专利名称:洗净液组成物及基板的洗净方法液晶显示器的制备中,不论是彩色滤光片基板或是薄膜晶体管数组基板,于光阻(photoresist)成膜之前,皆须先以洗净液进行清洗,故洗净技术将影响到后续的光微影制程(photoI ithography)的质量,其中,为达到良好的洗净效果,可增加洗净液对基板的湿润性,一般而言,业界常藉由界面活性剂的添加以改善湿润性,如日本特开2004-094241专利文献揭露炔二醇(acetylene diol)系界面活性剂的使用,其除了可提高对基板表面的湿润性,亦可抑制发泡的产生。前述习知洗净液虽可有效增加对基板表面的湿润性,却存在着生物分解性不佳及高温安定性不佳的问题。有鉴于此,本申请发明人投注心力不断潜心研究,而终有创新并极富产业价值的本发明产生。
本发明主要目的在于提供一种洗净液组成物,特别是用于洗净玻璃基板,生物分解性佳、高温安定性佳的洗净液组成物。为满足预期目的,本发明提供一种洗净液组成物,包含碱性化合物(A)、化合物(B)、支链型界面活性剂(C)以及水(D);其中,化合物(B)是具有下记结构式(I)或结构式(2)的化合物;本发明涉及一种洗净液组成物及基板的洗净方法,特别是提供一种针对玻璃基板,具有生物分解性佳、高温安定性佳的洗净液组成物,包含碱性化合物(A)、化合物(B)、支链型界面活性剂(C)以及水(D);其中,化合物(B)是具有下述结构式(1)或结构式(2)的化合物; 。
其中,R1表示氢原子、碳数1~6的含直链、支链或环状的烷基;R2表示碳数1~12的含直链、支链或环状的烷基;EO表示乙氧基;PO表示丙氧基;(m+n)的平均值为1~30;(p+q)的平均值为0.5~10。支链型界面活性剂(C)的结构式为R3-O-(EO)a(PO)b-H,其中,R3表示碳数6~20的含支链的烷基、烯基或酰基,或碳数12~20的含支链烷基取代的苯基;EO表示乙氧基;PO表示丙氧基;a表示1~20的整数;b表示0~20的整数。
洗净液组成物及基板的洗净方法
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