专利名称：玻璃板的制造方法如专利文献I (日本专利特开2004-115357号公报)中所记载，存在使用下拉法制造玻璃板的方法。下拉法是使熔融玻璃流入成形体中之后，使该熔融玻璃从成形体的顶部溢流。溢流的熔融玻璃沿着成形体的两侧面流下，并于成形体的下端部合流，藉此制成平板状的玻璃(平板玻璃)。其后，利用辊将平板玻璃向下拉伸，并切割成特定长度。
发明所要解决的问题专利文献I中所揭示的发明是于特定的温度区域内将平板玻璃的宽度方向的中央部与末端部附近的温度梯度设为特定值，藉此减少平板玻璃的残留应力。此外，专利文献I中所揭示的发明是考虑平板玻璃的残留应力或应变而规定平板玻璃的中央部与末端部的附近的温度梯度。但是，专利文献I未能实现一面使平板玻璃的板厚均匀化，一面减少平板玻璃的翘曲及应变。因此，本发明的课题在于提供一种能够极力使平板玻璃的板厚均匀，同时能够减少翘曲及应变(残留应力)的玻璃板的制造方法。解决问题的手段本发明的玻璃板的制造方法利用下拉法，并且具备成形步骤与冷却步骤。成形步骤是藉由使熔融玻璃沿着成形体的两侧面流下，并于成形体的下部合流，而成形为平板玻璃。冷却步骤是一面利用辊将平板玻璃向下拉伸，一面加以冷却。于冷却步骤中，进行玻璃应变点上方温度控制步骤。玻璃应变点上方温度控制步骤是自成形体的下部到低于玻璃应变点附近的温度区域为止的温度区域内，对平板玻璃的宽度方向的温度进行控制的步骤，并且包括第I温度控制步骤、第2温度控制步骤及第3温度控制步骤。于第I温度控制步骤中，使平板玻璃的宽度方向的端部的温度低于由端部夹持的中央区域的温度，且使中央区域的温度变均匀。于第2温度控制步骤中，使平板玻璃的宽度方向的温度自中央部向端部下降。于第3温度控制步骤中，在玻璃应变点附近的温度区域内，消除平板玻璃的宽度方向的端部与中央部的温度梯度。藉此，能够极力使平板玻璃的板厚均匀且能够减少翘曲及应变(残留应力)。再者，平板玻璃的中央区域为包含使板厚均匀化的对象的部分的区域，平板玻璃的端部为包含制造后进行切割的对象的部分的区域。于第I温度控制步骤中，藉由使平板玻璃的宽度方向的端部的温度低于由端部夹持的中央区域的温度，而提高平板玻璃的端部的黏度。藉此，可抑制平板玻璃的宽度方向的收缩。若平板玻璃在宽度方向上收缩，则收缩的部位的板厚增大，且板厚偏差变差。因此，藉由使平板玻璃的宽度方向的端部的温度低于中央区域的温度，可使板厚均匀化。于第I温度控制步骤中，藉由使平板玻璃的中央区域的温度均匀化，而使中央区域的黏度变均匀。藉此，可使平板玻璃的板厚均匀化。于第2温度控制步骤中，以使平板玻璃的宽度方向的温度自中央部向端部下降的方式形成温度梯度。并且，于第3温度控制步骤中，以使第2温度控制步骤中形成的温度梯度向玻璃应变点附近的温度区域减小的方式将平板玻璃冷却。藉此，由于随着自平板玻璃的端部朝向中央部，平板玻璃的体积收缩量增大，在平板玻璃的中央部存在拉伸应力的作用。尤其是，于平板玻璃的中央部，在平板玻璃的流动方向以及宽度方向上存在拉伸应力的作用。在此，在平板玻璃的流动方向的拉伸应力比宽度方向上的拉伸应力大为好。在此，由于能够利用拉伸引力一面维持平板玻璃的平坦度一面冷却，故而能够减少平板玻璃的翘曲。当平板玻璃于玻璃应变点具有温度梯度，则于冷却至常温时产生应变。因此，于第3温度控制步骤中，藉由以向玻璃应变点附近的温度区域减小温度梯度的方式加以冷却，能够减少冷却后的应变。再者，较佳为于第3温度控制步骤中冷却的平板玻璃的自宽度方向的中央部的温度减去端部的温度而获得的值进入_20°C至20°C的范围内。 于第2温度控制步骤中，更佳为使平板玻璃的宽度方向的温度梯度随着朝向平板玻璃的流动方向逐渐减小。于第2温度控制步骤中，更佳为以使平板玻璃的宽度方向的温度自中央部向端部逐渐减小的方式形成温度梯度。于第2温度控制步骤中，更佳为以使平板玻璃的宽度方向的温度自中央部向端部逐渐减小的方式形成温度梯度，且该温度梯度随着朝向平板玻璃的流动方向逐渐减小。于第2温度控制步骤中，更佳为以使平板玻璃的宽度方向的温度自中央部向端部逐渐减小为凸状的方式形成温度梯度。于第2温度控制步骤中，更佳为以使平板玻璃的宽度方向的温度自中央部向端部逐渐减小为凸状的方式形成温度梯度，且该温度梯度随着朝向平板玻璃的流动方向逐渐减小。较佳为第I温度控制步骤是于平板玻璃的中央部的温度为玻璃软化点以上的情形时进行，第2温度控制步骤及第3温度控制步骤是于平板玻璃的中央部的温度低于玻璃软化点的情形时进行。藉此，于第I温度控制步骤中，以使平板玻璃的中央区域的温度变均匀的方式加以控制，并于平板玻璃的板厚变均匀后，进行第2温度控制步骤及第3温度控制步骤。因此，可使拉伸应力于平板玻璃的流动方向及宽度方向对板厚变均匀的平板玻璃的中央部发挥作用。藉此，可一面维持平板玻璃的平坦度一面将平板玻璃冷却。因此，能够减少平板玻璃的翘曲。于第3温度控制步骤中，较佳为使冷却步骤中的平板玻璃的宽度方向的端部与中央部的温度差成为最小。若平板玻璃于玻璃应变点具有温度差，则于冷却至常温后产生应变。即，藉由于玻璃应变点附近的温度区域内，使平板玻璃的宽度方向的端部与中央部的温度差减小，能够减少平板玻璃的应变。所谓消除温度梯度，较佳为于平板玻璃的宽度方向自中央部的温度减去端部的温度而获得的值在_20°C至20°C的范围内。玻璃应变点上方温度控制步骤较佳为进而包括于低于玻璃应变点附近的温度区域的温度区域内，使平板玻璃的宽度方向的温度自端部向中央部下降的第4温度控制步骤。藉此，随着自平板玻璃的端部朝向中央部，平板玻璃的冷却量增大。因此，如上所述于平板玻璃的中央部，拉伸应力对平板玻璃的流动方向及宽度方向发挥作用。因此，由于可一面维持平板玻璃的平坦度一面冷却，故而能够减少平板玻璃的翘曲。于第4温度控制步骤中，较佳为于低于玻璃应变点附近的温度区域的温度区域内，以使平板玻璃的温度自宽度方向的端部向中央部逐渐减小的方式形成温度梯度。于第4温度控制步骤中，较佳为于低于玻璃应变点附近的温度区域的温度区域内，以使平板玻璃的温度自宽度方向的端部向中央部逐渐减小为凸状的方式形成温度梯度。于第4温度控制步骤中，较佳为平板玻璃的宽度方向的端部与中央部之间的温度梯度沿平板玻璃的流动方向增加。 于第4温度控制步骤中，较佳为使平板玻璃的宽度方向的端部与中央部之间的温度梯度沿平板玻璃的流动方向逐渐增加。平板玻璃较佳为具有I. Onm以下的应变值，更佳为具有Onm O. 95nm的范围内的应变值，进而较佳为具有Onm O. 90nm的范围内的应变值。平板玻璃较佳为具有O. 15mm以下的翘曲值，更佳为具有Omm O. IOmm的范围内的翘曲值，进而较佳为具有Omm O. 05mm的范围内的翘曲值。平板玻璃较佳为具有15 μ m以下的板厚偏差,更佳为具有Ομπι 14μηι的范围内的板厚偏差，进而较佳为具有Ομπι 13 μπι的范围内的板厚偏差。发明效果本发明的玻璃板的制造方法能够极力使平板玻璃的板厚均匀且能够减少平板玻璃的翘曲及应变(残留应力)。图I为本实施例的玻璃板的制造方法的一部分的流程图；图2为主要表示玻璃板的制造装置中所含的熔解装置的模式图；图3为成形装置的概略前视图；图4为成形装置的概略侧视图；图5为控制装置的控制方块图；图6为表示各温度分布(下述)中的平板玻璃SG的温度的表；图7为图6的表中的温度分布的图表；图8为表示温度控制步骤中的冷却速度及温度梯度的表。
如图I所示，玻璃板是经由包括熔解步骤STI、澄清步骤ST2、均质化步骤ST3、成形步骤ST4、冷却步骤ST5及切割步骤ST6的各步骤而制造。以下，对这些步骤进行说明。于熔解步骤STl中，加热玻璃原料而使其熔解。玻璃原料包含Si02、A1203等组成。完全熔解的玻璃原料成为熔融玻璃。于澄清步骤ST2中，将熔融玻璃澄清。具体而言，自熔融玻璃中释放包含于熔融玻璃中的气体成分，或者将包含于熔融玻璃中的气体成分吸收至熔融玻璃中。于均质化步骤ST3中，使熔融玻璃均质化。再者，于该步骤中，调整完成澄清后的溶融玻璃的温度。于成形步骤ST4中，藉由下拉法(具体而言为溢流下拉法)使熔融玻璃成形为平板状的平板玻璃SG(SheetGlass)(参照图3或图4)。于冷却步骤ST5中，冷却成形步骤ST4中所成形的平板玻璃SG。于该冷却步骤ST5 中，将平板玻璃SG冷却至接近室温。于切割步骤ST6中，将冷却至接近室温的平板玻璃SG分别切割成特定长度而制成切割平板玻璃SGl (参照图3)。再者，其后，进一步对分别切割成特定长度的切割平板玻璃SGl进行切割，并进行磨削、研磨、洗净、检查而制成玻璃板，并用于液晶显示器等平板显示器。(2)玻璃板的制造装置100的概要图2是主要表示包含于玻璃板的制造装置100中的熔解装置200的模式图。图3是包含于玻璃板的制造装置100中的成形装置300的概略前视图。图4是成形装置300的概略侧视图。以下，对玻璃板的制造装置100进行说明。玻璃板的制造装置100主要具有熔解装置200 (参照图2)、成形装置300 (参照图2 图4)、及切割装置400 (参照图3)。(2-1)熔解装置200的构成熔解装置200是用以进行熔解步骤ST1、澄清步骤ST2、及均质化步骤ST3的装置。如图2所示，熔解装置200具有熔解槽201、澄清槽202、搅拌槽203、第I配管204、及第2配管205。熔解槽201是用以熔解玻璃原料的槽。于熔解槽201中进行熔解步骤STl。澄清槽202是用以自熔解于熔解槽201中的熔融玻璃中去除气泡的槽。于澄清槽202中，进而藉由对自熔解槽201输送来的熔融玻璃进行加热，而促进熔融玻璃中的气泡的消泡。于澄清槽202中，进行澄清步骤ST2。搅拌槽203具有容纳熔融玻璃的容器、旋转轴、及包含安装于该旋转轴上的搅拌翼的搅拌装置。例如可使用钼等钼族元素或钼族元素合金制造者作为容器、旋转轴及搅拌翼，但并不限定于此。藉由马达等驱动部(未图示)的驱动使旋转轴旋转，藉此安装于旋转轴上的搅拌翼搅拌熔融玻璃。于搅拌槽203中进行均质化步骤ST3。第I配管204及第2配管205为钼族元素或钼族元素合金制的配管。第I配管204为连接澄清槽202与搅拌槽203的配管。第2配管205为连接搅拌槽203与成形装置300的配管。(2-2)成形装置300的构成成形装置300是用以进行成形步骤ST4及冷却步骤ST5的装置。
如图3或图4所示，成形装置300具有成形体310、环境分隔构件320、冷却辊330、冷却单元340、拉伸辊350a 350e、加热器360a 360e。以下，对这些构成进行说明。(2-2-1)成形体 310成形体310是用以进行 成形步骤ST4的装置。如图3所示，成形体310位于成形装置300的上方部分，且具有藉由溢流下拉法使自熔解装置200中流动而来的熔融玻璃成形为平板状的玻璃板(平板玻璃SG)的功能。成形体310于垂直方向上切割而获得的剖面形状具有楔形形状，是由砖构成。如图4所示，于成形体310中，于自熔解装置200中流动而来的熔融玻璃的流路方向的上游侧形成有供给口 311。如图3所示，于成形体310中，沿着其长度方向于上方形成有开放的沟槽部312。沟槽部312是以随着自熔融玻璃的流路方向的上游侧朝向下游侧缓慢地变浅的方式而形成。自熔解装置200向成形装置300流动而来的熔融玻璃经由供给口311于成形体310的沟槽部312中流动。于成形体310的沟槽部312中流动的熔融玻璃于该沟槽部312的顶部溢流，并沿着成形体310的两侧面313流下。并且，沿着成形体310的两侧面313流下的熔融玻璃于成形体310的下部314合流而成为平板玻璃SG。(2-2-2)环境分隔构件320如图3或图4所示，环境分隔构件320是配置于成形体310的下部314的附近的板状构件。环境分隔构件320是以大致水平方式配置于自成形体310的下部314流下的平板玻璃SG的厚度方向的两侧。环境分隔构件320是作为隔热材料而发挥作用。S卩，环境分隔构件320藉由隔开其上下的空气，而抑制热自环境分隔构件320的上侧向下侧移动。(2-2-3)冷却辊 330冷却辊330是配置于环境分隔构件320的下方。又，冷却辊330是以位于平板玻璃SG的厚度方向的两侧，且与其宽度方向的两端部分对向的方式配置。冷却辊330藉由通过内部的空冷管进行空冷。因此，于平板玻璃SG通过冷却辊330时，将其与空冷的冷却辊330接触的其厚度方向的两侧部分、且其宽度方向的两端部分(以下，将该部分称为平板玻璃SG的耳部R、L(参照图4或图7))冷却。藉此，使该耳部R、L的黏度成为特定值(具体而言为109. O泊)以上。由于冷却辊330传递利用冷却辊驱动马达390 (参照图5)的驱动力，故而亦具有将平板玻璃SG向下拉伸的作用。利用冷却辊330，将平板玻璃SG拉伸成特定厚度。(2-2-4)冷却单元 340冷却单元340为空冷式的冷却装置，其将通过冷却辊330及其下方的平板玻璃SG的环境温度冷却。于平板玻璃SG的宽度方向配置有多个(此处为3个)冷却单元340，且于其流动方向配置有多个。具体而言，冷却单元340是以与平板玻璃SG的耳部R、L的表面对向的方式分别配置有I个，且以与下述中央区域CA(参照图4或图7)的表面对向的方式配置有I个。
(2-2-5)拉伸辊 35Oa 35Oe于冷却辊330的下方，于平板玻璃SG的流动方向以特定的间隔配置有拉伸辊350a 350e。又，拉伸辊350a 350e是以分别于平板玻璃SG的厚度方向的两侧，且与平板玻璃SG的宽度方向的两端部分对向的方式加以配置。并且，拉伸辊350a 350e —面与于冷却辊330中耳部R、L的黏度成为特定值以上的平板玻璃SG的厚度方向的两侧部分且其宽度方向的两端部分接触，一面该将平板玻璃SG向下拉伸。再者，拉伸辊350a 350e是藉由传递利用拉伸辊驱动马达391 (参照图5)的驱动力而进行驱动。拉伸辊350a 350e的圆周速度大于冷却棍330的圆周速度。随着配置于平板玻璃SG的流动方向的下游侧，拉伸棍的圆周速度增大。即，于多个拉伸棍350a 350e中，拉伸棍350a的圆周速度最小,拉伸棍350e的圆周速度最大。(2-2-6)加热器于平板玻璃SG的流动方向配置有多个(此处为5个)加热器，且于平板玻璃SG 的宽度方向配置有多个(此处为5个)。加热器360a 360e藉由利用下述控制装置500来控制输出，而作为控制利用拉伸辊350a 350e向下牵引的平板玻璃SG的附近的环境温度的(具体而言为进行升温)温度控制装置而发挥作用。配置于平板玻璃SG的宽度方向的多个加热器分别自上述流路方向的上游侧依序控制耳部L、左部CL (参照图4或图7)、中央部C (参照图4或图7)、右部CR(参照图4或图7)、耳部R的环境温度。此处，利用拉伸辊350a 350e向下牵引的平板玻璃SG的环境温度是利用加热器360a 360e进行温度控制(具体而言，是藉由控制平板玻璃SG的环境温度而控制平板玻璃SG的温度)，藉此进行平板玻璃SG自黏性区域经由黏弹性区域向弹性区域迁移的冷却。再者，于加热器360a 360e的各自的附近，作为检测平板玻璃SG的各区域的环境温度的环境温度的检测设备的多个热电偶(此处，称为热电偶单元380(参照图5))分别以与加热器360a 360e对应的方式配置。即，于平板玻璃SG的流动方向配置有多个热电偶，且于其宽度方向配置有多个热电偶。如上所述，于成形体310的下部314以下的区域中，利用冷却辊330、冷却单元340、加热器360a 360e冷却平板玻璃SG的步骤为冷却步骤ST5。(2-3)切割装置 400于切割装置400中进行切割步骤ST6。切割装置400是对在成形装置300中流下的平板玻璃SG自与其长度面垂直的方向进行切割的装置。藉此，平板状的平板玻璃SG成为具有特定长度的复数块切割平板玻璃SGl。切割装置400是藉由切割装置驱动马达392 (参照图5)而进行驱动。(3)控制装置500图5是控制装置500的控制方块图。控制装置500 包含 CPU (CentralProcessingUnit,中央处理单兀)、RAM (RandomAccessMemory,随机存取存储器)、ROM (Read-OnIyMemory,唯读存储器)及硬盘等，且作为对包含于玻璃板的制造装置100中的各种设备进行控制的控制部而发挥作用。具体而言，如图5所示，控制装置500接收包含于玻璃板的制造装置100中的各种感测器(例如热电偶单元380等)或开关(例如主电源开关381等)等的信号、及经由输入装置(未图示)等的源自作业者的输入信号，对冷却单元340、加热器360a 360e、冷却辊驱动马达390、拉伸辊驱动马达391及切割装置驱动马达392等进行控制。(4)冷却步骤ST5中的温度控制图6是表示各温度分布(下述的)中的平板玻璃SG的温度的表。图7是图6的表中的温度分布的图表。图8是表示温度控制步骤STll ST14中的冷却速度及温度梯度的表。于冷却步骤ST5中，实施对平板玻璃SG进行温度控制的温度控制步骤STlO (参照图8)。具体而言，于温度控制步骤STlO中，控制装置500控制冷却辊330，藉此控制平板玻璃SG的温度。于温度控制步骤STlO中，控制冷却单元340、及加热器360a 360e而进行平板玻璃SG的环境温度的控制，藉此控制平板玻璃SG的温度。再者，图6、7所示的平板玻璃SG的温度是基于利用冷却单元340及加热器360a 360e控制的平板玻璃SG的环境温度，并藉由模拟而算出的值。
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于冷却步骤ST5中，藉由进行温度控制步骤ST10，使平板玻璃SG的温度于特定的高度位置进入特定的温度范围内，且使平板玻璃SG的温度于其宽度方向上具有特定的温度分布。即，平板玻璃SG的温度是于其流动方向及宽度方向上进行控制。以下，将平板玻璃SG的温度所具有的温度分布称为适宜温度分布(图7的实线所示)。再者，如图6及图7所示，于成形体310的下部314中，平板玻璃SG的温度于其宽度方向上均匀(包含正负20°C的范围)，约为1150°C。如图8所示，温度控制步骤STlO包括玻璃应变点上方温度控制步骤STlOa与应变点下方温度控制步骤ST14。以下，对各温度控制步骤进行说明。(4-1)玻璃应变点上方温度控制步骤STlOa玻璃应变点上方温度控制步骤STlOa是自成形体310的下部314至平板玻璃SG的温度低于玻璃应变点附近的温度区域为止的进行平板玻璃SG的温度控制的步骤，且包括第I温度控制步骤ST11、第2温度控制步骤ST12及第3温度控制步骤ST13。再者，所谓玻璃应变点，是指通常的玻璃的应变点，为相当于1014. 5泊的黏度的温度(例如661°C )。所谓玻璃应变点附近的温度区域，是指自将玻璃应变点与玻璃缓冷点相加并除以2而获得的温度((玻璃应变点+玻璃缓冷点)/2)至自玻璃应变点减去50°C的温度(玻璃应变点_50°C)的范围。所谓玻璃缓冷点，是指通常的玻璃的缓冷点，为相当于1013泊的黏度的温度(例如715°C )。(4-1-1)第I温度控制步骤STll第I温度控制步骤STll是于在平板玻璃SG的宽度方向上成为最高温度的部位(中央区域CA)的温度为玻璃软化点以上的情形时进行。所谓玻璃软化点，是指通常的玻璃的软化点，为相当于107. 6泊的黏度的温度(例如950°C )。于第I温度控制步骤STll中，以使温度分布成为第I温度分布TPll的方式加以控制。(4-1-1-1)第 I 温度分布 TPll如图7所示，所谓第I温度分布TPll是平板玻璃SG的耳部R、L的温度低于中央区域CA的温度，且由耳部R、L夹持的中央区域CA的宽度方向的温度变均匀的温度分布。此处，所谓「中央区域CA的宽度方向的温度变均匀？，是指中央区域CA的宽度方向的温度差进入-20°C至20°C的范围内。所谓中央区域CA，是指包含右部CR、中央部C及左部CL的区域。体而言，平板玻璃SG的中央区域CA为包含使板厚均匀化的对象的部分的区域。平板玻璃SG的宽度方向的端部的耳部R、L为包含制造后经切割的对象的部分的区域。(4-1-1-2)用以形成第I温度分布TPll的控制于第I温度控制步骤STll中，藉由控制冷却辊330及冷却单元340，而使温度分布成为第I温度分布TP11。具体而言，利用冷却辊330将平板玻璃SG的耳部R、L冷却，又，利用冷却单元340控制平板玻璃SG的环境温度，藉此使平板玻璃SG的耳部R、L的温度与中央区域CA的温度相比低特定温度(具体而言，低200°C 250°C)。并且，藉由利用冷却单元340控制平板玻璃SG的环境温度，使耳部R、L的温度与中央区域CA的温度相比低特定温度，且维持中央区域CA的宽度方向的温度变均匀的温度分布。藉此，可极力使平板玻璃SG的中央区域CA的板厚均匀化。此处，如上所述，于宽度方向配置有3个冷却单元340。因此，可对平板玻璃SG的耳部R、L各自的温度与中央区域CA的温度独立地进行温度控制。如图6及图7所示，第I温度分布TPll中的平板玻璃SG的耳部R、L的温度为 880°C，中央区域CA的温度为1070°C。(4-1-2)第2温度控制步骤ST12第2温度控制步骤ST12是于平板玻璃SG的中央区域CA的温度低于玻璃软化点之后，平板玻璃SG的温度通过玻璃缓冷点附近的温度区域直至进入玻璃应变点附近的温度区域的期间进行。所谓玻璃缓冷点附近的温度区域，是指自将玻璃缓冷点加上100°C的温度(玻璃缓冷点+100°C )至高于将玻璃应变点与玻璃缓冷点相加并除以2而获得的温度((玻璃应变点+玻璃缓冷点)/2)的范围。于第2温度控制步骤ST12中，以使温度分布成为第2温度分布TP20的方式加以控制。(4-1-2-1)第 2 温度分布 TP20所谓第2温度分布TP20，是指平板玻璃SG的宽度方向的温度自中央部C向耳部R、L下降的温度分布，且具有描绘出上凸的曲线的形状。S卩，于第2温度控制步骤ST12中，于宽度方向上，平板玻璃SG的中央部C的温度最高，平板玻璃SG的耳部R、L的温度最低。再者，于第2温度分布TP20中，温度于宽度方向上自中央部C向耳部R、L连续下降。于第2温度分布TP20中包含多个温度分布(具体而言，于本实施例中，包含第2a温度分布TP21与第2b温度分布TP22)。第2a温度分布TP21及第2b温度分布TP22依序位于自平板玻璃SG的流动方向的上游侧向下游侧的位置。随着第2温度分布朝向TP20平板玻璃SG的流动方向的下游侧(即随着平板玻璃SG的中央区域CA的温度低于玻璃软化点，且平板玻璃SG的温度接近玻璃应变点附近的温度区域)，于平板玻璃SG的宽度方向上，耳部R、L的温度与中央部C的温度的温度差的绝对值(此处，称为温度差绝对值)变小。因此，第2a温度分布TP21的温度差绝对值小于第2b温度分布TP22的温度差绝对值。此处，随着朝向平板玻璃SG的流动方向的下游侧，温度差绝对值变小，换言的，随着朝向平板玻璃SG的流动方向的下游侧，第2温度分布TP20中，平板玻璃SG的耳部R、L的温度与中央部C的温度的温度梯度变小。所谓平板玻璃SG的耳部R、L的温度与中央部C的温度的温度梯度，如图7的二点链线所示，是指用自中央部C的温度减去耳部R的温度的值除以将平板玻璃SG的宽度W除以2的值而获得者的绝对值(此处，称为第I梯度绝对值)，或用自中央部C的温度减去耳部L的温度的值除以将平板玻璃SG的宽度W除以2的值而获得者的绝对值(此处，称为第2梯度绝对值)。再者，于如下说明中，所谓平板玻璃SG的耳部R、L的温度与中央部C的温度的温度梯度，是指第I梯度绝对值与第2梯度绝对值的平均值。于第2温度控制步骤ST12中，按照第2a温度分布TP21的温度梯度TG21、第2b温度分布TP22的温度梯度TG22的顺序增大。(4-1-2-2)用以形成第2温度分布TP20的控制于第2温度控制步骤ST12中，藉由控制一部分加热器(此处为加热器360a及360b)，温度分布成为第2温度分布TP20。具体而言，藉由控制加热器360a，形成第2a温度分布TP21，藉由控制加热器360b，形成第2b温度分布TP22。再者，虽未图示，但于本实施例的第2温度分布TP20中进而包含 另一第2c温度分布。该第2c温度分布是于平板玻璃SG的中央区域CA的温度低于玻璃软化点后形成的温度分布。第2c温度分布是利用冷却单元340进行温度控制而形成。再者，于本实施例中，使耳部R、L、右部CR、左部CL、中央部C的5点的温度的近似曲线成为第2温度分布TP20。如图6及图7所示，第2a温度分布TP21中的平板玻璃SG的耳部L、左部CL、中央部C、右部CR、耳部R的温度依序为785°C、798°C、819°C、792°C、776°C。又，第2b温度分布TP22中的平板玻璃SG的耳部L、左部CL、中央部C、右部CR、耳部R的温度依序为763 °C、770°C、784°C、765°C、757°C。于第2温度控制步骤ST12中，是以于平板玻璃SG的宽度方向上，使中央部C的冷却速度变为最快的方式控制加热器。S卩，以于平板玻璃SG的宽度方向上，使中央部C的温度的冷却速度高于耳部R、L的温度的冷却速度或右部CR、左部CL的温度的冷却速度的方式控制加热器。藉此，可形成第2a温度分布TP21及第2b温度分布TP22。再者，对于具体的冷却速度，以应变点附近温度控制步骤ST13的部位加以说明。又，各温度分布TP21、TP22中的温度梯度TG21、TG22分别为7. 4 X 10-3 V /mm、4. 7 X 10-3°C /mm。(4-1-3)第3温度控制步骤ST13第3温度控制步骤ST13是于平板玻璃SG的温度进入玻璃应变点附近的温度区域内的期间进行。于第3温度控制步骤ST13中，以使温度分布成为第3温度分布TP31的方式加以控制。(4-1-3-1)第 3 温度分布 TP31所谓第3温度分布TP31，是指使平板玻璃SG的宽度方向的温度(自宽度方向的耳部R、L至中央部C的温度)变均匀的温度分布。换言的，所谓第3温度分布TP31，是指于平板玻璃SG的宽度方向上，消除温度的耳部R、L与中央部C的温度梯度的温度分布。此处，所谓「变均匀」、「消除温度梯度」，是指于平板玻璃SG的宽度方向上，自中央部C的温度减去耳部R、L的温度而获得的值进入-20°c至20°C的范围内。
(4-1-3-2)用以形成第3温度分布TP31的控制于第3温度控制步骤ST13中，藉由控制一部分加热器(此处，为360c)，使温度分布成为第3温度分布TP31。此处，以使冷却步骤ST5中的温度差绝对值成为最小的方式控制加热器360c。再者，如图6及图7所示，第3温度分布TP31中的平板玻璃SG的耳部L、左部CL、中央部C、右部CR、耳部R的温度依序为647°C、647°C、670°C、654°C、653°C。于第3温度控制步骤ST13中，与第2温度控制步骤ST12同样地，是以于平板玻璃SG的宽度方向，使中央部C的温度的冷却速度变为最快的方式控制加热器360c。S卩，以使中央部C的温度的冷却速度高于平板玻璃SG的耳部R、L的温度的冷却速度或右部CR、左部CL的温度的冷却速度的方式控制加热器360c。若说明具体的冷却速度，则如图8所示，例如自(玻璃缓冷点+150°C )至低于玻 璃应变点附近的温度区域为止的温度区域内的平板玻璃SG的中央部C的温度的平均冷却速度为2. 7V /秒钟。又，自(玻璃缓冷点+150°C )至低于玻璃应变点附近的温度区域为止的温度区域内的平板玻璃SG的右部CR、左部CL的温度的平均冷却速度为2. 50C /秒钟。又，自(玻璃缓冷点+150°C )至低于玻璃应变点附近的温度区域为止的温度区域内的平板玻璃SG的耳部R、L的温度的平均冷却速度为2. 1°C /秒钟。(4-2)应变点下方温度控制步骤ST14应变点下方温度控制步骤ST14是于平板玻璃SG的温度处于自低于玻璃应变点附近的温度区域至自玻璃应变点减去200°C的温度之间时进行。于应变点下方温度控制步骤ST14中，是以温度分布成为第4温度分布TP40的方式加以控制。(4-2-1)第 4 温度分布 TP40所谓第4温度分布TP40，是指平板玻璃SG的宽度方向的温度自耳部R、L向中央部C下降的温度分布，且具有描绘凸的曲线的形状。即，于应变点下方温度控制步骤ST14中，于宽度方向上，平板玻璃SG的耳部R、L的温度最高，平板玻璃SG的中央部C的温度最低。于第4温度分布TP40中包含多个温度分布(具体而言，于本实施例中，包含第4a温度分布TP41及第4b温度分布TP42)。第4a温度分布TP41及第4b温度分布TP42依序位于自平板玻璃SG的流动方向的上游侧至下游侧的区域。随着朝向平板玻璃SG的流动方向的下游侧(即随着平板玻璃SG的温度自低于玻璃应变点附近的温度区域至接近自玻璃应变点减去200°C的温度区域)，第4温度分布TP40的温度差绝对值增大。因此，于应变点下方温度控制步骤ST14中，第4a温度分布TP41中的温度差绝对值小于第4b温度分布TP42中的温度差绝对值。此处，随着朝向平板玻璃SG的流动方向的下游侧，温度差绝对值增大，换言的，随着朝向平板玻璃SG的流动方向的下游侧，第4温度分布TP40中，平板玻璃SG的耳部R、L的温度与中央部C的温度的温度梯度增大。因此，于应变点下方温度控制步骤ST14中，温度梯度的大小从大到小依序为第4b温度分布TP42的温度梯度TG42、第4a温度分布TP41的温度梯度TG41。(4-2-2)用以成为第4温度分布TP40的控制于应变点下方温度控制步骤ST14中，藉由控制一部分加热器(360d及360e)，使温度分布成为第4温度分布TP40。具体而言，以成为第4a温度分布TP41的方式控制加热器360d，以成为第4b温度分布TP42的方式控制加热器360e。再者，于本实施例中，使耳部R、L、右部CR、左部CL、中央部C的5点的温度的近似曲线成为第4温度分布TP40。如图6及图7所示，第4a温度分布TP41中的平板玻璃SG的耳部L、左部CL、中央部C、右部CR、耳部R的温度依序为585°C、565°C、562°C、570°C、582°C。又，第4b温度分布TP42中的平板玻璃SG的耳部L、左部CL、中央部C、右部CR、耳部R的温度依序为506 °C、472°C、463°C、468°C、488°C。如图8所示，于应变点下方温度控制步骤ST14中，以于平板玻璃SG的宽度方向上，使中央部C的温度的冷却速度变为最快的方式控制加热器。即，以使中央部C的温度的 冷却速度高于平板玻璃SG的耳部R、L的温度的冷却速度或右部CR、左部CL的温度的冷却速度的方式控制加热器。此处，应变点下方温度控制步骤ST14中的平板玻璃SG的中央部C的温度的平均冷却速度为3. (TC /秒钟。应变点下方温度控制步骤ST14中的平板玻璃SG的右部CR、左部CL的温度的平均冷却速度为2. 7V /秒钟。应变点下方温度控制步骤ST14中的平板玻璃SG的耳部R、L的温度的平均冷却速度为2. (TC /秒钟。各温度分布TP41、TP42中的温度梯度 TG41、TG42 分别为 4. I X 10-3°C /mm、6. 7 X 10-3°C /mm。再者，于第2温度控制步骤ST12、第3温度控制步骤ST13及应变点下方温度控制步骤ST14中，藉由基于利用热电偶单元380检测出的环境温度而控制各加热器360a 360e的输出，而形成各自步骤中的温度分布。(5)关于玻璃板的翘曲使用如上所述的玻璃板的制造方法制造玻璃板，并测定该玻璃板的翘曲。此时，翘曲值为O. 15mm以下。若对玻璃板的翘曲的测定进行说明，则首先自玻璃板的有效区域切下8块小板。继而，将小板置于玻璃压盘上。并且，于多个部位(于本实施例中，为4个角、长边的中央部2处及短边的中央部2处)使用间隙规测定各小板与玻璃压盘的间隙。(6)关于玻璃板的应变使用Uniopt制造的双折射率测定器ABR-10A，测定玻璃板的双折射率的大小。此时，最大双折射量为O. 6nm。(7)关于玻璃板的板厚偏差于玻璃板的有效区域，使用KEYENCE股份有限公司制造的位移计，于宽度方向上以5mm的间隔测定板厚偏差。此时，玻璃板的板厚偏差为ΙΟμπι 15 μπι。(8)特征(8-1)于本实施例中，于冷却步骤ST5中，进行玻璃应变点上方温度控制步骤STIOa。玻璃应变点上方温度控制步骤STlOa包括第I温度控制步骤STlI、第2温度控制步骤ST12及第3温度控制步骤ST13。此处，通常，与成形体分离的平板玻璃趋于利用自身的表面张力而收缩。因此，存在会发生平板玻璃的板厚不均匀的可能性。因此，于本实施例中，于平板玻璃SG的中央部C的温度为玻璃软化点以上的温度区域内，于第I温度控制步骤STll中，一面藉由配置于成形体310的正下方的冷却辊330将平板玻璃SG向下拉伸，一面将平板玻璃SG的耳部R、L急冷。藉此，可尽快地增加平板玻璃SG的耳部R、L的黏度(具体而言，可使黏度成为109. O泊以上)，并可抑制利用表面张力的平板玻璃SG的收缩。此处，若平板玻璃SG于宽度方向上收缩，则收缩的部位的板厚增大，且板厚偏差变差。因此，藉由在第I温度控制步骤STll中使平板玻璃SG的耳部R、L的温度低于中央区域CA的温度，可使平板玻璃SG、甚至玻璃板的厚度于宽度方向上变均匀。于第I温度控制步骤STll中，藉由使平板玻璃SG的中央区域CA的温度均匀化，中央区域CA的黏度变均匀。藉此，可使平板玻璃SG的板厚均匀化。于本实施例中，冷却棍330的圆周速度小于拉伸棍350a 350e的圆周速度。
藉此，由于平板玻璃SG的耳部R、L与冷却辊330接触的时间增加，故而利用冷却辊330的对平板玻璃SG的耳部R、L的冷却效果进一步增大。因此，可使平板玻璃SG、甚至玻璃板的厚度于宽度方向上更均匀。一般认为，通常若于玻璃应变点附近的温度区域内具有平板玻璃的宽度方向的温度差，则容易产生应变(残留应力)。因此，于本实施例中，藉由进行第3温度控制步骤ST13，以于玻璃应变点附近的温度区域内，消除平板玻璃SG的宽度方向的耳部R、L与中央部C的温度梯度的方式控制环境温度。即，于第3温度控制步骤ST13中，使冷却步骤ST5中的温度差绝对值成为最小。若平板玻璃SG玻璃于应变点具有温度差，则于冷却至常温后产生应变。即，于第3温度控制步骤ST13中，向玻璃应变点附近的温度区域，减小平板玻璃SG的宽度方向的耳部R、L与中央部C的温度梯度，藉此能够减少平板玻璃SG的应变。温度梯度较佳为自平板玻璃SG的中央部C的温度减去耳部R、L的温度而获得的值进入-20°C至20°C的范围内。藉此，能够减少平板玻璃SG、甚至玻璃板的应变(残留应力)。于本实施例中，自于平板玻璃SG的宽度方向的温度自中央部C向耳部R、L降低的第2温度分布TP20，向平板玻璃SG的宽度方向的温度变均匀的第3温度分布TP31转变。即，于本实施例中，平板玻璃SG的中央部C的温度于低于玻璃软化点的温度区域内，于第2温度控制步骤ST12及第3温度控制步骤ST13中，于平板玻璃SG的宽度方向上，使中央部C的温度的冷却速度高于耳部R、L的温度的冷却速度。藉此，于第2温度控制步骤ST12及第3温度控制步骤ST13中，平板玻璃SG的体积收缩量随着自平板玻璃SG的耳部R、L朝向中央部C增大，因此在平板玻璃SG的中心部C存在拉伸应力的作用。尤其是，于平板玻璃SG的中央部C，在平板玻璃SG的流动方向以及宽度方向上存在拉伸应力的作用。在此，在平板玻璃玻璃SG的流动方向的拉伸应力比宽度方向上的拉伸应力大为好。因此，能够利用拉伸应力一面维持平板玻璃SG的平坦度，一面加以冷却，故而更可进一步减少平板玻璃SG、甚至玻璃板的翘曲。再者，于本实施例中，由于藉由第I温度控制步骤将STl I耳部R、L的温度冷却，并将耳部R、L与中央区域CA的温度差设为特定温度，故而于第2温度控制步骤ST12或第3温度控制步骤ST13中，使中央部C的温度的冷却速度高于耳部R、L的温度的冷却速度。(8-2)
于本实施例中，即便于应变点下方温度控制步骤ST14中，拉伸应力亦始终对平板玻璃SG的中央部C发挥作用。于第I温度控制步骤STll中，亦利用冷却辊330迅速地使该耳部R、L的黏度成为特定值以上，藉此使拉伸应力对平板玻璃SG的中央部C发挥作用。因此，于本实施例的冷却步骤ST5中，不仅利用冷却辊330或拉伸辊350a 350e使宽度方向及流动方向的拉伸应力对平板玻璃SG发挥作用，亦藉由进行温度控制，使宽度方向及流动方向的拉伸应力对平板玻璃SG (尤其是对中央部C)发挥作用。因此，能够减少平板玻璃SG、甚至玻璃板的翘曲。(8-3)于本实施例中，于低于玻璃应变点附近的温度区域的温度区域内，进行使平板玻璃SG的宽度方向的温度自耳部R、L向中央部C下降的应变点下方温度控制步骤ST14。藉此，平板玻璃SG的体积收缩量随着自平板玻璃SG的耳部R、L朝向中央部C而增大。因此，拉伸应力于平板玻璃SG的流动方向及宽度方向上对平板玻璃SG的中央部C发挥作用。因此，由于可一面利用拉伸应力维持平板玻璃SG的平坦度，一面加以冷却，故而能够减少平 板玻璃SG的翘曲。(9)变形例以上，基于图式对本实施例进行说明，但具体构成并不限定于上述实施例，可于不脱离发明的主旨的范围内加以变更。(9-1)变形例 IA于上述实施例中，以分别对平板玻璃SG的耳部R、L与中央区域CA的环境温度进行控制的方式，于平板玻璃SG的宽度方向上配置3个冷却单元340，但并不限定于此，亦可为3个以上。于上述实施例中，于平板玻璃SG的宽度方向上配置5个加热器，但于平板玻璃SG的宽度方向的加热器的数量并不限定于此。例如于平板玻璃SG的宽度方向的加热器的数量亦可为5个以上。再者，在这种情况下，较佳为对应于加热器，增加热电偶。藉此，可以成为更理想的温度分布的形状的方式，精细地控制平板玻璃SG的温度或环境温度。因此，可进一步有助于减少平板玻璃SG、甚至玻璃板的翘曲或应变。(9-2)变形例 IB于上述实施例中，于平板玻璃SG的流动方向上配置5个加热器，但于平板玻璃SG的流动方向的加热器的数量并不限定于此。例如于平板玻璃SG的流动方向的加热器的数量亦可为5个以上。藉此，可更精细地控制平板玻璃SG的流动方向的温度或环境温度。因此，可进一步有助于减少平板玻璃SG、甚至玻璃板的翘曲或应变。(9-3)变形例 IC成形装置300亦可具有配置于多个拉伸辊350a 350e的各自间的多个隔热构件。多个隔热构件是配置于平板玻璃SG的厚度方向的两侧。藉由设置隔热构件，变得更容易进行平板玻璃SG的温度或环境温度的控制。即，可抑制于平板玻璃SG上、甚至于玻璃板上产生应变。(9-4)变形例 ID
于上述第3温度控制步骤ST13中，说明了以于平板玻璃SG的温度进入玻璃应变点附近的温度区域的期间，平板玻璃SG的宽度方向的温度始终变均匀的方式温度控制。但是，并不限定于此，于平板玻璃SG的温度进入玻璃应变点附近的温度区域时，平板玻璃SG的宽度方向的温度至少I次变均匀即可。即，至少I次成为第3温度分布TP31即可。因此，例如沿着平板玻璃SG的流动方向，于如平板玻璃SG的温度进入玻璃应变点附近的温度区域的高度位置，设置有多于上述实施例的加热器的情形时，于第3温度控制步骤ST13中，只要以至少I次成为第3温度分布TP31的方式进行温度控制，则对于其他温度分布，亦可以使于其宽度方向的温度变均匀的方式进行温度控制。在这种情况下，位于第3温度分布TP31上方的温度分布成为第2温度分布TP20，且位于第3温度分布TP31下方的温度分布成为第4温度分布TP40。在这种情况下，亦可于应变点附近的温度区域内，使温度差绝对值(或上述温度梯度)成为最小。因此，能够减少平板玻璃SG、甚至玻璃板的应变。 (9-5)变形例 IE于上述实施例中，说明了利用于平板玻璃SG的宽度方向上配置的多个加热器进行平板玻璃SG的宽度方向的温度控制，但并不限定于此。例如亦可并用冷却器等。(9-6)变形例 IF于上述实施例中，以于第2温度控制步骤ST12中，自平板玻璃SG的宽度方向的温度向中央部端部下降的方式形成温度梯度。但是，于第2温度控制步骤ST12中，较佳为随着朝向平板玻璃SG的流动方向，平板玻璃SG的宽度方向的温度梯度逐渐减小。于第2温度控制步骤ST12中，更佳为自平板玻璃SG的宽度方向的温度向中央部端部逐渐减小的方式形成温度梯度。在这种情况下，更佳为随着朝向平板玻璃SG的流动方向，温度梯度逐渐减小。于第2温度控制步骤ST12中，更佳为使平板玻璃SG的宽度方向的温度自中央部向端部逐渐减小为凸状的方式形成温度梯度。在这种情况下，更佳为随着朝向平板玻璃SG的流动方向，温度梯度逐渐减小。(9-7)变形例 IG于上述实施例的应变点下方温度控制步骤ST14中，以于低于玻璃应变点附近的温度区域的温度区域内，使平板玻璃SG的宽度方向的温度自耳部R、L向中央部C下降的方式形成温度梯度。但是，于应变点下方温度控制步骤ST14中，较佳为以于低于玻璃应变点附近的温度区域的温度区域内，使平板玻璃SG的温度自耳部R、L向中央部C逐渐减小的方式形成温度梯度。于应变点下方温度控制步骤ST14中，更佳为以于低于玻璃应变点附近的温度区域的温度区域内，使平板玻璃SG的温度自耳部R、L向中央部C逐渐减小为凸状的方式形成温度梯度。于应变点下方温度控制步骤ST14中，更佳为平板玻璃SG的耳部R、L与中央部C之间的温度梯度向平板玻璃SG的流动方向增加或逐渐增加。产业上的可利用性本发明可于各种使用下拉法而制造玻璃板的玻璃板的制造方法中进行各种应用。
符号说明100玻璃板的制造装置310成形体313成形体的下部330冷却辊(辊)350a"350e拉伸辊(辊)C平板玻璃的中央部R，L平板玻璃的耳部(宽度方向的端部)
SG平板玻璃ST4成形步骤ST5冷却步骤STlOa玻璃应变点上方温度控制步骤STll第I温度控制步骤ST12第2温度控制步骤ST13第3温度控制步骤现有技术文献专利文献专利文献I:日本专利特开2004-115357号公报


本发明提供一种能够极力使平板玻璃的板厚均匀且能够减少平板玻璃的翘曲及应变的玻璃板的制造方法。本发明的玻璃板的制造方法利用下拉法，并且包括如下步骤成形步骤，其藉由使熔融玻璃沿着成形体的两侧面流下，并于成形体的下部合流，而形成平板玻璃；及冷却步骤，其一面利用辊将平板玻璃向下拉伸一面加以冷却。冷却步骤是进行玻璃应变点上方温度控制步骤，该玻璃应变点上方温度控制步骤是自成形体的下部到低于玻璃应变点附近的温度区域为止的温度区域内，对平板玻璃的宽度方向的温度进行控制的步骤，并且包括使平板玻璃的宽度方向的端部的温度低于由端部夹持的中央区域的温度且使中央区域的温度变均匀的第1温度控制步骤；使平板玻璃的宽度方向的温度自中央部向端部下降的第2温度控制步骤；及于玻璃应变点附近的温度区域内消除平板玻璃的宽度方向的端部与中央部的温度梯度的第3温度控制步骤。