限公司
  • 文档编号
    C03B17/06GK102811959SQ20128000055
  • 关键字
  • 权利要求
    1.一种玻璃板的制造方法,该玻璃板的制造方法采用了下拉法,其特征在于, 该玻璃板的制造方法具备下述工序 按压工序,在按压工序中,以限制由成形体的升温引起的成形体的相对位置偏移的方式沿所述成形体的一个方向按压所述成形体; 升温工序,在升温工序中,利用升温装置使被按压的所述成形体的周边温度升温; 熔解工序,在熔解工序中,将玻璃原料熔解成熔融玻璃; 成形工序,在成形工序中,利用升温了的所述成形体将所述熔融玻璃成形为薄板玻璃;以及 切断工序,在切断工序中,切断所述薄板玻璃而形成玻璃板2.(现权利要求I) 根据权利要求I所述的玻璃板的制造方法,其中, 所述成形体在一个方向较长, 在所述按压工序中,隔着分别对所述成形体的长度方向的两侧端进行支承的支承部件按压所述成形体3.根据权利要求I或2所述的玻璃板的制造方法,其中, 在所述升温工序中,所述成形体的周边的温度以5°C 30°C /h的升温速度升温4.根据权利要求I 3中的任意一项所述的玻璃板的制造方法,其中, 所述玻璃板的板厚在0. 5mm以下5.根据权利要求I 4中的任意一项所述的玻璃板的制造方法,其中, 所述玻璃板的翅起不足0. 2mm6.根据权利要求I 5中的任意一项所述的玻璃板的制造方法,其中, 在所述按压工序中,通过对所述支承部件施加从所述成形体的外侧朝向所述成形体侧的载荷,来按压所述成形体7.根据权利要求I 6中的任意一项所述的玻璃板的制造方法,其中, 所述玻璃板是平板显示器用的玻璃板8.根据权利要求I 7中的任意一项所述的玻璃板的制造方法,其中, 所述玻璃板所采用的玻璃的失透温度为1050°C 1250°C9.根据权利要求I 8中的任意一项所述的玻璃板的制造方法,其中, 所述玻璃板分别含有50 70质量百分比的Si02、0 15质量百分比的B203、5 25质量百分比的A1203、0 10质量百分比的Mg0、0 20质量百分比的Ca0、0 20质量百分比的Sr0、0 10质量百分比的BaO、5 20质量百分比的RO (R为从Mg、Ca、Sr和Ba中选择出的、所述玻璃板所含有的至少一种成分)10.根据权利要求I 9中的任意一项所述的玻璃板的制造方法,其中, 所述玻璃板所采用的玻璃的应变点在675°C以上11.一种玻璃板制造装置,该玻璃板制造装置是采用下拉法的玻璃板制造装置,在所述下拉法中,使流入成形体的熔融玻璃从所述成形体溢流出来,然后使所述溢流出来的熔融玻璃在所述成形体的下端部合流,由此成形为薄板玻璃,所述玻璃板制造装置的特征在于, 该玻璃板制造装置具备 支承部件,所述支承部件支承所述成形体的一个方向上的两侧端;升温装置,所述升温装置使所述成形体的周边的温度升温; 加压装置,所述加压装置从所述成形体的所述两端部的至少一方隔着所述支承部件按压所述成形体;以及 控制部,所述控制部进行控制,使得在利用所述升温装置使所述成形体的周边的温度升温之前利用所述加压装置进行对所述成形体的按压
  • 技术领域
    本发明涉及玻璃板的制造方法以及玻璃板制造装置
  • 背景技术
  • 专利详情
  • 全文pdf
  • 权力要求
  • 说明书
  • 法律状态
专利名称:玻璃板的制造方法以及玻璃板制造装置的制作方法以往,存在利用下拉(downdraw)法等各种方法制造玻璃板的方法。例如,在作为制造玻璃板的一个方法的溢流下拉法中,首先,使流入到成形体的熔融玻璃从成形体溢流出来。接着,使溢流出来的熔融玻璃在成形体的下端部合流而成形为连续的薄板状的玻璃(薄板玻璃)。另外,在成形体的下端部合流而成的薄板玻璃继而被搬送到下方。接着,薄板玻璃被切断成预期的大小而成为玻璃板。在此,为了应对由自重或高温的熔融玻璃的重量等引起的蠕变,成形体的下端部 大多受到支承。例如,在专利文献I (日本专利第4193115号公报)所公开的发明中,在流量调节结构体(相当于成形体)的长度方向的两侧端的下端部分别配置有用于支承流量调节结构体的支承部件。并且,一个支承部件受到加压装置加压。
发明要解决的课题一般来说,由于成形时的熔融玻璃是高温的,因此在作业前使成形体的周边的温度升高,使得成形体的温度上升。然而,加压装置对支承部件的加压和成形体的周边的温度的升温会造成成形体的位置偏移、即相对于成形装置内的其他构成部件的相对位置偏移,通过由该位置偏移引起的薄板玻璃的搬送路径的偏移,有可能使受到的来自辊的牵引力不均匀。由此,可能导致玻璃板的质量降低,例如使得玻璃板的翘起或玻璃板的板厚偏差增大。而且,近年来,使用下拉法制造出的玻璃板存在薄型化的趋向。在此,越是薄的玻璃板,则越容易因小的应力而变形。因此,越是薄的玻璃板,由成形体的位置偏移(相对于成形装置内的其他构成部件的位置偏移)引起的玻璃板的变形的问题越是显著,其中所述成形体的位置偏移是因升温至高温而发生的。在上述的专利文献I中,由于并未考虑上述成形体的位置偏移,因此存在着无法充分地防止由成形体的位置偏移引起的玻璃板的翘起等变形的问题。近年来,在液晶显示器或有机EL (Electro-Luminescence,电致发光)显示器等平板显示器(也称为FPD (Flat Panel Display))中,不断追求画面显示的高清晰化和轻量化。为了实现平板显示器的轻量化,也在追求FH)所包含的玻璃板的轻量化,因此玻璃板存在着进一步薄板化的趋向。另一方面,为了实现FPD的画面显示的高清晰化,也在追求上述的玻璃板的翘起等变形和玻璃板的板厚偏差的进一步减小。这样,对液晶显示器或有机EL显示器等FPD用玻璃板要求兼顾薄型化和减少翘起,不过存在着越是薄的玻璃板则包括翘起的变形越大的问题。因此,本发明的课题在于提供一种玻璃板的制造方法以及玻璃板制造装置,能够进一步抑制玻璃板的质量的降低(例如,玻璃板的包括翘起的变形或玻璃板的板厚偏差的增大)。用于解决课题的方案本发明涉及的玻璃板的制造方法为一种采用了下拉法的玻璃板的制造方法,其包括按压工序、升温工序、熔解工序、成形工序和切断工序。在按压工序中,以限制由成形体的升温引起的成形体的相对位置偏移的方式沿所述成形体的一个方向按压所述成形体。在升温工序中,利用升温装置使被按压的成形体的周边温度升温。在熔解工序中,将玻璃原料熔解成熔融玻璃。在成形工序中,利用升温了的成形体将熔融玻璃成形为薄 板玻璃。在切断工序中,切断薄板玻璃而形成玻璃板。在此,能够进一步抑制玻璃板的质量的降低。优选的是,所述成形体在一个方向较长,在所述按压工序中,隔着分别对所述成形体的长度方向的两侧端进行支承的支承部件按压所述成形体。而且,优选的是,在升温工序中,成形体的周边的温度以5°C 30°C /h的升温速度升温。而且,优选的是,玻璃板的板厚在O. 5mm以下。而且,优选的是,玻璃板的翘起不足O. 2mm。而且,优选的是,在按压工序中,通过对支承部件施加从成形体的外侧朝向成形体侧的载荷来按压成形体。而且,优选的是,所述玻璃板是液晶显示器用或者有机EL显示器用的玻璃板。而且,所述玻璃板所采用的玻璃的失透温度为1050°C 1250°C。而且,优选的是,所述玻璃板分别含有50 70质量百分比的Si02、0 15质量百分比的B203、5 25质量百分比的A1203、0 10质量百分比的Mg0、0 20质量百分比的Ca0、0 20质量百分比的Sr0、0 10质量百分比的Ba0、5 20质量百分比的RO (R为从Mg、Ca、Sr和Ba中选择出的、玻璃板所含有的所有成分中的至少一种)。并且,优选的是,所述玻璃板所采用的玻璃的应变点在675°C以上。 本发明涉及的玻璃板制造装置的前提是采用下拉法的玻璃板制造装置,在所述下拉法中,使流入成形体的熔融玻璃从成形体溢流出来,然后使溢流出来的熔融玻璃在成形体的下端部合流,由此成形为薄板玻璃。玻璃板制造装置具备支承部件、升温装置、加压装置和控制部。支承部件支承成形体的一个方向上的两侧端。升温装置使成形体的周边的温度升温。加压装置从成形体的两端部的至少一方隔着支承部件按压成形体。控制部进行控制,使得在利用升温装置使成形体的周边的温度升温之前利用加压装置进行对成形体的按压。在该玻璃板制造装置中,能够进一步抑制玻璃板的质量的降低,例如能够进一步抑制玻璃板的包括翘起的变形的增大和玻璃板的板厚偏差的增大。发明效果本发明能够进一步抑制玻璃板的质量的降低,例如能够进一步抑制玻璃板的包括翘起的变形的增大和玻璃板的板厚偏差的增大。图I是本实施方式涉及的玻璃板的制造方法的流程图。图2是主要示出玻璃板制造装置所包含的熔解装置的示意图。图3是玻璃板制造装置所包含的成形装置和配置于成形装置周边的设备和部件的、沿与水平面垂直的方向剖开的情况下的剖视图。图4是成形体的概要的主示意图。图5是用于示出从正面观察成形体的情况下的第二加热器的配置的示意图。图6是变形例IA涉及的成形体的概要的主示意图。图7是变形例IB涉及的成形体的概要的主示意图。 下面,一边参考附图一边说明采用本实施方式涉及的玻璃板制造装置100制造玻璃板的玻璃板的制造方法。( I)玻璃板的制造方法的概要图I是本实施方式涉及的玻璃板的制造方法的一部分的流程图。下面,采用图I说明玻璃板的制造方法。如图I所示,玻璃板经过包括熔解工序STI、澄清工序ST2、均质化工序ST3、供给工序ST4以及成形工序ST5的多种工序而被制造出来。下面,对这些工序详细说明。在熔解工序STl中,加热玻璃原料使其熔解。玻璃原料由Si02、A1203等成分构成。完全熔解后的玻璃原料成为熔融玻璃。在澄清工序ST2中,使熔融玻璃澄清。具体来说,将熔融玻璃中所含有的气体成分从熔融玻璃中放出,或者将熔融玻璃中含有的气体成分吸收到熔融玻璃中。在均质化工序ST3中,使熔融玻璃均质化。另外,在该工序中,对澄清完成后的熔融玻璃进行温度调整。在供给工序ST4中,将熔融玻璃供给到用于对熔融玻璃进行成形的成形装置300(后述)。在该工序中,冷却熔融玻璃以达到适于开始薄板玻璃SG(参考图3)的成形的温度。在成形工序ST5中,将熔融玻璃成形为薄板状的薄板玻璃SG。在本实施方式中,熔融玻璃通过溢流下拉法而连续地成形为薄板状,从而成为薄板玻璃SG。然后,在切断工序中,将薄板玻璃SG每隔预定的长度切断,成为玻璃板G (参考图3)。另外,此后,在切断工序中被切断为预定的长度的玻璃板G被进一步切断,在进行了磨削和研磨、清洗、检查后成为玻璃板(单独称为玻璃板而不附加标号意味着最终制造得到的玻璃板),并且应用于例如液晶显示器等平板显示器等的制造中。(2)玻璃板制造装置100的概要图2是主要示出玻璃板制造装置100所包含的熔解装置200的示意图。图3是玻璃板制造装置100所包含的成形装置300和配置于成形装置300的周边的设备和部件的、沿与水平面垂直的方向剖开的情况下的剖视图。下面,对玻璃板制造装置100进行说明。玻璃板制造装置100主要具有熔解装置200 (参考图2)和成形装置300 (参考图2和图3)。(2-1)熔解装置200的结构熔解装置200是用于进行熔解工序ST1、澄清工序ST2、均质化工序ST3和供给工序ST4的装置。如图2所示,熔解装置200具有熔解槽201、澄清槽202、搅拌槽203、第一配管204和第二配管205。熔解槽201是用于熔解玻璃原料的槽。在熔解槽201进行熔解工序STl。澄清槽202是用于从在熔解槽201熔解了的玻璃中除去气泡的槽。通过在澄清槽202中对从熔解槽201送入的熔融玻璃进一步加热,从而促进了熔融玻璃中的气泡的脱泡。在澄清槽202进行澄清工序ST2。搅拌槽203具有搅拌装置,所述搅拌装置包括收纳熔融玻璃的容器、旋转轴和安装于所述旋转轴的多个搅拌翼。作为容器、旋转轴和搅拌翼,例如可以应用由钼等钼族元素或钼族元素合金制成的部件,不过并不特别限定。通过利用驱动部(未图示)的驱动使旋转轴旋转,安装于旋转轴的搅拌翼搅拌熔融玻璃。在搅拌槽203进行均质化工序ST3。
第一配管204和第二配管205例如是由钼或钼合金制成的配管。第一配管204是连接澄清槽202和搅拌槽203的配管。第二配管205是连接搅拌槽203和成形装置300的配管。(2-2)成形装置300的结构成形装置300是用于进行成形工序ST5的装置。如图3所示,成形装置300具有成形体310、冷却辊330、330以及送给辊350a 350h。下面,对这些结构进行说明。(2-2-1)成形体 310图4是成形装置300包含的成形体310的概要主视图。如图3所示,成形体310位于成形装置300的上方部分,并且具有使从熔解装置200流过来的熔融玻璃成形为薄板状的玻璃(即薄板玻璃SG)的功能。成形体310的沿垂直方向剖开得到的剖面形状具有楔形形状,并且成形体310由例如具有耐火性的砖构成。如图4所示,在成形体310,在熔融玻璃流动的方向(下面称作第一方向)的上游侧形成有供给口 311。从熔解装置200流过来的熔融玻璃通过该供给口 311供给到成形体310(成形装置300)。如图3或图4所示,在成形体310,沿成形体310的长度方向形成有向上方敞开的槽部312。槽部312形成为随着从第一方向的上游侧朝向第一方向的下游侧而逐渐变浅。另外,在成形体310的第一方向的上游侧部分和下游侧部分分别配置有作为检测成形体310的温度的检测构件的成形体温度传感器(未图示)。在成形体310,在槽部312中溢流出来的熔融玻璃沿成形体310的两侧面流向下方,并在下端部313合流。在下端部313合流后的熔融玻璃此后成为薄板状的薄板玻璃板SG并进一步流向下方。(2-2-2)冷却辊 330、330冷却辊330、330配置在成形体310的下方。而且,冷却辊330、330配置在薄板玻璃板SG的厚度方向的两侧,且配置在薄板玻璃板SG的宽度方向的两侧部。冷却辊330、330通过与在成形体310的下端部313合流后的薄板玻璃板SG接触从而冷却所述薄板玻璃板SG。而且,冷却辊330、330在将薄板玻璃板SG拉伸成预期的厚度的同时,冷却薄板玻璃板SG的两端部使其高粘度化,抑制薄板的宽度方向的收缩。
(2-2-3 )送给辊 350a 350h送给辊350a 350h在冷却辊330、330的下方沿上下方向隔开预定的间隔地配置。而且,送给棍350a 350h配置在薄板玻璃板SG的厚度方向的两侧,并且向铅直方向下方牵引薄板玻璃板SG。由此,进行退火以使薄板玻璃板SG从粘性域经粘弹性域向弹性域推移。(2-3)配置于成形装置300的周边的设备和部件玻璃板制造装置100除了熔解装置 200和成形装置300以外还具有下述的部件和
设备等。(2-3-1)分隔部件 320、320如图3所示,分隔部件320、320是配置在成形体310的下端部313附近的板状的部件。具体来说,分隔部件320、320配置在成形体310与冷却辊330、330之间。分隔部件320,320以呈大致水平的方式配置在薄板玻璃板SG的厚度方向的两侧。分隔部件320、320作为隔热材料发挥作用。即,分隔部件320、320通过将其上下的空间分隔开从而抑制热从分隔部件320、320的上侧向下侧移动。(2-3-2 )隔热部件 340a 340h隔热部件340a 340h是板状的部件,其在冷却辊330、330的下方沿上下方向隔开预定的间隔地进行配置,并且与各个送给辊350a 350h沿上下方向交替地进行配置。隔热部件340a 340h以呈大致水平的方式配置在薄板玻璃板SG的厚度方向的两侧。通过设置多个隔热部件,增加了能够独立控制的空间(多个隔热部件中上下相邻的隔热部件彼此之间的空间),退火条件的调整变得容易。即,能够高效地抑制玻璃板发生内部应变。(2-3-3)第一加热器(未图示)第一加热器是使薄板玻璃板SG的附近的气氛温度升温的设备,其沿上下方向和薄板玻璃板SG的宽度方向配置有多个。第一加热器用于恰当地进行对由送给辊350a 350h牵引的薄板玻璃板SG的温度控制。(2-3-4)第二加热器 380图5是用于示出从正面观察成形体310的情况下的第二加热器380的配置的图。第二加热器380作为通过使成形体310的周边的温度(下面称作周边温度)升温来间接地使成形体310的温度升温的升温装置发挥作用。另外,周边温度包括包围成形体310的空间的气氛温度。如图5所示,第二加热器380在成形体310的附近配置有多个。由此,能够使成形体310的表面温度大致均匀地升温,能够降低由热冲击导致的成形体310的破损的发生,该热冲击由因升温时的成形体310的局部温度差产生的应力引起。(2-3-5)第一支承部件410和第二支承部件420如图4所示,为了防止成形体310的中央部的下方部分的蠕变,第一支承部件410和第二支承部件420以与成形体310的长度方向的两侧端的下方部分接触的方式分别进行配置。由此来支承成形体310的长度方向的两侧端的下方部分。下方部分指的是比在成形体310产生的弯曲力矩的中立线(或者中立面)靠下方的部分。另外,一般来说,成形体的蠕变被认为是因其自重或高温的熔融玻璃的重量等而产生的。第一支承部件410和第二支承部件420使用了例如与构成成形体310的砖的热膨胀系数不同的砖,不过并不限定于此。(2-3-6)加压装置
在加压装置中使用了气缸。加压装置是通过对第一支承部件410和第二支承部件420中的一方加压而对第一支承部件410和第二支承部件420施加载荷的加压装置。在本实施方式中,在第二支承部件420的附近配置加压装置422。具体来说,加压装置422隔着耐热性高的板部件421配置在第二支承部件420的靠成形体310的长度方向的外侧的位置。另外,为了在加压装置422对第二支承部件420加压的时候对成形体310施加长度方向的压缩应力,在不被加压的支承部件(在此为第一支承部件410)的附近配置有用于对不被加压的支承部件进行固定的固定部件和设备。在本实施方式中,在不被加压的第一支承部件410的附近配置有固定部件和设备511。更为具体地来说,固定部件和设备511隔着耐热性高的板部件411配置在第一支承部件410的靠成形体310的长度方向的外侧的位置。由此,在第一支承部件410和第二支承部件420中的至少一方被加压的情况下,不被加压的支承部件(在此为第一支承部件410)受到来自固定部件或固定设备(在此为固定 部件和设备511)的反作用力(在此为图4所示的箭头P1)。即,第一支承部件410和第二支承部件420成为由加压装置422施加了朝向成形体310侧的载荷(图4所示的箭头P1、P2)的状态。因而,成形体310成为隔着第一支承部件410和第二支承部件420被从成形体310的长度方向的外侧按压的状态。(3)控制装置(未图示)控制装置由CPU、ROM、RAM、硬盘等构成。控制装置对第一加热器、第二加热器380、加压装置422和用于驱动冷却辊330、330或送给辊350a 350h的驱动马达(未图示)等进行控制。即,控制装置作为控制上述设备的控制部发挥作用。控制装置也能够接受来自用户的输入而进行各种控制。而且,控制装置可以仅设置例如一个,也可以设置分别控制上述驱动马达、上述加热器和加压装置的多个控制装置。对于第二加热器380和加压装置422的控制在后面叙述。(4)成形装置300中的薄板玻璃板SG的成形下面,对在成形装置300中使薄板玻璃板SG成形的过程进行说明。首先,如图4所示,从熔解装置200通过供给口 311供给到成形体310的熔融玻璃流到成形体310的槽部312。接着,所述熔融玻璃在槽部312溢流出来。在槽部312溢流出来的熔融玻璃沿成形体310的两侧面向下方流动,并且如图3所示地在下端部313合流。然后,在下端部313合流后的熔融玻璃成为薄板状的薄板玻璃板SG并进一步向下方流下。利用配置在薄板玻璃板SG的厚度方向的两侧的冷却辊330、330夹持薄板玻璃板SG的宽度方向的两端部向铅直方向下方下拉并且冷却薄板玻璃板SG。利用冷却辊330、330下拉了的薄板玻璃板SG由送给棍350a 350h进一步向下方下拉。然后,由送给棍350a 350h下拉了的薄板玻璃板SG每隔预定的长度被切断。(5)成形体310的设置成形体310的设置以下述方式进行考虑到冷却辊330、330和送给辊350a 350h等的位置,使成形体310位于应正常地安装的第一位置。具体来说,第一位置例如通过将线固定在成形体310的下端部313并使所述线向铅直下方垂下来确定。更为具体地来说,第一位置是使得从成形体310的下端部313向下方垂下的线不与分隔部件320、320、冷却辊330、330、隔热部件340a 340h和送给辊350a 350h等接触而直通至将薄板玻璃板SG切断的空间为止的位置。另外,第一位置的确定方法并不限定于此。另外,在设置成形体310后,使预先配置在成形体310的长度方向的两侧方的第一支承部件410和第二支承部件420与成形体310的两侧端的下方部分接触。具体来说,通过控制加压装置422来对第一支承部件410和第二支承部件420施加载荷,将第一支承部件410和第二支承部件420按压在成形体310。即,成形体310被沿一个方向按压。具体来说,成形体310被隔着第一支承部件410和第二支承部件420从长度方向的外侧按压。另外,优选的是,加压装置422对第二支承部件420的加压开始的时机为成形体310的温度达到室温(指例如O 30°C左右)或者接近室温。例如,考虑施工者的作业效率的话,优选的是,成形体310的温度在150°C以下,更为优选在100°C以下、80°C以下、50°C以下、30°C以下、25°C以下。并且,在利用加压装置422对第二支承部件420施加了预定的压力的状态下,再次 确认成形体310的位置是否是第一位置。此时,在成形体310的位置相对于第一位置偏移了(包括倾斜)的情况下,停止加压装置422,通过例如向成形体310与第一支承部件410或第二支承部件420之间添加胶合剂等来调整成形体310的位置。另外,成形体310的位置的调整方法并不限定于此。另一方面,在成形体310配置于第一位置的情况下,在由加压装置422对第二支承部件420施加有预定的压力的状态下(即,在成形体310被按压着的状态下),开始成形体310的升温处理。(6)成形体310的升温在成形体310被设置于第一位置并由加压装置422以及固定部件和设备511按压着的状态下,控制装置利用第二加热器380控制成形体310的周边温度以使成形体310的温度达到预定的温度(例如,1000°C 1200°C)。即,控制装置基于成形体310的温度来控制第二加热器380。这是因为,在作业开始后流到成形体310的熔融玻璃处于大约1000°C 1400°C的高温,因此需要预先使成形体310的温度升温。在此,成形体310的周边温度以预定的升温速度升温。另外,成形体310的周边温度和成形体310的表面温度为大致相同的温度。即,也可以说,成形体310的表面温度以预定的升温速度升温。优选的是,预定的升温速度为5°C 30°C /h。升温速度的上限优选为30°C /h是为了抑制由热冲击引起的成形体的破损。另外,更为优选的升温速度的上限依次为10°c /h、12°C /h、15°C /h。在该情况下,由于成形体310的表面与内部的温度差不会变得过大,因此能够进一步降低成形体310的破损的可能性。而且,成形体的周边温度的升温时间较长的话,有可能对玻璃板的生产率产生影响,因此为了避免这一情况,升温速度的下限优选为5°C/h。另外,更为优选的是,升温速度的下限为7V /h。在该情况下,能够进一步提高玻璃板的生产率。(7)玻璃板的优选的形态下面对采用本发明制造出的玻璃板的优选的形态进行说明。另外,并不限定于下述的形态。玻璃板的厚度优选为O. Imm 3mm。进而,作为平板显示器用的玻璃板优选为O. 01 I. 0mm。并且,按照优选的顺序来说,更为优选的上限值依次为O. 4mm、0. 5mm、0. 8mm、I. Omm、I. 5mm。并且,按照优选的顺序来说,更为优选的下限值依次为0. 3mm、0. 2mm。例如,对于平板显示器用的玻璃板来说,出于追求轻量化和薄板化的原因,玻璃板的厚度越薄则越为优选。另一方面,玻璃板的厚度越薄则在显示器制造工序中玻璃板越容易发生破损。考虑到这些情况,平板显示器用的玻璃板的厚度优选为O. 01 I. Omm,更优选为O. I O. 8mm,进而优选为O. 2 O. 8_。其中,玻璃板的厚度在O. 5mm以下,特别是不到O. 5mm的话,成形体的位置偏移对玻璃板的变形或破损的影响比较显著。通过因成形体的位置偏移而产生的、辊(冷却辊和送给辊)对玻璃板施加的牵引力的偏差,在玻璃板产生应力分布,在最差的情况下会导致玻璃板的变形或破损,不过在厚度为O. 5mm以下的玻璃板的情况下,即使是小的应力分布也容易发生变形和破损。即,玻璃板的厚度越是不到O. 5mm、甚至为O. 4mm以下,则抑制成形体的位置偏移的本发明的效果越显著。即,玻璃板的厚度在O. Olmm以上O. 5mm以下的话,本发明的效果变得显著,所述玻璃板的厚度在O. Olmm以上且不到O. 5mm的话,本发明的效果更为显著,所述玻璃板的厚度在O. Olmm以上O. 4mm以下的话,本发明的效果还要更为显著。 而且,玻璃板的板厚偏差优选为O 20 μ m。并且,按照优选的顺序来说,更为优选的玻璃板的板厚偏差的上限值依次为5 μ m以下(例如O 5 μ m)、10 μ m以下(例如O 10 μ m)。在本发明中,能够实现这样的板厚偏差。而且,优选的是,在进行测定的情况下,玻璃板的翘起的最大值在O至O. 2mm的范围。并且,按照优选的顺序来说,更为优选的玻璃板的翘起的上限值依次为O. Olmm以下(O O. 01mm)、0. 05mm 以下(O O. 005mm)、0. Imm 以下(O O. lmm)、0. 15mm 以下(O O. 15mm)0对玻璃板的翘起的测定进一步详细地进行说明,首先,从玻璃板切下多枚小板(大约400mm见方)。接着,针对各个小板,在正反面分别测定角部的4个部位和中央部的4个部位之间的翘起(即,测定共计16个部位的翘起)。例如,在测定了 8枚小板的翘起的情况下,得到16个部位X8枚、S卩128个部位的翘起的测定数据。并且,优选的是,所述测定数据中的最大值处于上述范围。另外,在本实施方式中,将在多个小板中测定的翘起的最大值作为玻璃板的翘起量。而且,玻璃板的大小优选为,宽度方向的长度为500mm-3500mm,长度方向的长度为500mm-3500mmo而且,玻璃板的种类优选为硼硅酸盐玻璃、铝硅酸盐玻璃、硼铝硅酸盐玻璃、钠钙玻璃、碱硅酸盐玻璃、碱铝硅酸盐玻璃、碱铝锗酸盐玻璃。而且,玻璃板优选用作平板显示器(液晶显示器、有机EL显示器、或者等离子显示器等)用的玻璃板、太阳能电池用的面板、罩玻璃。另外,罩玻璃指的是例如为了保护AV设备(便携终端等)的显示画面或箱体而对玻璃板进行了化学或物理强化的强化玻璃。在此,近些年,液晶显示器或有机EL显示器正在追求高精度的画面显示,因此要求减小用于液晶显示器或有机EL显示器的玻璃板的翘起和板厚的偏差。为此,能够抑制成形体的位置偏移并减小玻璃板的翘起和板厚偏差的本发明更为优选。而且,对于作为显示部等的罩等使用的罩玻璃追求较高的表面质量。为此,用于罩玻璃的玻璃板追求减小翘起和板厚偏差,因此能够抑制成形体的位置偏移并减小玻璃板的翘起和板厚偏差的本发明更为优选。而且,作为平板显示器(液晶显示器或等离子显示器等)用的玻璃基板,举例示出包含以质量百分比表示的下述成分的玻璃板。下述括号内所显示的是各成分的优选含量。以下,符号%意味着质量百分比。Si02 :50 70% (55 65%,57 64%,58 62%);A1203 5 25% (10 20%,12 18%,15 18%);B203 0 15% (5 15%,6 13%,7 12%)。此时,作为可选成分,也可以包含下述成分。MgO 0 10% (下限为O. 01%,下限为O. 5%,上限为5%,上限为4%,上限为2%);CaO 0 20% (下限为1%,下限为3%,上限为4%,上限为9%,上限为8%,上限为7%,上限为6%);SrO :0 20% (下限为O. 5%,下限为3%,上限为9%,上限为8%,上限为7%,上限为 6%);BaO 0 10% (上限为8%,上限为3%,上限为1%,上限为O. 2%);Zr02 0 10% (O 5%,O 4%,O 1%,O O. 1%)。而且,特别优选的是,含有Si02 50 70%、B203 5 18%、A1203 10 25%、MgOO 10%、Ca0 O 20%、Sr0 O 20%、Ba0 O 10%、R0 5 20% (其中,R 为从 Mg、Ca、Sr 和Ba中选择出的玻璃板所含有的所有的成分中的至少一种)。并且,优选的是,所含有的R’20超过O. 20%且在2. 0%以下(其中,R’为从Li、Na和K中选择出的玻璃板所含有的所有的成分中的至少一种)。而且,优选的是,共计含有O. 05 I. 5%的澄清剂,且实质上不含As203、Sb203和PbO。而且,还优选玻璃中的氧化铁的含有量为O. 01 O. 2%。而且,优选的是,含有Si02 50 70%、B203 O 15%、A1203 5 25%、MgO O 10%、CaO O 20%、SrO O 20%、BaO O 10%、RO 5 20% (其中,R 为从 Mg、Ca、Sr 和 Ba中选择出的玻璃板所含有的所有的成分中的至少一种)。并且,在玻璃板用于平板显示器的玻璃基板的情况下,从抑制形成于平板显示器的玻璃基板的TFT (Thin Film Transistor,薄膜场效应晶体管)的破坏的观点出发,优选玻璃板为无碱玻璃(实质上不含碱性成分的玻璃)。另一方面,为了提高玻璃的熔解性,还是可以含有微量的碱性成分。在该情况下,优选的是,所含有的R’20超过O. 05%且在2. 0%以下(其中,R’为从Li、Na和K中选择出的玻璃板所含有的所有的成分中的至少一种),更为优选的是,所含有的R’ 20超过O. 1%且在2. 0%以下。而且,优选的是,澄清剂实质上不含As203和PbO。而且,优选的是,澄清剂至少含有氧化锡。而且,还优选玻璃中的氧化铁的含有量为O. 01 O. 2%ο出于平板显示器的轻量化的目的,优选SrO+BaO为O 10%。而且,在轻量化的观点的基础上,再考虑到环境负荷,还优选BaO为O 2质量百分比。通过使玻璃板的玻璃组成成为上述那样的组成范围,能够形成满足液晶显示器或有机EL显示器等平板显示器的玻璃基板所要求的特性(对TFT的破坏的抑制和轻量化)的玻璃板。更为详细地来说,能够实现满足应变点在650°C以上的玻璃板。而且,能够实现密度在2.6g/cm3以下的玻璃板。而且,能够实现杨氏模量在70GPa以上的玻璃板。而且,能够实现失透温度在1250°C以下的玻璃板。失透温度在1250°C以下的玻璃板能够采用溢流下拉法制造。不过,由于既实现失透温度不到1050°C又满足平板显示器的玻璃基板所要求的上述的特性(对TFT的破坏的抑制和轻量化)是困难的,因此优选失透温度为1050°C 1250。。。在此,将熔融玻璃长时间保持在失透温度附近的话,会从熔融玻璃中析出结晶,从而产生失透。因此,在成形体310的壁面附近流下的熔融玻璃的温度需要保持得比失透温度高。因此,要求在从成形体310流下的熔融玻璃离开后,使熔融玻璃的温度处于失透温度附近,进而使熔融玻璃的温度急速地冷却,从而避免在熔融玻璃产生失透。即,优选的是,在成形体310的壁面附近流动的熔融玻璃的温度比失透温度高10°C以上,更为优选的是,比失透温度高20°C以上。通过使所述熔融玻璃的温度比失透温度高10°C以上,即使从成形体310的支承砖产生散热而使熔融玻璃的温度产生不均匀,或者因从支承砖熔出成分而使玻璃组成产生不均匀进而发生失透温度不均匀的情况,也能够充分地抑制失透的产生。这样,在作为液晶显示器或有机EL显示器等平板显示器的玻璃基板而制造玻璃板的情况下,优选的是,失透温度达到1050°C 1250°C的高温,因此玻璃基板制造中的成形体310的温度也需要达到1050°C 1350°C。在此,在使成形体310自常温起升温后,当熔融玻璃开始流到成形体310时,熔融玻璃温度与成形体温度存在差距的话,会因该温度差而损伤成形体310。因此,优选预先使成形体310升温,不过如果制造失透温度越高的玻 璃,升温的温度就越大。其结果是,上述的升温时的成形体310的位置偏移容易发生。由此,在作为失透温度达到1050°C 1250°C的高温的液晶显示器或有机EL显示器等平板显示器的玻璃基板而制造玻璃板的情况下,即使将成形体310升温至1050°C 1350°C也能够抑制成形体310的位置偏移的本发明是优选的。而且,作为应用于太阳能电池用的玻璃基板的玻璃板,举例示出例如包含以质量百分比表示的下述成分的玻璃板。下述括号内的显示是各成分的优选含量。Si02 :50 70% (55 65%,57 64%,57 62%);A1203 5 20% (9 18%,12 17%);Na20 6 30% (7 20%,8 18%,10 15%)。此时,作为可选成分,也可以包含下述成分。Li20 0 8% (O 6%,O 2%,O O. 6%,O O. 4%,O O. 2%);B203 0 5% (O 2%,O 1%,O O. 8%);K20 0 10% (下限为1%,下限为2%,上限为6%,上限为5%,上限为4%);MgO 0 10% (下限为1%,下限为2%,下限为3%,下限为4%,上限为9%,上限为8%,上限为7%);CaO 0 20% (下限为O. 1%,下限为1%,下限为2%,上限为10%,上限为5%,上限为
4%,上限为3%);Zr02 0 10% (O 5%,0 4%,0 1%,0 01%)。特别优选的是,作为化学强化了的罩玻璃或太阳能电池用玻璃板,含有Si0250 70%、A1203 5 20%、Na20 6 30%、K20 O 10%、MgO O 10%、CaO O 20%。另外,近年来,为了实现平板显示器的画面显示的进一步高清晰化,追求采用P-Si(低温多晶硅)· TFT或氧化物半导体而不是α-Si (无定形硅)· TFT的显示器。在此,在P-Si (低温多晶硅)TFT或氧化物半导体的形成工序中,存在比α -Si · TFT的形成工序温度还要高的热处理工序。因此,对于形成P-Si · TFT或氧化物半导体的玻璃板要求热收缩率小。为了减小热收缩率,优选提高应变点,但是应变点高的玻璃存在着失透温度升高的趋向。为了抑制失透,需要将成形时的熔融玻璃温度保持得比失透温度高,因此为了制造失透温度高的玻璃板,需要提高成形装置300内的气氛和成形体310的温度。在此,成形装置300内的气氛温度升高的话,容易发生因成形体310与支承部件之间产生扭曲或摩擦阻力而引起的在成形体310与支承部件之间产生间隙的问题和位置偏移的问题。即,在采用例如应变点在655°C以上的玻璃来制造玻璃板时,本发明是优选的。特别是在采用对P-Si *TFT或氧化物半导体来说是优选的、应变点在675V以上或应变点在680°C以上的玻璃来制造玻璃板时,本发明更为优选,在采用应变点在690°C以上的玻璃来制造玻璃板时,本发明特别优选。而且,在采用失透温度在1100°C 1250°C的玻璃来制造玻璃板时,本发明是优选的,在采用失透温度在1150°C 1250°C的玻璃来制造玻璃板时,本发明更为优选,在采用失透温度在1180°C 1250°C的玻璃来制造玻璃板时,本发明还要更优选,在采用失透温度在1200°C 1250°C的玻璃来制造玻璃板时,本发明特别优选。在将应变点在675°C以上(或者失透温度为1150 1250°C )的玻璃用于玻璃板的 情况下,作为玻璃组成,例如举例示出包含以质量百分比表示的下述成分的玻璃板。以下所示的符号%意味着质量百分比。包含Si02 52 78%、A1203 3 25%、B203 3 15%、R0(其中,R 为从 Mg、Ca、Sr 和Ba中选择出的、玻璃板所含有的所有的成分中的至少一种)3 20%,质量比(Si02+A1203)/B203处于7 20的范围。并且,为了进一步使应变点升高,优选质量比(Si02+A1203)/R0在7. 5以上。并且,为了使应变点升高,优选β -OH值为O. I O. 3mm。并且,出于抑制TFT的破坏的观点,优选为无碱玻璃(实质上不含碱性成分的玻璃)。另一方面,为了在熔解时防止电流流到熔解槽201而不是流到玻璃,可以含有O. 01 O. 8%的R20 (其中,R为从Li、Na和K中选择出的、玻璃板所含有的所有的成分中的至少一种)来使玻璃的电阻率降低。或者,为了使玻璃的电阻率降低,优选含有O. 01 1%的Fe203。并且,为了既实现较高的应变点又防止失透温度的上升,优选Ca0/R0在O. 65以上。此外,通过使失透温度在1250°C以下,能够应用溢流下拉法。而且,考虑到应用于移动通信终端等移动设备,从轻量化的观点出发,优选玻璃板中的SrO和BaO的合计含有量在0%以上且不到2%。(各成分)Si02是形成玻璃板的玻璃的骨架的成分,具有提高玻璃的化学耐久性和耐热性的效果。在Si02的含量过低的情况下,无法充分得到化学耐久性和耐热性的效果,而Si02的含量过高的话,容易引起玻璃失透,成形变得困难,并且粘性上升,玻璃的均质化变得困难。A1203是形成玻璃的骨架的成分,具有提高玻璃的化学耐久性和耐热性的效果。而且,具有提高蚀刻速度的效果。在A1203的含量过低的情况下,无法充分得到玻璃的化学耐久性和耐热性的效果。另一方面,A1203的含量过高的话,玻璃的粘性上升,熔解变得困难,耐酸性降低。B203是降低玻璃的粘性、促进玻璃的熔解和澄清的成分。B203的含量过低的话,玻璃的耐酸性降低,玻璃的均质化变得困难。MgO和CaO是降低玻璃的粘性、促进玻璃的熔解和澄清的成分。而且,在碱土类金属中,Mg和Ca使玻璃的密度上升的比例较小,因此是有利于既使所得到的玻璃轻量化又提高熔解性的成分。不过,所述MgO和CaO的含量过高的话,玻璃的化学耐久性降低。SrO和BaO是降低玻璃的粘性、促进玻璃的熔解和澄清的成分。而且,SrO和BaO也是提高玻璃原料的氧化性、提高澄清性的成分。不过,SrO和BaO的含量过高的话,玻璃的密度上升,无法实现玻璃板的轻量化,并且玻璃的化学耐久性降低。Li20是降低玻璃的粘度、提高玻璃的熔解性和成形性的成分。而且,Li20是使玻璃的杨氏模量升高的成分。不过,Li20的含量过高的话,玻璃容易失透,从而难以应用下拉法。Na20和K20是降低玻璃的高温粘度、提高玻璃的熔融性和成形性的成分。而且,Na20和K20是改善玻璃的耐失透性的成分。在Na20或K20的含量过低的情况下,玻璃的熔解性降低,熔解所需的成本升高。而且,玻璃容易发生失透,耐失透性也降低,因而难以应用使玻璃溢流的下拉法。另一方面,Na20或K20的含量过高的话,也会产生由玻璃平衡的恶化引起的耐失透性降低。
另外,Li20、Na20和K20是有可能从玻璃中熔出而使TFT特性劣化、而且有可能增大玻璃的热膨胀系数而在热处理时使基板破损的成分,因此,在作为平板显示器的玻璃基板(例如,液晶显示器的玻璃基板、有机EL显示器的玻璃基板)应用的情况下,不希望含有大量的Li20、Na20和K20,其总量应限制在2. O质量百分比以下。不过,通过使玻璃中还是含有特定量的上述成分,既能够将TFT特性的劣化和玻璃的热膨胀抑制在固定范围内,又提高了玻璃的碱度,使价数变动的金属的氧化变得容易,能够发挥澄清性。Zr02是提高玻璃的失透温度附近的粘性和应变点的成分。而且,Zr02也是使玻璃的耐热性提高的成分。不过,Zr02的含量过高的话,失透温度上升,耐失透性降低。Ti02是使玻璃的高温粘度降低的成分。不过,Ti02的含量过高的话,耐失透性降低。并且,玻璃被着色,不适合应用于电子设备的显示画面的罩玻璃等。而且,由于玻璃被着色,所以紫外线透过率降低,因此在进行使用了紫外线硬化树脂的处理的情况下,会产生不能充分地使紫外线硬化树脂硬化的问题。在玻璃板的玻璃原料中,作为使玻璃中的气泡脱泡的成分,可以添加澄清剂。作为澄清剂,只要是环境负荷小、玻璃的澄清性优异的成分就并不特别受到限制,能够举出从例如氧化锡、氧化铁、氧化铈、氧化铽、氧化钥和氧化钨之类的金属氧化物中选择出的至少一种。在此,液晶显示器或有机EL显示器等平板显示器的玻璃基板对泡的要求特别严格。由此,作为用于玻璃板的制造的澄清剂,在氧化锡、氧化铁、氧化铈、氧化铽、氧化钥和氧化钨之类的金属氧化物中优选至少含有澄清效果特别高的氧化锡。另外,As203、Sb203和PbO是在熔融玻璃中发生与价数变动伴随的反应、有澄清玻璃的效果的物质,但是由于As203、Sb203和PbO是环境负荷较大的物质,因此在本实施方式的玻璃板中,在玻璃中实质上并不含有As203、Sb203和PbO。另外,在本说明书中,实质上不含有As203、Sb203和PbO意味着不到O. 01质量百分比,除了不纯物以外并不刻意含有。(8)特征(8-1)以往,为了应对由自重或高温的熔融玻璃的重量等引起的蠕变,成形体的下端部大多受到支承。例如,在专利文献I (日本专利第4193115号公报)公开的发明中,在流量调节结构体(相当于成形体)的长度方向的两侧端的下端部分别配置有用于支承流量调节结构体的支承部件。并且,一个支承部件由加压装置加压。在此,一般来说,由于供给到成形体的熔融玻璃为大约1000°C 1400°C的高温,因此在未使成形体310升温的状态下开始使熔融玻璃流到成形体310的话,会因熔融玻璃与成形体310的温度差使成形体310损伤。因此,在成形体启动后使成形体的周边的温度升温。不过,由于加压装置对支承部件的加压和成形体的周边的温度的升温,有可能引起成形体的位置偏移,从而使薄板玻璃的搬送路径偏移。因此,担心从辊(冷却辊和送给辊)受到的牵引力变得不均匀,玻璃板的质量降低。而且,近年来,使用下拉法制造的玻璃板存在薄型化的趋向。在此,越是薄的玻璃板则越容易因小的应力而变形。因此,越是薄的玻璃板,由上述成形体的位置偏移引起的玻璃板的变形的问题越是显著。因此,在本实施方式中,控制装置在使成形体310的周边温度升温之前沿一个方 向对成形体310进行按压(相当于按压工序)。具体来说,控制装置通过控制加压装置422来向一个方向按压成形体310。更为具体地来说,沿长度方向按压成形体310。此时,加压装置422对第二支承部件420向成形体310侧加压,由此对第一支承部件410和第二支承部件420施加载荷(施加载荷)。接着,由加压装置422加压了的第二支承部件420按压成形体310的长度方向的两侧端。由此,通过第一支承部件410和第二支承部件420来限制成形体310的由升温引起的相对的位置偏移,进而固定成形体310。特别是通过按压成形体310的长度方向的两侧端的下方部分,能够抑制成形体310的下方部分的蠕变。接着,控制装置在通过加压装置422对第二支承部件420加压、对第一支承部件410和第二支承部件420施加了载荷的状态(即,按压成形体310的状态)下,通过第二加热器380使成形体310的周边温度升温(相当于升温工序)。通过沿成形体310的长度方向按压成形体310,能够有效地抑制成形体310的由升温引起的位置偏移。在本实施方式中,通过对第一支承部件410和第二支承部件420施加朝向成形体310的方向的载荷,首先,限制了第一支承部件410和第二支承部件420的动作。并且,通过对该状态下的第一支承部件410和第二支承部件420施加从成形体310的外侧朝向成形体310侧的载荷,从而经由第一支承部件410和第二支承部件420限制了成形体310的长度方向的两侧端的下方部分(乃至成形体310整体)的位置偏移(成形体310的由升温引起的相对的位置偏移),进而固定了成形体310。接着,在该状态下使成形体310的周边温度升温,因此能够抑制成形体310的包括倾斜的位置偏移。在此,如果发生成形体的位置偏移的话,至少会担心下述的影响。首先,在薄板玻璃的成形时,薄板玻璃的表背面或宽度方向的温度分布产生不均匀,薄板玻璃的板厚容易产生不均匀(板厚偏差)。当薄板玻璃的板厚产生不均匀时,该流下的熔融玻璃或薄板玻璃与覆盖成形体等的炉的炉壁或加热器之间的距离相对于推测的距离发生偏移。因此,在薄板玻璃的宽度方向上,会产生实际的薄板玻璃的温度与基准温度(将成形体设置在理想的位置的情况下的玻璃板的温度)的差。在该情况下,在渐冷工序(在本实施方式中,相当于利用送给棍350a 350h向下方牵引薄板玻璃的工序)中,对薄板玻璃的宽度方向的温度的控制也有影响。因此,担心无法充分地除去玻璃板的内部应变。而且,由于在推测出的薄板玻璃的搬送路径发生偏移,因此薄板玻璃受到的来自送给辊的牵引力变得不固定,担心玻璃板翘起。并且,担心熔融玻璃在成形体下端的粘合产生不良情况。另外,作为发生的成形体的位置偏移,推测为例如成形体的第一方向的上游侧和下游侧中的一方偏移,从而与配置于下方的各种辊形成“扭曲”的位置关系。在该情况下,如上所述,由于设置在下方的加热器或辊等与薄板玻璃的位置关系相比于成形体位于正确的位置的时候发生偏移,因此担心薄板玻璃的温度分布产生不均匀。另一方面,在本实施方式中,由于能够抑制成形体310的位置偏移,因此能够维持玻璃板的质量。即,能够抑制玻璃板的板厚偏差和包括翘起的变形。上述那样的成形体的位置偏移是因为例如在成形体的周边的温度升 温时,为了防止成形体的蠕变而配置的支承部件或成形体发生膨胀。此时,推测因在支承部件与成形体之间产生的摩擦阻力或扭曲而发生成形体的位置偏移。并且,推测在该状态下通过加压装置对支承部件加压的话,成形体发生倾斜等位置偏移。—般来说,用于成形体310的砖优选为不仅具有耐火性和耐热性而且能够抑制蠕变的含有Zr02等的成形体专用砖,另一方面,在包括第一支承部件410和第二支承部件420的支承部件中使用的砖优选为具有耐火性和耐热性的砖。例如,如果在由成形体310的加热引起的膨胀时没有限制的话,成形体310和支承部件能够自由地分别移动,在成形体310与支承部件之间产生扭曲或摩擦阻力,由此发生在成形体310与支承部件之间形成间隙的问题、或者发生位置偏移的问题。另一方面,如本实施方式那样,在成形体310的加热前对成形体310沿一个方向、优选为长度方向预先加压的话,成形体310与支承部件成为一体,能够维持成形体310与支承部件之间的接触面,因此能够进行膨胀方向的限制。另一方面,在本实施方式中,如上所述,通过对第一支承部件410和第二支承部件420施加朝向成形体310的方向的载荷,从而经由第一支承部件410和第二支承部件420限制了成形体310的由升温引起的相对的位置偏移,进而将成形体310固定。并且,由于在该状态下使成形体310的周边温度升温,因此能够抑制成形体310的包括倾斜的位置偏移。(8-2)成形体310的周边温度的升温速度为5°C 30°C /h,由此,能够抑制成形体310的破损,且能够抑制玻璃板的生产率的降低。另外,成形体310的周边温度的升温速度更优选为5 20°C /h,进而优选为5 15°C /h,进而优选为6°C 10°C /h。在该情况下,既能够进一步降低成形体310的破损的可能性,又能够提高玻璃板的生产率。(8-3)在本实施方式中,通过加压装置422对第二支承部件420加压,从而对第一支承部件410和第二支承部件420施加载荷。在此,通过采用气缸等加压装置422,能够简易地对第一支承部件410和第二支承部件420施加载荷。(9)变形例以上,基于

了本发明的实施方式,不过具体的结构并不限于上述的实施方式,能够在不脱离发明的主旨的范围内变更。(9-1)变形例 IA图6是本变形例IA涉及的成形体310的概要主视图。
在上述实施方式中,说明了利用加压装置对第一支承部件410和第二支承部件420中的一方加压,然而并不限定于此,也可以利用加压装置对第一支承部件410和第二支承部件420均进行加压。在该情况下,如图6所示,在第一支承部件410的附近也隔着板部件411配置加压装置412。并且,第一支承部件410和第二支承部件420分别由加压装置412、422向成形体310侧按压(图6所示的箭头P3、P2)。由此,成形体310的由升温引起的相对的位置偏移被限制,进而成形体310被固定。由此,在该情况下,也能够抑制成形体310的位置偏移。(9_2)变形例 IB图7是本变形例IB涉及的成形体310的概要主视图。
例如,在将第一支承部件410或第二支承部件420这样的支承成形体310的支承部件载置于载置部件的情况下,推测因支承部件与载置部件之间产生的摩擦阻力或扭曲而发生支承部件的位置偏移。并且,在该状态下利用加压装置对支承部件加压的话,担心发生成形体倾斜等位置偏移。在此,载置部件只要是实现载置支承部件的功能的部件即可,例如可以是底座,也可以如图7所示地,采用块状部件611、612。另外,可以配置多个块状部件611、612。但是,即使是在这样的情况下,通过采用与上述实施方式相同的结构和方法,在成形体310的加热前对成形体310沿一个方向、优选为长度方向加压的话,成形体310与支承部件成为一体,能够维持成形体310与支承部件之间的接触面,因此能够实现膨胀方向的限制。即,通过第一支承部件410和第二支承部件420限制了成形体310的由升温引起的相对的位置偏移,进而在成形体310被固定的状态下使周边温度升温,因此能够抑制成形体310的位置偏移,能够维持玻璃板的质量,即,能够防止玻璃板的翘起、由内部应变引起的变形的增大,进而能够防止发生损伤。因此,本发明即使是在这样的情况下也是有用的。另外,在本变形例中,用于成形体310的砖也优选为不仅具有耐火性和耐热性而且能够抑制蠕变的含有Zr02等的成形体专用砖,另一方面,在包括第一支承部件410和第二支承部件420的支承部件、以及块状部件611、612中使用的砖优选为具有耐火性和耐热性的砖。(9_3)变形例 IC在上述实施方式中,说明了支承成形体310的部件为第一支承部件410和第二支承部件420这两个,然而并不限定于此,也可以有更多支承部件。而且,第一支承部件410和第二支承部件420也可以是一体构成的部件。(9-4)变形例 ID除了上述实施方式之外,例如也可以是预先计算成形体310、第一支承部件410和第二支承部件420的膨胀量,从而减少作为加压装置使用的气缸的活塞的移动距离。(9-5)变形例 IE在上述实施方式中,采用气缸作为加压装置,然而不限于此,也可以应用公知的加
压装置。实施例 下面,对本发明的实施例进行说明。
在实施例I中,发明者在使成形体310的周边温度升温之前,开始了经由第一支承部件410和第二支承部件420对成形体310的按压。接着,在对成形体310的按压后,使成形体310的周边温度以10°C /h的升温速度升温。此后,以成为下面所示的组成的方式,将玻璃原料熔解成为熔融玻璃,并进行了对熔融玻璃的澄清。接着,利用搅拌槽搅拌澄清后的熔融玻璃,将搅拌后的熔融玻璃供给到通过上述的方法而升温后的成形体310,从而成形为薄板玻璃。接着,切断薄板玻璃,制造出厚度为O. 7_、大小为2200_X2500_的液晶显示器用的玻璃板。另外,制造出的显示器用的玻璃板的失透温度为1170°C,应变点为670°C。Si02 60%A1203 19. 5%B203 10%CaO 5% SrO 5%Sn02 O. 5%而且,作为实施例2,本发明者除了使制造出的玻璃板的厚度成为O. 4mm以外,还以与上述实施例I同样的方法制造了显示器用的玻璃板。接着,从通过实施例I和实施例2制造出的液晶显示器用的玻璃板分别切下380mmX420mm的玻璃板,并测定了这些玻璃板的翘起。此时,这些玻璃板的翘起均在O. 15mm以下。因此,2200mmX 2500mm的液晶显示器用的玻璃板的翘起也在O. 15mm以下。作为实施例3,本发明者在使成形体310的周边温度升温之前,开始了经由第一支承部件410和第二支承部件420对成形体310的按压。接着,在对成形体310的按压后,使成形体310的周边温度以10°C /h的升温速度升温。此后,以成为下面所示的组成(以质量百分比表示)的方式,将玻璃原料熔解成为熔融玻璃,并进行了对熔融玻璃的澄清。接着,利用搅拌槽搅拌澄清后的熔融玻璃,将搅拌后的熔融玻璃供给到通过上述的方法而升温后的成形体310,从而成形为薄板玻璃。接着,切断薄板玻璃,制造出厚度为O. 7_、大小为2200_X 2500mm的液晶显示器用的玻璃板。另外,制造出的液晶显示器用的玻璃板的失透温度为1230°C,应变点为715°C。Si02 61. 5%Al203 20%B203 8. 4%CaO 10%Sn02 O. 1%而且,作为实施例4,本发明者除了使制造出的玻璃板的厚度成为O. 4mm以外,还以与上述实施例3同样的方法制造了液晶显示器用的玻璃板。接着,从通过实施例3和实施例4制造出的液晶显示器用的玻璃板分别切下380mmX420mm的玻璃板,并测定了这些玻璃板的翘起。此时,这些玻璃板的翘起均在O. 15mm以下。因此,2200mmX 2500mm的液晶显示器用的玻璃板的翘起也在O. 15mm以下。另外,作为比较例1,本发明者在使成形体310的周边温度以预定速度(在此为IO0C /h)升温至预定温度(在此为1200°C)后开始对成形体310的按压,除此以外按照与实施例I相同的方法进行了玻璃板的制造。
而且,作为比较例2,本发明者在使成形体310的周边温度以预定速度(在此为IO0C /h)升温至预定温度(在此为1200°C)后开始对成形体310的按压,除此以外按照与实施例2相同的方法进行了玻璃板的制造。并且,作为比较例3,本发明者在使成形体310的周边温度以预定速度(在此为IO0C /h)升温至预定温度(在此为1200°C)后开始对成形体310的按压,除此以外按照与实施例3相同的方法进行了玻璃板的制造。而且,作为比较例4,本发明者在使成形体310的周边温度以预定速度(在此为IO0C /h)升温至预定温度(在此为1200°C)后开始 对成形体310的按压,除此以外按照与实施例4相同的方法进行了玻璃板的制造。接着,从制造出的液晶显示器用的玻璃板(2200mmX 2500mm)分别切下380mmX420mm的玻璃板,并测定了玻璃板的翘起。此时,比较例I和比较例3的玻璃板的翘起最大值超过了 O. 20mm。而且,比较例2和比较例4的玻璃板的翘起最大值超过了 O. 30mm。由此,本发明在提高玻璃板的质量方面是有用的。工业上的可利用性本发明能够应用于各种使用成形装置来制造玻璃板的玻璃板的制造方法和玻璃板制造装置中。标号说明100 :玻璃板制造装置;300 :成形装置;310 :成形体;380 :第二加热器(升温装置);410 :第一支承部件(支承部件);412,422 :加压装置;420 :第二支承部件(支承部件);G :玻璃板;SG:薄板玻璃。


一种采用了下拉法的玻璃板的制造方法,其具备按压工序、升温工序、熔解工序、成形工序和切断工序。在按压工序中,以限制由成形体的升温引起的成形体的相对位置偏移的方式沿成形体的一个方向按压成形体。在升温工序中,利用升温装置使被按压的成形体的周边温度升温。在熔解工序中,将玻璃原料熔解成熔融玻璃。在成形工序中,利用升温了的成形体将熔融玻璃成形为薄板玻璃。在切断工序中,切断薄板玻璃而形成玻璃板。由此,进一步抑制玻璃板的质量的降低。



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